Способ получения контакта
мтектио-техничес,ие» "-. -ф3фйВ®тек N5<
О П И С А Н И Е 243740
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21g, 11/02
21g, 32
Заявлено 05.Х.1966 (№ 1104256/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 14.V.1969. Бюллетень № 17
Дата опубликования описания 26.IX.1969
МПК Н Oll
Н Old
УД К 621.3.066.6 (088.8) Комитет по делам иаоьретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
К. А. Преображенцев и В. С. Шваров
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТА
Известны способы получения контакта металла с полупроводником путем нанесения одного или нескольких металлических слоев. Такие способы используются при создании однослойных или многослойных контактов с сох- 5 ранением структуры наносимых слоев для последующего присоединения выводных электродов пайкой или термокомпрессией.
С целью улучшения электрических и механических свойств контакта и для получения контакта с одновременным присоединением выводного электрода наносят металлические о слои общей толщиной менее 1000А при температуре не ниже 400 С, а затем вплавляют 25 электродный материал при температуре эвтектики электродный м атериал — полупроводник.
В образующейся жидкой фазе состава вплавляемый материал — полупроводник стру- 20 ктура наносимых слоев металла в процессе сплавления не сохраняется, В результате металлизации окислы на поверхности полупроводника частично восста- 25 навливаются, окисная пленка разрушается и сплавлением получают контакт металла с по. лупроводником.
Фронт вплавления оказывается однородным, сплошным и равномерным. 30
Для металлизации могут применяться металлы, обладающие большой свободной энергией образования окислов, например титан, ниобий, гафний, хром и другие, а в качестве второго слоя — никель, серебро и другие коррозионностойкие при повышенных температурах металлы, которые предохраняют первый слой от окисления.
Пример. Пластины кремния перед нанесением титана промывают в дионизованной воде и обезжиривают в СС14. Титан наносят при температуре подложки 500 — 800 0С в вакууме 10 мл рт. ст., а затем наносят пленку никлея. Общая толщина слоев меньше
1000А, Перед сплавление кристаллы кремния обезжиривают, Электродный материал, например золото, нанесенное на выводной электрод, и кристаллы загружают в кассету которая обеспечивает давление на систему кристалл— электродный материал не менее 1 г/мм .
Сплавление проводят в вакууме не ниже 10 4 мм рт, ст. при температуре на кассете выше электрической температуры кремний — золото на 80 — 100 С.
Полученный контакт обладает сложной конфигурацией, .имеет высокую механическую прочность и малое электрическое сопротивление.
243740
Редактор Вольпина Техред Л. 3. Левина Корректор Е. Н. Миронова
Заказ 2446/17 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Применяя указанные технологические приемы, можно получить как невыпрямляющий, так и выпрямляющий контакты, если вместо золота выбрать другие электродные материалы.
Предмет изобретения
Способ получения контакта металла с полупроводником путем нанесения одного .или нескольких металлических слоев, отличающийся тем, что, с целью улучшения механических и электрических свойств контакта, наносят слои о общей толщиной менее 1000А при температуре не ниже 400 оС, а затем проводят вплавление электродного материала при температуре не ниже температуры эвтектики электродный материал — полупроводник.
