Способ изготовления пресс-формы для отражателя жидкокристаллического дисплея

 

Изобретение позволяет повысить светоотражающие свойства отражателя. На фop иpyюIцeй поверхности прессформы создают периодическую структуру в виде канавок путем лазерного скрайбирования. Канавки глубиной не менее их пптрины вьшолнены на расстоянии друг от друга, равном их ширине. Фор-, мирование боковой цилиндрической поверхности канавок осуществляют травлением в полирующем травителе до достижения угла светоотражения в плоскости , перпендикулярной оси канавок, нормально падаюо|его на, поверхность пресс-формы параллельного пучка света 125-127. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК д1) 4 С 03 F 7/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО.ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

- (21) 4049456/24-10 (22) 08. 04.86 (46) 07. 10.88. Бюл. и 37 (72) В.А. Шулаков, Л.В. Сакун и З.В. Лобко (53) 621.72(088.8) (56) Заявка Франции Р 2454135, . кл. C 06 F 3/14, 1980. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕСС-ФОРМЫ

ДЛЯ ОТРАЖАТЕЛЯ ЖИДКОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО

ДИСПЛЕЯ (57) Изобретение позволяет повысить светоотражающие свойства отражателя.

„„SU„„1429085 A ) На формирующей поверхности прессформы создают периодическую структуру в виде канавок путем лазерного скрайбирования. Канавки глубиной не менее их ширины выполнены на расстоянии друг от друга, равном их ширине. Фор-. мирование боковой цилиндрической поверхности канавок осуществляют травлением в полирующем травителе до достижения угла светоотражения в плоскости, перпендикулярной оси канавок, нормально падающего на, поверхность пресс-формы параллельного пучка света 125-127 . 3 ил.

1429085

Изобретение относится к технике изготовления индикаторных устройств для часов, микрокалькуляторов, приборных панелей автомобиля и жидко5 кристаллических дисплеен электронных часов.

Цель изобретения — повышение светоотражающих свойств отражателя, изготовленного с помощью пресс-формы.

На фиг. 1 изображена формирующая поверхность пресс-формы с канавками прямоугольной формы, которое получают после лазерного скрайбирования, разрез; на фиг. 2 — структура после 15 полирующего травления, разрез; на фиг. 3 — геометрический ход лучей света, претерпевшего отражение на полученной структуре.

Позициями 1-3 на фиг. 3 обозначены 20 лучи параллельного пучка света. Из фиг. 1 видно, что расстояние между канавками равно ширине самих канавок и равно а.

Для получения светоотражаюшей 25 структуры необходимо, чтобы h ) а.

В процессе полирующего травления структура претерпевает изменения и ее сечение приобретает вид, представленный на фиг. 2, При этом при 30 достижении максимального угла све--оотражения сечение цилиндрических канавок, как показали эксперимен1

-, ànüHûå исследования, приобретают вид полукруга, так, что h = R, а = 35 — 2R. Из геометрии хода лучей, представленного на фиг. 3, следует, что нормально пацающие на поверхность пресс-формы лучи 1-3 света отражаются цилиндрической поверхностью соответ- gp ! (( ственно в направлениях АА А, NON

/ /

ВВ Б, обеспечивая угол отражения (A ГВ, равный 2< . Как следует из хода луча, именно лучи .FA и FB" определяют максимальный угол светоот- 4 ражения. Максимальный угол светоотражения системы, образованный канавками с цилиндрической поверхностью, определяется из формулы

2 = 2агс 8 ОВ /OF

/ и в конкретном случае для ОВ = R u

0F = R/2 ра зен

2 := 2(/(,rctg 2, 2 = 127

О 55

Пример, Изготовление прессформы для отражателя жидкокристаллического дисплея осушествлялось на образце из монокристаллического кремния ориентации (111 > . Образец представлял собой пластину диаметром 76 мм и толщиной 1,0 мм, обрабатываемая поверхность ь кот ор ой была пр едка рит ельно отшлифована и отполиронана.

Формирование канавок с прямоугольным сечением производили путем обработки на лазерном скрайбере М-220.

Полученная регулярная структура представляет собой параллельные канавки шириной 50 мкм. Энергетический режим работы лазера ЛТИ-502 (Л = 1,06 мкм) обеспечивает при плотности энергии

0,5х10 Вт/см удаление материала из

6 зоны обработки без образования наплывов, перемычек на поверхности канавок с минимальным количеством окалин на их краях. Процесс предварительной химической обработки включает удаление продуктов взаимодействия с лазерным излучением Во фтористоводородной кислоте 10 г/л н течение 20 с при 20 С, промывку в проточной деионизированной воде в течение 5 мин, Формирование боковой цилиндрической поверхности канавок производили травлением поверхности формирующей ее части в полирующем травителе для кремния CP-8 (азотная кислота 3 ч, фтористоводородная кислота 1 ч,, уксусная кислота 1 ч.) .

Процесс травления производился до о достижения угла снетоотражения 125 в плоскости, перпендикулярной оси канавок нормально падающего на поверхность пластины неразведенного пучка лазера ЛГ-38, сквозь отверстие в экране, на котором была нанесена разметка в виде окружности соответствующего ему диаметра.

Возможность формирования с помощью полученной формующей поверхности обратного (дополнительного) рельефа отражателя жидкокристаллического дисплея была оценена путем полива пленки поливинилового спирта. После ее сушки со стороны рельефа напылялось алюминиевое покрытие и производилась оценка светотехнических параметров отражателя. Анализ показал равномерность светоотражающих свойств по полю жидкокристаллического дисплея, более высокую контрастность фона и расширение угла обзора считываемой информации, 1ч 29085

Фор мул а из обретения

Способ изготовления пресс-формы; для отражателя жидкокристаллического дисплея, включающий создание на формирующей поверхности пресс-формы периодической структуры объемных элементов в виде продольных канавок, боковым поверхностям которых придается цилиндрическая форма, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения светоотражающих свойств отражателя, периодическую структуру объемных элементов формируют путем лазерного скрайбирования канавок глу5 биной не менее их ширины с расстояниями между ними, равными .ширине канавки, с последующим травлением формирующей поверхности в полирующем травителе до достижения угла светоотражения в плоскости, перпендикулярной оси канавок, нормально падающего на поверхность пресс-формы параллельного пучка света 125 — t27

1429085

М"

Составитель Л, Перебейносова

Техред Л. Олийнык Корректор А. Обручар

Редактор В. Данко

Тираж 442 Подписное

В11ИИПИ Государственного комитета СССР пс делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5124/44

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Способ изготовления пресс-формы для отражателя жидкокристаллического дисплея Способ изготовления пресс-формы для отражателя жидкокристаллического дисплея Способ изготовления пресс-формы для отражателя жидкокристаллического дисплея Способ изготовления пресс-формы для отражателя жидкокристаллического дисплея 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к изготовлению фотополимерных печатных форм и позволяет повысить качество фотополимерных печатных форм путем снижения усадки печатающих элементов

Изобретение относится к полиграфии и позволяет улучшить качество печатной формы за счет снижения ее липкости для повышения оптической плотности изображения и снижения графических искажений

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении приборов на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к микроэлектронике и позволяет повысить качество восстановленных фотошаблонов, Облучсчют дефектное место фотошаблона сфокусированным лазерным излучением со стороны маскирующего слоя и со стороны основания а Осаждают продукт фоторазложения со стороны основания фотошаблона до уменьшения мощности лазерного излучения на 70- 85%, а со стороны маскирующего слоя - до получения оптически плотного слоя Показателем качества ремонта дефектов является интегральная оптическая плотность дефектного места после осаждения , определяемая фотометрированием

Изобретение относится к картографии и позволяет устранить искажения изображения на оригинале фототеневой отмывки рельефа

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении шаблонов для полупроводниковы

Изобретение относится к полиграфии

Изобретение относится к фотографии, в частности к фотополимеризующейся кеомпозиции (ФПК) для изготовления защитного рельефа матрицы гальванопластического наращивания

Изобретение относится к позитивным фоторезистам и может быть использовано в фотолитографических процессах при изготовлении интегральных схем в микроэлектронике, радиоэлектронике

Изобретение относится к синтезу и использованию нового бифильнорастворимого фотоинициатора радикальной полимеризации фотополимеризующихся композиций (ФПК) 2,2-бис- (3-сульфоксипропилокси)- фенилэтанона нижеприведенной формулы

Изобретение относится к химико-фотографическим фоторезистивным формным материалам, в частности к фотополимеризующимся композициям (ФПК) для изготовления эластичных печатных форм для флексографической печати в полиграфии

Изобретение относится к двухслойным позитивным маскам, применяемым в микроэлектронике для создания приборов и интегральных схем методами субмикронных литографий, с использованием плазмохимического травления функциональных слоев, а также полиорганосиланам, обладающим фоточувствительными свойствами, для их изготовления общей формулы где R1 - этиладамантил, этил(диметиладамантил); R2 - метил, фенил; R3 - метил, фенил, циклогексил; m =2-3000 n = 2-3000; m : n = 16: (0,1-10)

Изобретение относится к двухслойным позитивным маскам, применяемым в микроэлектронике для создания приборов и интегральных схем методами субмикронных литографий, с использованием плазмохимического травления функциональных слоев, а также полиорганосиланам, обладающим фоточувствительными свойствами, для их изготовления общей формулы где R1 - этиладамантил, этил(диметиладамантил); R2 - метил, фенил; R3 - метил, фенил, циклогексил; m =2-3000 n = 2-3000; m : n = 16: (0,1-10)

Изобретение относится к фотополимеризующимся композициям на основе ненасыщенных полиэфиров, которые могут быть использованы для изготовления деталей методом лазерно-стимулированной полимеризации (стереолитографии) без доступа воздуха

Изобретение относится к фотополимеризующимся композициям на основе ненасыщенных полиэфиров, которые могут быть использованы для изготовления деталей методом лазерно-стимулированной полимеризации (стереолитографии) без доступа воздуха
Изобретение относится к технологии формирования на поверхности материалов рельефных элементов и может найти применение, например, в области полиграфии при изготовлении печатных форм (клише) для высокой печати, а также в других областях техники, где необходимо получение рисунка заданной глубины с субмикронным разрешением структур формируемых рельефных элементов в функциональных (обрабатываемых посредством механического воздействия) слоях изделий
Наверх