Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность и уменьшить габариты насоса. На стороне нагнетания насоса размещена молекулярная ступень, выполненная в виде статорных дисков (СД) 3 и 4 и роторного диска (РД) 5, выполненного из немагнитного материала. СД 3 и 4 выполнены из магнитного материала, и один из них снабжен статорной обмоткой 7 электродвигателя, при подаче переменного напряжения на которую начинается вращение вала 2 ротора. На входе в молекулярную ступень установлен сепараторный диск 8, который предохраняет попадание твердых частиц в молекулярную ступень, отбрасывая их к периферии, где они собираются в кольцевом кармане 10, выполненном на корпусе 1. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„,„1576730 А 1 (51) 5 F 04 D 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

40 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЦТИЯМ

4РИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4485750/25-29 (22) 21.09.88 (46) 07.07.90. Бюл. № 25 (72) В. Г. Шугаев, А. И. Кузнецов и Б. Д. Жлукто (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1268819, кл. F 04 D 19/04, 1985. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ BAKYYMHbIA НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность и уменьшить габариты насоса. На стороне нагнетания насоса размещена молекулярная

2 ступень, выполненная в виде статорных дисков (СД) 3 и 4 и роторного диска (РД) 5, выполненного из немагнитного материала.

СД 3 и 4 выполнены из магнитного материала, и один из них снабжен статорной обмоткой 7 электродвигателя, при подаче Переменного напряжения на которую начинается вращение вала 2 ротора. На входе в молекулярную ступень установлен сепараторный диск 8, который предохраняет попадание твердых частиц в молекулярную ступень, отбрасывая их к периферии, где они собираются в кольцевом кармане 10, выполненном на корпусе 1. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.

1576730

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Редактор Н. Бобкова Текред А. Кравчук Корректор Т. Палий

Заказ 1838 Тираж 500 Г1одписное

ВИИИПИ Государственного комитета по из-Gpncí ã и открытия;, при Г <1!Т СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35. Рву инская наб., д, 4)5

Производственно-издательский комбинат <11атснтъ, г. Ужгород, ул, i агарина, 10

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение надежности и уменьшение габаритов насоса.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит вертикальный корпус 1, установленный по оси корпуса 1 вал 2 ротора и размещенную на стороне нагнетания молеку, .лярную ступень, выполненную в виде закреп ленных на корпусе 1 верхнего 3 и нижнего 4

, статорных дисков и расположенного между, ними роторного диска 5, закрепленного на валу 2. Статорные диски 3 и 4 выполнены из магнитного материала и снабжены спиральными пазами 6 переменного сечения на поверхностях, обращенных к роторному дис: ку 5, причем один из статорных дисков 3 или 4 снабжен статорной обмоткой 7 электро двигателя, а роторный диск 5 выполнен из немагнитного материала. Вал 2 ротора снабжен сепараторным диском 8, размещенным над верхним статорным диском 3, который снабжен пазами 9 переменного сечения на, поверхности, обращенной к сепараторному диску 8, и на корпусе 1 в зоне периферии сепараторного диска 8 выполнен кольцевой карман 10.

Насос работает следующим образом.

Насос подсоединяется к откачиваемому объему. Внешним насосом в полости корпуса 1 создается предварительное разрежение и на статорную обмотку 7 электродвигателя подается напряжение. Вращающееся переменное магнитное поле обмотки 7, взаимодействуя с роторным диском 5, приводит во вращение вал 2 ротора насоса. Спиральные пары на статорных дисках обеспечивают высокую степень сжатия молекулярной ступени. Попадание в полость корпуса 1 твердых частиц, проникающих на сторону нагнетания, не ведет к их дальнейшему продвижению в сторону молекулярной ступени, имеющей очень малые зазоры, поскольку наличие сепараторного диска 8 приводит к отбрасыванию этих частиц к периферии диска 8, где они попадают в кольцевой карман 10.

Таким образом повышается надежность насоса, а совмещение обмотки "-лектродвигателя со статорным диском обеспечивает уменьшение габаритов.

1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий вертикальный корпус, установленный по оси корпуса ьал ротора и размешенную на стороне нагнетания молекулярную ступень, выполненную в виде закрепленных на корпусе верхнего и нижнего статорных дисков и расположенного между ними роторного диска, закрепленного на валу, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и уменьшения габаритов, статорные диски выполнены из магнитного материала и снабжены спиральными пазами переменного сечения на поверхностях, обращенных к роторному диску, причем один из статорных дисков снабжен статорной обмоткой электродвигателя, а роторный диск выполнен

ЗО из немагнитного материала.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что вал ротора снабжен сепараторным диском, размещенным над верхним статорным диском, а последний — пазами переменнсго сечения на поверхности, обращенной к сепаЗБ раторному диску, и на корпусе в зоне периферии сепараторного диска выполнен кольцевой карман.