Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки



Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки
Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки
Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки
Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки

 

G01L7/00 - Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью элементов, чувствительных к механическому воздействию или давлению упругой среды (передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, с помощью электрических или магнитных средств G01L 9/00; измерение разности двух или более величин давления G01L 13/00; одновременное измерение двух или более величин давления G01L 15/00; измерение давления в полых телах G01L 17/00; вакуумметры G01L 21/00; полые тела, деформируемые или перемещаемые под действием внутреннего давления, как таковые G12B 1/04)

Владельцы патента RU 2504746:

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (RU)

Изобретение относится к способам изготовления датчиков давления и может быть использовано в микро- и наноэлектронике для изготовлении систем для измерения давления окружающей среды. Способ изготовления датчика давления включает нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, нанесение второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке с использованием литографии, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего катализатор роста углеродных нанотрубок, удаление маски резиста, нанесенной в процессе литографии, проведение синтеза углеродных нанотрубок с плазменной стимуляцией процесса роста углеродных нанотрубок. В последующем может быть сформирован верхний герметизирующий слой, по меньшей мере, над массивом углеродных нанотрубок. Техническим результатом является повышение надежности функционирования чувствительного элемента датчика давления, повышение чувствительности датчика давления, достижение стабильности функционирования датчика вне зависимости от изменений параметров рабочей среды. 17 з.п. ф-лы, 4 ил.

 

Изобретение относится к способам изготовления датчиков давления. Изобретение может быть использовано в микро- и наноэлектронике для изготовлении систем для измерения давления окружающей среды.

В настоящее время известно техническое решение «Carbon nanotube temperature and pressure sensors» по заявке США на изобретение №2011/0051775 (МПК G01L 9/00, G01K 7/02, опубликовано 03.03.2011 г.). В изобретении описан способ изготовления датчика давления, соде ржащего массив углеродных нанотрубок. Способ изготовления датчика включает осаждение из суспензии на поверхность подложки слоя углеродных нанотрубок (УНТ), формирование электрической разводки, формирование над слоем углеродных нанотрубок гибкой мембраны, деформирующейся при оказании давления на поверхность массива. Недостатком данного технического решения являются ограниченные минимальные размеры функционального элемента из углеродных нанотрубок в виду использования способа изготовления слоя углеродных нанотрубок методом осаждения из суспензии, соответственно, невысокая чувствительность датчика; отсутствие защиты от экстремальных механических воздействий на массив углеродных нанотрубок.

Наиболее близким по совокупности существенных признаков (прототипом) изобретения является способ изготовления датчика давления, описанный в диссертации Kun Guo «Synthesis and Applications of Carbon Nanotubes in Nano-Electro-Mechanical System» (The University of Toledo, August 2008). В данной работе описан способ изготовления датчика давления на основе вертикально ориентированных массивов углеродных нанорубок. Согласно данной публикации, для формирования функционального элемента датчика давления изготавливается мембрана из нитрида кремния, на поверхность мембраны наносят каталитический слой кобальта для роста углеродных нанотрубок, выращивают массив углеродных нанотрубок методом химического газофазного осаждения в потоке метана при температуре 600°C, формируют электрические контакты к массиву УНТ из золота и закрепляют полученную структуру на стеклянной подложке.

Недостатками данного технического решения являются: невысокая чувствительность датчика давления из-за использования мембраны, жесткость которой определяет чувствительность датчика давления; зависимость точности измерений от состояния окружающей среды, т.к. при изменении состояния рабочей среды, например при увеличении влажности, из-за высокой сорбционной способности массива углеродных нанотрубок изменяются электрофизические характеристики массива углеродных нанотрубок в виду того, что существует непосредственный контакт массива углеродных нанотрубок с рабочей средой; отмечается ограниченная сфера использования датчика давления в виду отсутствия защиты от экстремальных механических воздействий на массив углеродных нанотрубок.

Задачей настоящего изобретения является разработка способа изготовления датчика давления на основе массивов углеродных нанотрубок с высокой степенью надежности работы датчика.

Технический результат заключается в обеспечении повышенной надежности функционирования чувствительного элемента датчика давления, повышенной чувствительности датчика давления, достижении стабильности функционирования датчика вне зависимости от изменений параметров рабочей среды.

Для достижения вышеуказанного технического результата способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включает: нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке литографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего катализатор роста углеродных нанотрубок, удаление маски резиста, нанесенной в процессе фотолитографии, проведение синтеза углеродных нанотрубок с плазменной стимуляцией процесса роста углеродных нанотрубок.

От прототипа датчик отличается тем, что фотолитографией формируют область роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке, проводят формирование буферного слоя и формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего катализатор роста углеродных нанотрубок.

Формирование углубления на подложке, последующее формирование в углублении функционального слоя, содержащего содержащего катализатор роста углеродных нанотрубок, и последующее проведение синтеза углеродных нанотрубок, обеспечивают размещение массива углеродных нанотрубок в углублении подложки. Таким образом, формируется датчик давления с чувствительным элементом, размещенным в полузакрытой полости, что обеспечивает надежную защиту его от механических повреждений. Формирование электрической разводки между диэлектрическими слоями, последовательно сформированными на подложке, обеспечивает надежный контакт.

В частных случаях выполнения изобретения проведение синтеза углеродных нанотрубок осуществляют путем введения подложки в объем рабочей камеры и помещения ее на поверхность нагретого рабочего стола, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа, стабилизацию давления, поджиг плазмы.

В частных случаях выполнения изобретения в качестве газа-носителя используют аргон и/или аммиак, и/или водород, и/или гелий, и/или азот.

В частных случаях выполнения изобретения в качестве углеродсодержащего газа используют метан и/или этилен, и/или ацетилен, и/или окись углерода.

В частных случаях выполнения изобретения давление в рабочей камере задается в диапазоне от 50 Па до 700 Па.

В частных случаях выполнения изобретения температура рабочего стола задается в диапазоне от 400°C до 800°C.

В частных случаях выполнения изобретения для поджига плазмы в рабочую камеру подается от генератора электромагнитное излучение с частотой 13,56 МГц и мощностью в диапазоне от 10 Вт до 200 Вт.

В частных случаях выполнения изобретения углубление в подложке выполняют в виде меандра или прямоугольника или овала.

В частных случаях выполнения изобретения электрическую разводку выполняют из титана, и/или молибдена, и/или золота, и/или платины, и/или алюминия, и/или меди, и/или хрома, и/или легированного поликремния толщиной от 0,1 мкм до 5 мкм.

В частных случаях выполнения изобретения используют подложку из кварца, и/или кремния, и/или оксида кремния, и/или оксида алюминия, и/или нитрида кремния.

В частных случаях выполнения изобретения первый и/или второй диэлектрический слой выполняют из оксида кремния, оксида алюминия, нитрида кремния, поликремния или их композиции толщиной от 10 нм до 5 мкм.

В частных случаях выполнения изобретения углубление в подложке выполняют глубиной от 0,5 мкм до 100 мкм.

В частных случаях выполнения изобретения буферный слой выполняют из алюминия, и/или оксида алюминия, и/или оксида кремния толщиной от 1 нм до 200 нм.

В частных случаях выполнения изобретения функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок, содержит железо или кобальт или никель или их сплавы.

В частных случаях выполнения изобретения дополнительно формируют верхний герметизирующий слой, по меньшей мере, над массивом углеродных нанотрубок.

Верхний слой, расположенный, по меньшей мере, над массивом углеродных нанотрубок, герметизирует массив углеродных нанотрубок, что позволяет исключить влияние рабочей среды на электрофизические свойства углеродных нанотрубок.

В частных случаях выполнения изобретения верхний герметизирующий слой выполняют из оксида кремния, и/или оксида алюминия, и/или нитрида кремния, и/или поликремния толщиной от 0,5 мкм до 200 мкм.

В частных случаях выполнения изобретения верхний слой соединяют с поверхностью методом сращивания.

В частных случаях выполнения изобретения верхний слой формируют методом осаждения.

Совокупность признаков, характеризующих изобретение, позволяет изготовить датчик давления с повышенной надежностью функционирования и повышенной чувствительностью датчика давления.

Изобретение поясняется чертежами, где

на фиг.1 - подложка с первым диэлектрическим слоем, сформированной электрической разводкой и вторым диэлектрическим слоем: а) - вид спереди, разрез; б) - вид сверху,

на фиг.2 - формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией: а) - вид спереди, разрез; б) - вид сверху,

на фиг.3 - формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада металлорганического соединения,

на фиг.4 - схема сформированного датчика давления.

Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включает: нанесение на поверхность подложки 1 первого диэлектрического слоя 2, формирование электрической разводки 3, формирование второго диэлектрического слоя 4 (фиг.1). Формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления 5 (фиг.2) в подложке 1 проводят фотолитографией следующим образом: изделие покрывают маской фоторезиста 6, производят сушку фоторезиста, экспонирование фоторезиста излучением через фотошаблон в виде меандра или прямоугольника или овала, проявление скрытого изображения путем удаления фоторезиста с облученного участка, дубление, травление облученного участка с образованием углубления 5 в подложке 1 глубиной от 0,5 мкм до 100 мкм. Далее проводят формирование буферного слоя 7 и формирование над буферным слоем 7 функционального слоя 8 (фиг.3), содержащего содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок. Буферный слой 7 выполняют из алюминия и/или оксида алюминия, и/или оксида кремния толщиной от 1 нм до 200 нм. Затем проводят удаление маски фоторезиста 6, нанесенной в процессе фотолитографии, при этом удаляются буферный слой 7 и функциональный слой 8 со всей поверхности, за исключением области углубления 5. Далее проводят синтез углеродных нанотрубок 9. Проведение синтеза углеродных нанотрубок осуществляют путем введения подложки в объем рабочей камеры и помещения ее на поверхность нагретого рабочего стола, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа, стабилизацию давления, поджиг плазмы. В качестве газа-носителя используют аргон и/или аммиак, и/или водород, и/или гелий, и/или азот. В качестве углеродсодержащего газа используют метан, и/или этилен, и/или ацетилен, и/или окись углерода.

Для проведения синтеза может быть использована установка «Plasmalab System 100» фирмы «Oxford Instruments». Для этого образцы со сформированной структурой размещают на держателе образцов в загрузочной камере, производится откачка загрузочной камеры, затем с помощью загрузочного устройства образцы вводятся в рабочую камеру и помещаются на поверхность рабочего стола, нагретого до температуры от 400 до 800°C. Производится откачка рабочей камеры до давления ниже 7,5×10-3 Па. После чего через рабочую камеру обеспечивается проток газа-носителя (5÷500 см3/мин) и углеродсодержащего газа со скоростью подачи 10÷100 см3/мин. Непосредственно перед проведением синтеза стабилизируют давление до требуемого значения (50-700 Па) в объеме рабочей камеры с помощью системы контроля и регулирования давления в камере. Производят поджиг высокочастотной плазмы при помощи генератора работающего на частоте 13,56 МГц с подачей заданной мощности электромагнитного излучения (10÷200 Вт). По окончании процесса синтеза УНТ прекращается подача электромагнитного излучения от генератора, затем прекращается подача газа-носителя и углеродсодержащего газа, происходит откачка рабочей камеры до давления ниже 7,5×10-3 Па, после чего образцы извлекаются с помощью загрузочного устройства в загрузочную камеру, откуда их можно извлечь для дальнейшего использования.

В процессе синтеза углеродных нанотрубок функциональный слой 7, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок расходуется. В последующем может быть сформирован верхний герметизирующий слой 10, по меньшей мере, над массивом углеродных нанотрубок 9. Верхний герметизирующий слой 10 выполняют из оксида кремния, и/или оксида алюминия, и/или нитрида кремния, и/или поликремния толщиной от 0,5 мкм до 200 мкм. Верхний слой 10 соединяют с поверхностью методом сращивания или формируют методом осаждения (фиг.4).

Пример

Для формирования датчика давления на подложку из кремния осажден первый диэлектрический слой из нитрида кремния толщиной 50 нм. Для формирования электрической разводки 3 осажден слой титана толщиной 200 нм и литографией сформирован топологический рисунок электрической разводки. Далее в качестве второго диэлектрического слоя сформирован методом осаждения слой нитрида кремния толщиной 100 нм. На второй диэлектрический слой осажден слой фоторезиста толщиной 1,5 мкм. Затем методом литографии сформировано углубление 7 в подложке 1 глубиной 5 мкм. Далее наносится буферный слой из нитрида титана толщиной 20 нм, поверх которого осажден слой, содержащий катализатор для роста углеродных нанотрубок - слой никеля толщиной 5 нм. После чего был удален фоторезист.

Далее образцы со сформированной структурой размещают на держателе образцов в загрузочной камере, производится откачка загрузочной камеры, затем с помощью загрузочного устройства образцы вводятся в рабочую камеру и помещаются на поверхность рабочего стола, нагретого до температуры 680°C. Производится откачка рабочей камеры до давления 5×10-4 Па. После чего через рабочую камеру обеспечивается проток аргона со скоростью подачи 100 см3/мин и этилена со скоростью подачи 25 см3/мин. Непосредственно перед проведением синтеза стабилизируют давление до 150 Па в объеме рабочей камеры с помощью системы контроля и регулирования давления в камере. Производят поджиг высокочастотной плазмы с подачей электромагнитного излучения мощностью 100 Вт от генератора. По окончании процесса синтеза УНТ прекращается подача электромагнитного излучения от генератора, затем прекращается подача аргона и этилена, происходит откачка рабочей камеры до давления 5×10-4 Па, после чего образцы извлекаются. После синтеза массива углеродных нанотрубок было проведено осаждение верхнего слоя из оксида кремния толщиной 1,5 мкм.

Таким образом, сформирован датчик давления, в котором массив углеродных нанотрубок защищен от механических воздействий с пяти сторон: со стороны дна подложкой, с боковых сторон подложкой, а также двумя диэлектрическими слоями по верхнему краю. Сверху массив углеродных нанотрубок закрыт верхним слоем, что обеспечивает его герметизацию и защиту от внешней среды.

1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий: нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, нанесение второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке с использованием литографии, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего катализатор роста углеродных нанотрубок, удаление маски резиста, нанесенной в процессе литографии, проведение синтеза углеродных нанотрубок с плазменной стимуляцией процесса роста углеродных нанотрубок.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что проведение синтеза углеродных нанотрубок осуществляют путем введения подложки в объем рабочей камеры и помещения ее на поверхность нагретого рабочего стола, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа, стабилизацию давления, поджиг плазмы.

3. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве газа-носителя используют аргон и/или аммиак, и/или водород, и/или гелий, и/или азот.

4. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего газа используют метан и/или этилен, и/или ацетилен, и/или окись углерода.

5. Способ по п.2, отличающийся тем, что давление в рабочей камере задается в диапазоне от 50 Па до 700 Па.

6. Способ по п.2, отличающийся тем, что температура рабочего стола задается в диапазоне от 400°C до 800°C.

7. Способ по п.2, отличающийся тем, что для поджига плазмы в рабочую камеру подается от генератора электромагнитное излучение с частотой 13,56 МГц и мощностью в диапазоне от 10 Вт до 200 Вт.

8. Способ по п.1, отличающийся тем, что углубление в подложке выполняют в виде меандра или прямоугольника, или овала.

9. Способ по п.1, отличающийся тем, что электрическую разводку выполняют из титана и/или молибдена, и/или золота, и/или платины, и/или алюминия, и/или меди, и/или хрома, и/или легированного поликремния толщиной от 0,1 мкм до 5 мкм.

10. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют подложку из кварца и/или кремния, и/или оксида кремния, и/или оксида алюминия, и/или нитрида кремния.

11. Способ по п.1, отличающийся тем, что первый и/или второй диэлектрический слой выполняют из оксида кремния, оксида алюминия, нитрида кремния, поликремния или их композиции толщиной от 10 нм до 5 мкм.

12. Способ по п.1, отличающийся тем, что углубление в подложке выполняют глубиной от 0,5 мкм до 100 мкм.

13. Способ по п.1, отличающийся тем, что буферный слой выполняют из титана и/или нитрида титана, и/или оксида кремния толщиной от 1 нм до 200 нм.

14. Способ по п.1, отличающийся тем, что функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок, содержит железо и/или кобальт, и/или никель, и/или их сплавы.

15. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополнительно формируют верхний герметизирующий слой, по меньшей мере, над массивом углеродных нанотрубок.

16. Способ по п.15, отличающийся тем, что верхний герметизирующий слой выполняют из оксида кремния и/или оксида алюминия, и/или нитрида кремния, и/или поликремния толщиной от 0,5 мкм до 200 мкм.

17. Способ по п.15, отличающийся тем, что верхний слой соединяют с поверхностью методом сращивания.

18. Способ по п.15, отличающийся тем, что верхний слой формируют методом осаждения.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к системам мониторинга давления, а конкретнее к системам мониторинга давления с несколькими реле давления в общем корпусе. Техническим результатом является расширение функциональных возможностей системы мониторинга давления.

Данное изобретение относится к способу определения давления в камере сгорания, в частности в камере двигателя внутреннего сгорания. Заявлен способ определения давления в камере сгорания, в частности в камере двигателя внутреннего сгорания, при этом в нем применяют устройство для определения давления в камере сгорания, которое содержит по меньшей мере один нагревательный стержень (5), по меньшей мере один измерительный элемент (4), по меньшей мере две пружинные мембраны (1, 2) и по меньшей мере один трубчатый корпус (6), при этом указанные пружинные мембраны (1, 2) установлены концентрически вокруг нагревательного стержня (5).

Изобретение относится к автоматическим устройствам регулирования давления газа и может быть использовано в энергетическом машиностроении. Редуктор давления газа содержит корпус, подпружиненный чувствительный элемент в виде мембраны с тарелью и дросселирующий клапан с седлом.

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в средствах регистрации колебаний атмосферного давления, генерируемых естественными и искусственными источниками (например, химическими или ядерными взрывами).

Изобретение относится к сельскому хозяйству и может быть использовано при производстве, диагностировании технического состояния и техническом обслуживании доильных аппаратов.

Изобретение относится к автоматическим устройствам регулирования давления газа и может быть использовано в энергетическом машиностроении. .

Редуктор // 2468347
Изобретение относится к устройствам пневмоавтоматики и может быть использовано в различных областях промышленности для понижения давления газа до заданной величины и автоматического поддержания заданного давления при криогенных температурах рабочей среды, в частности при испытаниях различных агрегатов "холодным" гелием.

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к сигнализирующим манометрам, имеющим круговую или секторную шкалу и индукционные датчики граничных значений.

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления. .

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для создания стрелочного манометра с датчиками граничных значений. .
Изобретение относится к способу стабилизации наночастиц биогенных элементов ферментами. Способ включает в себя проведение синтеза наночастиц посредством окислительно-восстановительной реакции с введением стабилизатора-фермента, образующихся наночастиц непосредственно в реакцию.

Изобретение относится к способу получения водной суспензии кремниевых нанокристаллических частиц для биомедицинских применений. Заявленный способ характеризуется тем, что на поверхности кремниевых пластин формируют пленку пористого кремния толщиной от 1 до 100 мкм и пористостью от 50 до 80%.

Изобретение может быть использовано в типографских красках при производстве и обращении защищенных от подделок документов и изделий. Люминесцентные защитные чернила содержат растворитель и полупроводниковые нанокристаллы, диспергированные в кремнийорганическом соединении, состоящие из последовательно расположенных: полупроводникового ядра 1, первого 2 и второго 3 полупроводниковых слоев, а также внешнего 4 слоя, материал которого выбран из кремнийорганического полимера из ряда, включающего поли(аминоэтил)триметоксисилан, поли(метакрил)триэтоксисилан, поли(метил)триэтоксисилан, поли(меркаптоэтил)триметоксисилан, метил-фениловый полисилоксан, полиэтоксисилан.

Изобретение касается прозрачного огнестойкого остекления. Содержит листы стекла и один или несколько слоев вспучивающейся композиции из гидратированного силиката щелочного металла между ними.

Изобретение относится к оптике и радиофизике. Устройство для регистрации электромагнитного излучения содержит источник электромагнитного излучения, электрическую цепь, состоящую из источника ЭДС, амперметра и приемника электромагнитного излучения с фоточувствительным фоторезистором.

Изобретение относится к аппаратным методам исследования объектов, невидимых невооруженным глазом, выполняемых на основе исследования световых волн, взаимодействующих с микрообъектами.

Заявляемый способ может найти применение при создании и производстве наноструктурированных пленок из пленкообразующих золей для газочувствительных сенсоров. Способ заключается в том, что изготавливают эталонные образцы с заданной начальной концентрацией наночастиц.

Изобретения могут быть использованы при получении воды для питьевых целей, для медицинских целей, для водных процедур, а также в сельском хозяйстве для растениеводства, животноводства, рыбоводства.
Изобретение относится к многослойным материалам, предназначенным для изготовления элементов спасательных средств в авиации, в частности для изготовления дорожек скольжения спасательных трапов и касается многослойного материала для спасательных средств, который включает текстильную основу из синтетических нитей и нанесенное на нее с лицевой и изнаночной стороны полиуретановое покрытие с антипиреном.

Изобретение относится к применению производных фуллерена общей формулы 1 в качестве противомикробных препаратов. В формуле 1 Х означает отрицательный заряд, локализованный на фуллереновом каркасе, атом хлора, присоединенный к углеродному каркасу, или атом водорода; фрагмент NR1R2 означает остаток амина, где R1 и R2 - атомы водорода, или замещенные протонированными (NH3 +) или непротонированными (NH2) аминогруппами линейные или разветвленные алкильные радикалы (CmH2m+1; n=1-20), или остаток пиперазина общей формулы Ic-1, где R, R'1, R'2 R'3 и R'4 - атомы водорода или линейные или разветвленные алкильные (CmH2m+1; n=l-20) радикалы, а также остатки алифатических спиртов -(СН2)nOH, простых эфиров -(CH2)nOR'5, тиолов -(CH2)nSH, кислот -(СН2)nCOOH, их сложных эфиров -(CH2)nCOOR'5 или амидов -(CH2)nCONR'5R'6, для которых n=0-20, R'5 и R'6 - атомы водорода или линейные алкильные (CmH2m+1; n=1-20) радикалы.
Изобретения относятся к производству органонаполненных полимерных композиций и могут быть использованы в производстве строительных материалов и других отраслях народного хозяйства. Первый вариант способа получения включает измельчение органического наполнителя в количестве от 10 до 90 мас.% до размеров частиц от 1 до 20000 мкм. Затем его сушат до содержания влаги от 0 до 50 мас.% и смешивают органический наполнитель с целевыми добавками в количестве от 0 до 20 мас.%. Затем смешивают компоненты с высокомолекулярным соединением в количестве от 10 до 90 мас.% и вводят модифицирующую добавку в виде наноразмерных частиц от 0,0001 до 50 мас.% после грануляции композиции во всю массу полученного гранулята методом сухого шаржирования. Второй вариант способа получения полимерной композиции отличается от первого варианта, тем что при модификации полимерной композиции на основе органического наполнителя вводят гранулят с количеством модифицирующей добавки в виде наноразмерных частиц до 50% в получаемую композицию на стадии компаундирования. Изобретение позволяет снизить время протекания технологического процесса, трудоемкость изготовления и стоимость. 2 н.п. ф-лы, 5 пр.
Наверх