Устройство для крепления подложек

Авторы патента:

H01L21/68 - аппаратура для крепления или установки компонентов во время изготовления, например зажимные приспособления, шаблоны, калибры

Устройство для крепления подложек, содержащее основание и установленные на нем держатели в виде пружинной скобы с изогнутыми концами в плоскости держателя, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, концы держателя выполнены с дополнительным изгибом в плоскости, размещенной под углом к плоскости держателей.

Держатель подложки, преимущественно для проведения жидкофазной эпитаксии полупроводниковых материалов // 1461319

Сервопривод // 1451786

Изобретение относится к области электроники и может быть использовано для испытания полупроводниковых

Кассета преимущественно для технологических спутников интегральных схем // 1431658

Изобретение относится к электронике

Устройство для присоединения кристаллов // 1428131

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, в частности к технологическому оборудованию для присоединения кристаллов к корпусам

Устройство для закрепления полупроводниковых пластин // 1414233

Захват // 1381620

Изобретение относится к робототехнике и может быть использовано в качестве захвата при производстве полупроводниковых микроприборов и интегральных схем для манипулирования деталями типа пластины, имеющими невысокую механическую прочность и небольшую массу

Спутник-носитель для интегральных микросхем // 1380547

Способ сборки многозондовой головки // 1272378

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники

Тара-спутник // 1264782

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Устройство для ориентации пластин // 2131155

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов // 2280916

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Электростатический держатель для использования в вакуумной камере высокотемпературной обработки, способ обработки подложки и расширительный узел электростатического держателя // 2295799

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Приспособление для закрепления пластины // 2380786

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Способ формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, и система манипулирования для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин // 2411608

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Устройство и способ для управления температурой поверхности подложки в технологической камере // 2435873

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Способ съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя и устройство для съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя // 2071144

Изобретение относится к микроэлектронике

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме