Способ ориентации микроминиатюрных деталей

Авторы патента:

H01L21/48 - изготовление или обработка частей, например корпусов, до сборки прибора, с использованием способов, не предусмотренных ни одной из подгрупп H01L 21/06-H01L 21/326 (корпуса, герметизирующие оболочки, заполнение, монтаж как таковые H01L 23/00)

с ъ, ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свпдетельствавЂ” (22) Заявлено 05.06.72 (21) 1793122/26-25 (5l) М. Кл. Н Oll 7/64 с присоединением заявки (32) Приоритет

Опубликовано 15.ill.1974. Бюллетень ¹ 10

Дата опубликования описания 30.07.1974

Государственный комитет

Совета Министров СССР

Ао делам изобретений н открытий (53) Ъ ДК 621.328(088.8) (72) Автор ы изобретения

А. А. Иванов, В. А. Огнев и Ю. Н. Сальников (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОРИЕНТАЦИИ МИКРОМИНИАТЮРНЪ|Х ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к усовершенствованию технологического оборудования для производства полупроводниковых приборов, в частности к способу ориентации микроминиатюрных деталей, например полупроводниковых кристаллов.

Известен способ ориентации микромпниапорпых деталей сжатым воздухом, образующим прослойку между поверхностя ми дсталей и опорной плоскостью из пористого материала; воздух подается под опорную плоскость с давлением, подобранным из условия взвешенного состояния деталей, обращенных к опорной плоскости большей поверхностью, при этом опорной плоскости сообщают направленные гармонические колебания. Известен также способ ориентированной раскладки кристаллов в кассеты, который предусматривает вакуумное крепление кристаллов прн вибрационной ориентации их в трафарете.

Общим недостатком известных способов является возможность повреждени". опорных поверхностей деталей при вибрационном перемещении, а также невозможность групповой ориентации деталей со слаоо выраженной асимметрией формы.

С целью исключения перемещения деталей в процессе групповой ориентации и избежания при этом их повреждения, ориентируемые детали помещают между двумя вакуумными присосами с опорными плоскостями, выполпенными из пористого материала, затем создают вакуум, достаточный для удержания ориентируемых деталей, обращенных к опорным плоскостям большей поверхностью, и разводят вакуумные присосы с однозначно ориентированными деталями на некоторое расстояние.

Чертеж иллюстрирует предлагаемый способ ориентации микроминиатюрных деталей.

10 Герметичная камера 1 вакуумного присоса имеет опорную плоскость 2, выполненную в виде крышки из микропористого материала.

Камера снабжена штуцером 3, через который она сообщается с вакуумной системой. Opu1s ентируемые детали 4 помещают на опорную плоскость 2, поры которой создают систему микросопел, через которые отсасывается газ из окружающей среды, образуя равномерное пневматическое палс на опорной плоскости.

20 При этом вели шна вакуума выбирается достаточной для удержания деталей на опорной поверхности вакуумного присоса в один слой.

Затем лишние детали сбрасываются, и вакуумный присос совмещают с аналогичным

25 присосом, под опорной плоскостью 2 которого создан вакуум, достаточный для удержания деталей, обращенных к ней большей опорной поверхностью. Затем разводят вакуумные присосы, на которых остаются однозначно ориен30 тированные детали, обращенные большей поверхностью к присосам.

420016

Составитель Ю. Цветков

Редактор К. Шанаурова Техред Т. Миронова Корректор M. Лейзерман

Заказ 1853/10 Изд. № 1373 Тираж 760 Подписно

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2

Разделение деталей происходит за счет разности в усилиях присасывания, возникающей на опорных поверхностях деталей, которая пропорциональна разности площадей этих поверхностей.

Питание обоих присосов осуществляется от общей вакуумной системы, при этом давление может синхронно измеи1пься в обоих присосах при неизменной разности перепадов давлений.

Предмет изобретения

Способ ориентации микроминиатюрных деталей со слабо выраженной асимметрией формы, например полупроводниковых кристаллов, заключающийся в использовании действия вакуума, отличающийся тем, что, с целью исключения перемещения деталей в процессе

5 групповой ориентации и избежания при этом их повреждения, ориеитируемые детали помещают между двум;; вакуумными присосами с опорными плоскостями, выполненными из п011истого vl атер пала, затем созда loT Ва1(1 ум, 10 достаточный для удержания деталей, обращенных к опорным плоскостям ббльшей поверхностью, и разводят вакуумные присосы с однозначно ориентированными деталями на требуемое расстояние.

Патент 391652 // 391652

Способ образования микрополости в твердом теле // 383118

Полуавтомат для герметизации пайкой плоских корпусов полупроводпиков // 365226

Способ изготовления трафаретов // 337853

Способ создания изоляции соединений в интегральных системах // 234525

Патент 160230 // 160230

Способ изготовления керамической многослойной подложки // 2185683

Изобретение относится к способу изготовления керамической многослойной подложки, в частности подложки, получаемой низкотемпературным совместным обжигом керамики, в котором путем печатания на несколько сырых керамических пленок с применением токопроводящей пасты наносят печатные проводники и/или получают металлизированные отверстия для межслойных соединений, а затем сырые керамические пленки набирают в пакет, укладывая их одна на другую, и подвергают обжигу

Герметичный корпус высоковакуумного прецизионного прибора и способ его изготовления // 2356126

Изобретение относится к области радио- и электротехники и может быть использовано при разработке и изготовлении прецизионных высоковакуумных приборов в авиакосмической и радиотехнической отраслях

Способ изготовления фланцев // 2436187

Изобретение относится к области полупроводниковой электроники и предназначено для производства корпусов мощных биполярных и полевых ВЧ и СВЧ транзисторов

Защитный корпус электромеханической микросистемы, содержащий промежуточный транслятор проводки // 2436726

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано, например, в микрогирометрах, микроакселерометрах, микродатчиках давления

Способ изготовления корпусов гибридных интегральных схем // 2076391

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для изготовления гибридных интегральных схем в герметичных корпусах из материалов, вступающих в контактно-реактивное плавление

Способ изготовления полупроводникового прибора // 2037910

Изобретение относится к изготовлению полупроводниковых приборов, в частности к их сборке в пластмассовых корпусах

Способ маркировки элементов интегральных схем // 423206

Комплект для перегрузки полупроводниковых приборов // 519794

Прессформа // 570937

Устройство для закрепления деталей // 610211