Способ очистки нанопорошка карбида кремния
Владельцы патента RU 2407609:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "СИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНДУСТРИАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (RU)
Изобретение относится к порошковой металлургии, а именно к очистке нанопорошка от примесей. Осуществляют обработку нанопорошка карбида кремния неорганическими жидкими растворителями при кипячении, последовательно, сначала раствором гидроксида натрия с концентрацией выше 20%, затем раствором соляной кислоты с концентрацией выше 30%. Далее порошок отмывают дистиллированной водой и прокаливают на воздухе при температуре 773-823 К. После чего осуществляют обработку раствором фтористоводородной кислоты с концентрацией выше 35%. При этом продолжительность каждой обработки 0,5-1,0 ч. Обеспечивается очистка от вредных примесей, приведение химического и фазового состава порошка в соответствие с установленными в технологии карбидсодержащих композиционных материалов требованиями. 2 табл.
Изобретение относится к области металлургии, а именно нанотехнологии карбида кремния. Нанопорошок карбида кремния с размером частиц менее 100 нм может быть эффективно использован в составе твердых, прочных, стойких к истиранию, коррозии в жидких средах и окислению на воздухе композиционных материалов различного назначения [1, с.69-84].
Для получения высококачественных карбидсодержащих композиционных материалов в карбиде кремния должно быть ограничено содержание следующих примесей, мас.%: свободных кремния и углерода - не более 0,05; железа, алюминия, кальция и их оксидов - не более 0,05; диоксида кремния - не более 0,5 [2]. Однако известные способы синтеза нанопорошка карбида кремния, как правило, не обеспечивают требуемой чистоты, что обусловливает необходимость разработки и реализации стадии очистки карбида от примесей. Предлагаемые для очистки карбида технологические решения представляют собой сочетание гидро- и пирометаллургических операций, режимы осуществления которых во многом зависят от уровня дисперсности карбида [3, с.176-182].
Известен способ очистки порошка карбида кремния крупностью 200-400 нм от примеси свободного углерода обработкой его прокаливанием на воздухе [4]. Прокаливание порошка при температуре 873 К в течение 40 ч позволяет снизить содержание в нем свободного углерода от 10 до 0,05 мас.%. Недостатками способа являются: 1) длительность процесса очистки и его низкая технологичность, обусловленная необходимостью многократного обновления поверхности отжига; 2) невозможность применения его для очистки более высокодисперсного карбида кремния; 3) отсутствие технологических решений по комплексной очистке карбида кремния от всех регламентируемых примесей.
Известен способ очистки порошка карбида кремния крупностью 100-300 нм от примесей свободного углерода и диоксида кремния путем последовательно проводимых операций прокаливания на воздухе при температуре 973 К и кислотной обработки 20%-ным раствором фтористоводородной кислоты [5]. Способ обеспечивает снижение содержания свободного углерода с 8-10 до 0,7-0,9 мас.% и диоксида кремния до 0,5 мас.%. Недостатками способа являются: 1) относительно низкая эффективность очистки от свободного углерода; 2) чрезмерная длительность процесса кислотной обработки в связи с проведением ее при комнатной температуре; 3) невозможность применения его для очистки более высокодисперсного карбида кремния; 4) отсутствие технологических рекомендаций по комплексной очистке карбида кремния от всех регламентируемых примесей.
Из известных способов очистки порошка карбида кремния наиболее близким по технической сущности является способ [6], включающий последовательно проводимые кислотную обработку кипящей смесью 7,5-12,5 М азотной и 2,0-3,0 М фтористоводородной кислот, взятых в объемном соотношении 1:(3-5) соответственно в течение 2,5-3 ч, отмывку дистиллированной водой и обработку прокаливанием на воздухе при температуре 1073-1123 К в течение 1,5-2 ч. Использование смеси фтористоводородной и азотной кислот позволяет перевести большую часть содержащихся в карбиде кремния примесей металлов, кремния и его диоксида в раствор. Последующее прокаливание на воздухе способствует удалению свободного углерода, вместе с которым улетучивается часть примесей, содержащихся в сажистых компонентах. При очистке порошка карбида кремния крупностью 5-200 мкм способ обеспечивает снижение содержания примесей свободных углерода и кремния, диоксида кремния до 0,05 мас.%, металлов и их оксидов - до 0,001 мас.%. Недостатками способа являются: 1) выбор сочетания операций очистки - кислотная обработка с последующим прокаливанием на воздухе, не обеспечивающего удаление диоксида кремния, неизбежно привносимого на стадии прокаливания из-за неизотермичности реактора и полидисперсности карбида, что способствует получению карбида, неоднородного по содержанию диоксида кремния; 2) возможность образования в кислотной среде в присутствии азотной кислоты гелеобразной кремниевой кислоты, что затрудняет растворение диоксида кремния и очистку от него карбида кремния; 3) неизбежность потерь карбида кремния вследствие кислотного растворения его частиц в чрезвычайно агрессивной жидкой среде, оцениваемых на уровне 10-15 мас.%, что подтверждается отмечаемым авторами фактом значительного увеличения (в 3-4 раза) содержания кремния в отработанной рабочей смеси кислот; 4) длительность очистки, составляющая 4-5 ч; 5) технологическая непригодность его для очистки нанопорошков карбида кремния, поскольку нанопорошок карбида крупностью 62 нм окисляется уже при температуре 913 К и значительно, до 18 мас.% в течение 3 ч, растворяется в кипящей смеси азотной и фтористоводородной кислот, содержащей 10М HNO3 и 3М HF [7, с.280-289].
Задачей изобретения является разработка способа очистки нанопорошка карбида кремния, обеспечивающего эффективное удаление регламентируемых примесей.
Сущность изобретения состоит в том, что в способе очистки нанопорошка карбида кремния, включающем обработку нанопорошка карбида кремния неорганическими жидкими растворителями при кипячении, его отмывку дистиллированной водой и прокаливание на воздухе, обработку ведут последовательно сначала раствором гидроксида натрия с концентрацией выше 20%, затем раствором соляной кислоты с концентрацией выше 30%, а после прокаливания осуществляют обработку раствором фтористоводородной кислоты с концентрацией выше 35% при продолжительности каждой обработки 0,5-1,0 ч, при этом прокаливание на воздухе осуществляют при температуре 773-823 К.
Для пояснения изобретения ниже описаны примеры осуществления способа (таблицы 1, 2).
Пример 1. Для очистки от примеси свободного кремния нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 90,95; Si свободный - 1,62; С свободный - 1,58; SiO2 - 4,66; Fe2O3 - 0,62; Al2O3 - 0,32; CaO - 0,25, массой 100 г загружается во фторопластовый реактор и заливается 200 г раствора гидроксида натрия (ГОСТ 4328-77* (изм. 01.12.1979, 02.02.1988). Раствор доводится до кипения. В этих условиях нанопорошок обрабатывается в течение 0,75 ч. Затем нанопорошок отмывается 3-5 раз дистиллированной водой (ГОСТ 6709* (изм. 01.10.1985, 02.09.1990); Т:Ж=1: 20), раствор отстаивается и декантируется. Химический состав нанопорошка карбида после очистки растворами гидроксида натрия различной концентрации представлен в таблице 1. Использование растворов концентрацией менее 25% малоэффективно и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примеси свободного кремния.
После очистки от примеси свободного кремния нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 92,43; Si свободный - 0,02; С свободный - 1,61; SiO2 - 4,74; Fe2O3 - 0,63; Al2O3 - 0,33; CaO - 0,25, для очистки от примесей оксидов металлов загружается в количестве 100 г во фторопластовый реактор и заливается 200 г раствора соляной кислоты (ГОСТ 3118 - 77* (изм. 01.02.1985). Раствор доводится до кипения. В этих условиях нанопорошок обрабатывается в течение 0,75 ч. Затем нанопорошок отмывается 3-5 раз дистиллированной водой (ГОСТ 6709* (изм. 01.10.1985, 02.09.1990); Т:Ж=1:20), раствор отстаивается и декантируется. Химический состав нанопорошка карбида после очистки растворами соляной кислоты различной концентрации представлен в таблице 1. Использование растворов концентрацией менее 35% малоэффективно и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примесей оксидов металлов.
После очистки от примесей свободного кремния и оксидов металлов нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 93,45; Si свободный - 0,03; С свободный - 1,61; SiO2 - 4,79; Fе2O3 - 0,04; Аl2O3 - 0,05; СаО - 0,05, высушенный при температуре 393 К, прокаливается на воздухе в течение 0,75 ч. Химический состав нанопорошка карбида после очистки при различных температурах представлен в таблице 1. Прокалка при температуре ниже 773 К малоэффективна и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примеси свободного углерода.
После очистки от примесей свободного кремния, оксидов металлов, свободного углерода нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 94,97; Si свободный - 0,03; С свободный - 0,04; SiO2 - 4,82; Fe2O3 - 0,04; Аl2O3 - 0,05; СаО - 0,04, для очистки от примеси диоксида кремния загружается в количестве 100 г во фторопластовый реактор и заливается 200 г раствора фтористоводородной кислоты (ГОСТ 10484 - 78 (изм. 01.02.1984, 02.09.1990). Раствор доводится до кипения. В этих условиях нанопорошок обрабатывается в течение 0,75 ч. Затем нанопорошок отмывается 3-5 раз дистиллированной водой (ГОСТ 6709* (изм. 01.10.1985, 02.09.1990); Т:Ж=1:20), раствор отстаивается и декантируется. Химический состав нанопорошка карбида после очистки растворами фтористоводородной кислоты различной концентрации представлен в таблице 1. Использование растворов концентрацией менее 35% малоэффективно и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примеси диоксида кремния.
| Таблица 1 | |||||||
| Условия и результаты очистки нанопорошка карбида от примесей | |||||||
| Пример заявленного технического решения | Химический состав нанопорошка карбида кремния, мас.% | ||||||
| Пример 1 - исходный | SiC | Siсвоб | Ссвоб | SiO2 | Fe2O3 | Аl2O3 | CaO |
| состав карбида | 90,95 | 1,62 | 1,58 | 4,66 | 0,62 | 0,32 | 0,25 |
| Обработка раствором NaOH (Т=373 К, Т:Ж=1:2, τ=0,75 ч) | |||||||
| С=10% | 91,41 | 1,12 | 1,59 | 4,68 | 0,63 | 0,32 | 0,25 |
| С=15% | 91,88 | 0,60 | 1,60 | 4,71 | 0,62 | 0,33 | 0,26 |
| С=20% | 92,34 | 0,12 | 1,60 | 4,73 | 0,61 | 0,35 | 0,25 |
| С=25% | 92,43 | 0,02 | 1,61 | 4,74 | 0,63 | 0,33 | 0,25 |
| С=30% | 92,43 | 0,02 | 1,61 | 4,72 | 0,66 | 0,30 | 0,27 |
| Состав карбида | 92,43 | 0,02 | 1,61 | 4,74 | 0,63 | 0,33 | 0,25 |
| Обработка раствором НСl (Т=373 К, Т:Ж= | |||||||
| =1:2, τ=0,75 ч) | |||||||
| С=15% | 92,82 | 0,02 | 1,61 | 4,76 | 0,42 | 0,21 | 0,16 |
| С=25% | 93,22 | 0,02 | 1,62 | 4,78 | 0,17 | 0,11 | 0,08 |
| С=30% | 93,31 | 0,03 | 1,62 | 4,79 | 0,10 | 0,09 | 0,06 |
| С=35% | 93,45 | 0,02 | 1,63 | 4,77 | 0,04 | 0,05 | 0,04 |
| С=40% | 93,45 | 0,03 | 1,62 | 4,76 | 0,05 | 0,04 | 0,05 |
| Состав карбида | 93,45 | 0,03 | 1,61 | 4,79 | 0,04 | 0,05 | 0,05 |
| Прокаливание на воздухе, τ=0,75 ч | |||||||
| Т=748 К | 93,85 | 0,03 | 1,21 | 4,78 | 0,04 | 0,05 | 0,04 |
| Т=773 К | 94,98 | 0,02 | 0,05 | 4,81 | 0,05 | 0,05 | 0,04 |
| Т=798 К | 94,99 | 0,03 | 0,05 | 4,80 | 0,04 | 0,04 | 0,05 |
| Т=823 К | 94,97 | 0,03 | 0,04 | 4,82 | 0,05 | 0,05 | 0,04 |
| Т=848 К | 93,56 | 0,02 | 0,05 | 6,24 | 0,04 | 0,05 | 0,04 |
| Состав карбида | 94,97 | 0,03 | 0,04 | 4,82 | 0,04 | 0,05 | 0,04 |
| Обработка раствором HF (Т=373 К,Т:Ж=1:2, τ=0,75 ч) | |||||||
| С=20% | 97,07 | 0,02 | 0,05 | 2,71 | 0,05 | 0,05 | 0,04 |
| С=25% | 98,44 | 0,03 | 0,04 | 1,34 | 0,04 | 0,05 | 0,05 |
| С=30% | 98,99 | 0,02 | 0,05 | 0,81 | 0,05 | 0,04 | 0,04 |
| С=35% | 99,41 | 0,03 | 0,05 | 0,38 | 0,05 | 0,05 | 0,03 |
| С=40% | 99,36 | 0,04 | 0,05 | 0,41 | 0,04 | 0,05 | 0,05 |
Пример 2. Для очистки от примеси свободного кремния нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 90,95; Si свободный - 1,62; С свободный - 1,58; SiO2 - 4,66; Fe2O3 - 0,62; Аl2О3 - 0,32; CaO - 0,25, массой 100 г загружается во фторопластовый реактор и заливается 200 г раствора гидроксида натрия (ГОСТ 4328 - 77* (изм. 01.12.1979, 02.02.1988) концентрацией 25%. Раствор доводится до кипения. В этих условиях нанопорошок обрабатывается в течение заданного времени. Затем нанопорошок отмывается 3-5 раз дистиллированной водой (ГОСТ 6709* (изм. 01.10.1985, 02.09.1990); Т:Ж=1:20), раствор отстаивается и декантируется. Химический состав нанопорошка карбида после очистки раствором гидроксида натрия концентрацией 25% в течение 0,25-1,25 ч представлен в таблице 2. Обработка нанопорошка карбида длительностью менее 0,5 ч малоэффективна и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примеси свободного кремния.
После очистки от примеси свободного кремния нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 92,43; Si свободный - 0,02; С свободный - 1,61; SiO2 - 4,74; Fe2O3 - 0,63; Аl2O3 - 0,33; CaO - 0,25, для очистки от примесей оксидов металлов загружается в количестве 100 г во фторопластовый реактор и заливается 200 г раствора соляной кислоты (ГОСТ 3118 - 77* (изм. 01.02.1985) концентрацией 35%. Раствор доводится до кипения. В этих условиях нанопорошок обрабатывается в течение заданного времени. Затем нанопорошок отмывается 3-5 раз дистиллированной водой (ГОСТ 6709* (изм. 01.10.1985, 02.09.1990); Т:Ж=1:20), раствор отстаивается и декантируется. Химический состав нанопорошка карбида после очистки раствором соляной кислоты концентрацией 35% в течение 0,25-1,25 ч представлен в таблице 2. Обработка нанопорошка карбида длительностью менее 0,5 ч малоэффективна и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примесей оксидов металлов.
После очистки от примесей свободного кремния и оксидов металлов нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 93,45; Si свободный - 0,02; С свободный - 1,62; SiO2 - 4,76; Fe2O3 - 0,04; Al2O3 - 0,05; CaO - 0,04, высушенный при температуре 393 К, прокаливается на воздухе при температуре 798 К в течение заданного времени. Химический состав нанопорошка карбида после очистки в течение 0,25-1,25 ч представлен в таблице 2. Прокалка нанопорошка карбида длительностью менее 0,5 ч малоэффективна и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примеси свободного углерода.
После очистки от примесей свободного кремния, оксидов металлов, свободного углерода нанопорошок карбида, содержащий, мас.%: SiC - 94,96; Si свободный - 0,03; С свободный - 0,05; SiO2 - 4,82; Fe2O3 - 0,05; Аl2O3 - 0,04; CaO - 0,04, для очистки от примеси диоксида кремния загружается в количестве 100 г во фторопластовый реактор и заливается 200 г раствора фтористоводородной кислоты (ГОСТ 10484 - 78 (изм. 01.02.1984, 02.09.1990) концентрацией 35%. Раствор доводится до кипения. В этих условиях нанопорошок обрабатывается в течение заданного времени. Затем нанопорошок отмывается 3-5 раз дистиллированной водой (ГОСТ 6709* (изм. 01.10.1985, 02.09.1990); Т:Ж=1:20), раствор отстаивается и декантируется. Полученный осадок сушится при температуре 393 К. Химический состав нанопорошка карбида после очистки раствором фтористоводородной кислоты концентрацией 35% в течение 0,25-1,25 ч представлен в таблице 2. Обработка нанопорошка карбида длительностью менее 0,5 ч малоэффективна и не обеспечивает необходимой полноты очистки карбида от примеси диоксида кремния.
Примеры 1, 2 содержат технологические условия очистки, впервые обеспечивающие эффективное удаление примесей свободного кремния, оксидов металлов, свободного углерода, диоксида кремния из карбида кремния наноразмерного уровня и приведение его качества в соответствие с требованиями основных мировых производителей [8].
| Таблица 2 | |||||||
| Условия и результаты очистки нанопорошка карбида от примесей | |||||||
| Пример заявленного технического решения | Химический состав нанопорошка карбида кремния, мас.% | ||||||
| Пример 2 - исходный | SiC | Siсвоб | Ссвоб | SiO2 | Fe2O3 | Al2O3 | CaO |
| состав карбида | 90,95 | 1,62 | 1,58 | 4,66 | 0,62 | 0,32 | 0,25 |
| Обработка раствором NaOH(T=373 К, Т:Ж=1:2, С=25%) | |||||||
| τ=0,25 ч | 92,05 | 0,42 | 1,60 | 4,72 | 0,63 | 0,33 | 0,25 |
| τ=0,5 ч | 92,42 | 0,03 | 1,61 | 4,74 | 0,63 | 0,33 | 0,25 |
| τ=0,75 ч | 92,43 | 0,02 | 1,61 | 4,74 | 0,63 | 0,35 | 0,25 |
| τ=1,0 ч | 92,43 | 0,02 | 1,60 | 4,72 | 0,65 | 0,32 | 0,26 |
| τ=1,25 ч | 92,43 | 0,02 | 1,61 | 4,74 | 0,62 | 0,34 | 0,25 |
| Состав карбида | 92,43 | 0,02 | 1,61 | 4,74 | 0,63 | 0,33 | 0,25 |
| Обработка раствором НС1 (Т=373К, Т:Ж=1:2, С=35%) | |||||||
| τ=0,25 ч | 92,90 | 0,03 | 1,62 | 4,77 | 0,36 | 0,18 | 0,14 |
| τ=0.5 ч | 93,44 | 0,02 | 1,62 | 4,78 | 0,05 | 0,05 | 0,04 |
| τ=0,75 ч | 93,45 | 0,02 | 1,63 | 4,77 | 0,04 | 0,05 | 0,04 |
| τ=1,0 ч | 93,45 | 0,03 | 1,62 | 4,76 | 0,05 | 0,05 | 0,04 |
| τ=1,25 ч | 93,50 | 0,02 | 1,60 | 4,75 | 0,04 | 0,05 | 0,04 |
| Состав карбида | 93,45 | 0,02 | 1,62 | 4,76 | 0,04 | 0,05 | 0,04 |
| Прокаливание на воздухе, τ=798 ч | |||||||
| τ=0,25 ч | 94,00 | 0,03 | 1,02 | 4,82 | 0,05 | 0,04 | 0,04 |
| τ=0,5 ч | 94,94 | 0,03 | 0,05 | 4,84 | 0,04 | 0,05 | 0,05 |
| τ=0,75 ч | 94,99 | 0,03 | 0,05 | 4,80 | 0,04 | 0,04 | 0,05 |
| τ=1.0 ч | 94,96 | 0,03 | 0,05 | 4,82 | 0,05 | 0,05 | 0,04 |
| τ=1,25 ч | 94,97 | 0,02 | 0,04 | 4,84 | 0,04 | 0,04 | 0,05 |
| Состав карбида | 94,96 | 0,03 | 0,05 | 4,82 | 0,05 | 0,04 | 0,04 |
| Обработка раствором HF (Т=373К, Т:Ж=1:2, С=35%) | |||||||
| τ=0,25 ч | 97,94 | 0,03 | 0,05 | 1,84 | 0,04 | 0,05 | 0,05 |
| τ=0,5 ч | 99,41 | 0,03 | 0,04 | 0,39 | 0,05 | 0,04 | 0,04 |
| τ=0,75 ч | 99,41 | 0,03 | 0,05 | 0,38 | 0,05 | 0,05 | 0,03 |
| τ=1,0 ч | 99.39 | 0,02 | 0,05 | 0,41 | 0,04 | 0,04 | 0,05 |
| τ=1,25 ч | 99,39 | 0,03 | 0,04 | 0,40 | 0,05 | 0,05 | 0,04 |
Список источников информации
1. Косолапова Т.Я. Неметаллические тугоплавкие соединения. / Т.Я.Косолалова [и др.]. - М.: Металлургия. 1985. - С.69-84.
2. NanoAmor. Nanostructured & Amorphous Materials. Inc. [Электронный ресурс] / Products. - Электрон. дан. - Хьюстон: Nanostructured & Amorphous Materials. Inc. 2008. - Режим доступа: http://www.nanoamor.com. свободный. - Загл. с экрана. - Яз. англ.
3. Руднева В.В. Наноматериалы и нанотехнологии в производстве карбида кремния: монография: в 3 т. / В.В.Руднева; научный редактор Г.В.Галевский. Т.3: Плазмометаллургическое производство карбида кремния для конструкционной керамики. - М.: Флинта: Наука, 2007. - С.176-182.
4. А.с. 1555279 СССР, МКИ С01В 31/36. Способ получения ультрадисперсного порошка карбида кремния. / С.С.Кипарисов, А.П.Петров, Г.М.Вольдман [и др.]; заявитель и патентообладатель Моск. ин-т тонкой химической технологии; П/Я А-1147. - №4375103/31-26; заявл. 10.02.88; опубл. 07.04.90, Бюл. №13.
5. Пат. 2117066 Российской Федерации, МПК 6 С22С 29/02. Порошковый материал на основе карбида кремния. / Н.Ф.Гадзыра. - №96123175/02; заявл. 12.09.1996; опубл. 08.10.1998, Бюл. №22 (II).
6. Пат. 2060935 Российской Федерации, МПК 6 С 01 В 31/36. Способ очистки карбида кремния. / В.П.Исаков, К.С.Юдина, Ю.А.Филиппов; заявитель и патентообладатель Научно-исследовательский институт научно-производственного объединения «Луч». - №5029275/26; заявл. 25.02.92; опубл. 27.05.96, Бюл. №15.
7. Руднева В.В. Наноматериалы и нанотехнологии в производстве карбида кремния: монография: в 3 т. / В.В.Руднева; научный редактор Г.В.Галевский. Дополнительный том. Плазмометаллургическое производство карбида кремния: развитие теории и совершенствование технологии. - М.: Флинта: Наука, 2008. - С.280-289.
8. Nano-SiC Ceramic Powders [Электронный ресурс] / Hefei Kaier Nanotechnology & Development Ltd. Co. - Электрон. дан. - Hefei Kaier Nanotechnology & Development Ltd. Co. [2008]. - Режим доступа: http://www.hfkiln.com. свободный. - Загл. с экрана. - Яз. англ.
Способ очистки нанопорошка карбида кремния, включающий обработку нанопорошка карбида кремния неорганическими жидкими растворителями при кипячении, его отмывку дистиллированной водой и обработку прокаливанием на воздухе, отличающийся тем, что обработку неорганическими жидкими растворителями ведут последовательно, сначала раствором гидроксида натрия с концентрацией выше 20%, затем раствором соляной кислоты с концентрацией выше 30%, а после прокаливания осуществляют обработку раствором фтористоводородной кислоты с концентрацией выше 35% при продолжительности каждой обработки 0,5-1,0 ч, при этом прокаливание на воздухе осуществляют при температуре 773-823.
