Электронный микроскоп для исследования процессов молекулярно-лучевой эпитаксии

 

Изобретение относится к технике электронной микроскопии и может быть использовано в технологии полупроводников, Целью изобретения является повышение оперативности и качества электронномикроскопических исследований процессов молекулярно-дучевой эпитаксии непосредственно в приборе за счет обеспечения более чистых условий взаимодействия молекулярного пучка с образцами и вариации этих условий без нарушения вакуумных условий в зоне исследований. Электронный микроскоп содержит полый цилиндр с отверстиями в торцевых крышках и в боковой стенке. Стенки цилиндра охлаждаются до криогенных температур. На оконечной части подвижного штока шлюзового устройства установлен источник молекулярного пучка и предусмотрено посадочное место для сменного объектодержателя. Оконечная часть штока по форме и размерам в поперечном сечении идентична отверстию в боковой стенке цилиндра и может служить заглушкой для этого отверстия. В результате обеспечивается быстрая смена образца и/или источника пучка и более чистые условия исследований . 1 с.п.ф, 1 з,п,ф., 1 ил. сл с

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sl)s G 01 N 23/225

ГОсудАРственный кОмитет

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, ;;,",,",, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4786413/21 (22) 26.01.90 (46) 30.10,92, Бюл. ¹ 40 (71) Институт физики полупроводников Сибирского отделения АН СССР (72) А.В.Латышев, А.Б.Красильников, В.А.Вырыпаев и А.Л.Асеев (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1069030, кл. Н 01 J 37/26, 1981.

Крошков А,А. и др, Устройство для диф- ференциальной сверхвысоковакуумной откачки электронного микроскопа. — ПТЭ, 1985, ¹ 1, c,199 — 202 (прототип); (54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОПДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ (57) Изобретение относится к технике электронной микроскопии и может быть исполь- . зовано в технологии полупроводников, Целью изобретения является повышение оперативности и качества электронномикИзобретение относится к технике электронной микроскопии и может быть использовано в технологии полупроводников, Целью изобретения является повышение оперативности и качества электронномикроскопических исследований процессов молекулярно-лучевой эпитаксии непосредственно в приборе за счет обеспечения более чистых условий взаимодействия молекулярного пучка с образцами и вариации этих условий без нарушения сверхвысокого вакуума, в зоне исследований.

Сущность изобретения иллюстрируется чертежом, на котором показан разрез микроскопа. Ы 1772702 А1 роскопических исследований процессов молекулярно-лучевой эпитаксии непосредственно в приборе за счет обеспечения более чистых условий взаимодействия молекулярного пучка с образцами и вариации этих условий Gee нарушения вакуумных условий в зоне исследований, Электронный микроскоп содержит полый цилиндр с отверстиями в торцевых крышках и в боковой стенке.

Стенки цилиндра охлаждаются до криогенных температур. На оконечной части подвижного штока шлюзового устройства установлен источник молекулярного пучка и предусмотрено посадочное место для сменного объектодержателя. Оконечная часть штока по форме и размерам в поперечном сечении идентична отверстию в боковой стенке цилиндра и может служить заглушкой для этого отверстия. В результате обеспечивается быстрая смена образца и/или источника пучка и более чистые условия исследований. I с.п.ф, 1 з.п,ф., 1 ил.

Электронный микроскоп содержит систему дифференциальной криогенной откачки, которая представляет собой полый цилиндр 1, установленный по оптической оси микроскопа. Боковые стенки цилиндра выполнены с внутренними каналами 2, которые соединяются с источником хладагента, например жидкого азота. В торцевых крышках цилиндра выполнены осевые отверстия

3 для входа и выхода электронного пучка.

Внутри цилиндра размещен образец 4 на объектодержателе 5. В боковой стенке цилиндра напротив образца выполнено отверстие 6. которое в поперечном :ечении идентично по форме и размерам оконечной части 7 штока 8 шлюзового устройства 9

1772702

Соста вител ь В.Гаврюшин

Техред M.Mîðãeíòàn .Корректор Л.Филь

Редактор

Заказ 3841 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям.и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35. Раушская наб, 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 микроскопа, На торце указанной части 7 установлен источник 10 молекулярного пучка и может быть выполнено посадочное место объектодержателя, Микроскоп работает следующим образом. После откачки колонн в каналы 2 цилиндра 1 подается жидкий азот для вымораживания остаточных газов в полости цилиндра. Образец закрепляется в объектодержателе и через шлюзовое устройство с помощью штока 8 устанавливается внутри цилиндра. При этом оконечная часть 7 штока 8 проходит через отверстие 6 насквозь.

При движении штока в обратном направлении оконечная часть штока устанавливается в отверстии 6, выполняя роль заглушки и обеспечивал квазизамкнутость внутреннего объема цилиндра. При необходимости возможна индивидуальная схема источника l0 молекулярного пучка или образца через шлюзовоеустройство или одновременно того и другого., Это позволяет обеспечить с одной стороны оперативность исследований различных процессов на разных образцах в одинаковых условиях, а с другой - исключить влияние элементов конструкций, условий вакуума и др, за счет расположения источника молекулярного пучка непосредственно в зоне сверхвысокого вакуума вблизи исследуемого образца.

Формула изобретения

5 1 . Электронный микроскоп для исследования процессов молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащий установленный по оптической оси полый цилиндр с отверстиями в торцевых крышках и боковой стенке и

10 с выполненными в стенках каналами, соединенными с источником хладагента, шлюзовое устройство с подвижным штоком, источник молекулярного пучка и обьектодержатель, отличающийся тем, что, с

15 целью повышения оперативности и качества электронномикроскопических исследований непосредственно в приборе, источник молекулярного пучка установлен на оконечной части штока шлюзового уст20 ройства, причем оконечная часть в поперечном .сечении идентична по форме и размерам отверстию в боковой стенке цилиндра.

2, Электронный микроскоп по п.1, о тл и25 ч а ю шийся тем, что оконечная часть штока шлюзового устройства снабжена посадочным местом объектодержателя.