Изобретение относится к абразивной обработке материалов и может быть ис пользовано в производстве полупровод« никовых структур при контроле их электрофизических параметров.

Известен станок для изготовления сферического шлифа, содер>каший опору с установленным на ней сферическим притиром и нажимным устройством, претвод, предметный столик, закрепленный на рычаге, дакиций возможность опуото кать предметный столик с закрепленной на нем полупроводниковой структурой на сферический притир, электромагнит, создаюпцтй тарнрованный прижим структу1S ры к сферическому притиру, и электронную схему, обеспечивакмцую питание, управление, сигнализацию и отключение пресвода f1j .

Наиболее существенным недостатком данного устройства является отсутствие возможности использования сферетческих притиров разных диаметров, что необходимо для шлифования полупроводниковых структур с разной тсмпцяной эпитаксию ных слоев.

Белью изобретения является расширение технологических возможностей уст ройства за счет обеспечения онеративного изменения режимов шлифования путем смены притиров.

Поставленная цель достигается т м, что зажимные приспособления для притира установлены на поворотном с возможностью фиксации, эксцентричном относительно оси привода, диске, причем притиры поочередно кинематически связаны с приводом.

На фиг. 1 приведен обший вид диска с установленными на нем притирами; на фиг. 2 вЂ” продольный разрез А-А фкг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б фяг. 2.

На диске 1 с помощью нажимных устройств 2 и 3 располагаются, например, два сферических притира 4 и 5 различных диаметров.

Притир 4 центрируется в сферических опорах 6 и 7, а ттртттттр 5 вЂ” в опорах 8

3 933397 4 и 9. ПосРедством поводков 10 и 11 йередавая движение через ш 13 прнтиры кинешма чески связаны с води- придиру 5. лами, выношенными заодно с шестерня- .. Испопьэоватше данной кон ми 12 13 к е е данно конструкции ми,, которые им зют воакожность позвопяет оперативно изменять режимы поочередного зацепления с приводной шес- $ шлифования и создает усповия об ботки т ей 14 зак и условия ра ки тепя 15 ерн, реппенно на вану двига- . на одном станке попупроводник ковых тепя, раэмешенного в основании 16. структур с различными тсипщшамн эпиПосадочная поверхность 17 основания 16, таксиапьных слоев, что сокрашает копи. явпяиицаяся направпякацей при повороте чество используемых станков. диска, выпопнена эксцентрично относи- 10 тельно оси двигателя 15. Положение Форм ормула изобретения диска фиксируется (фиксатор на чертеже яе "показан). У й

Привод притира 5 имеет промежуточ- 1$ ную шестрепо 18. Диск 1 кренится к основанию 16 винтами 19.

Устройство работает спедуюшим образом. Один из притиров, например 4, устанавливается в зоне шлифования, 2й при этом шестерня 12 входит в зацеппе-, ние с прпюдной шестерней 14. Положение диска 1 фиксируется. В этот момент шестерня 18 бпагодаря эксцентриситету не входят s зацепление с приводной 2$ шестерней 14 и, спедоватепьно, притир

5 остается неищвижным. Последний подается в зону шпифования поворотом диска по часовой стрелке на 90о. Пук этом шестерня 12 выходит из эацеппе $а ния с приводной шестерней 14, а шестерня 18 входит с ней в зацепление, стро ство дпя изготовления сферического шпифа, содержашее столик дпя размещения образца и прнтир, закрепленный в зажимном приспособлении н кннематнчески связанный с пукводом, расположенным в основании, о т л и ч а юш е е с я тем, что, с цепью расширения технологических воэможностей устройства путем обеспечении оперативного изменения режимов шпифования при использовании нескольких прнтиров, оно снабжено поворотным диском, закрепленным на основании эксцентрично осн привода н несушим зажимные приспособления, установленные с возможностью поочередного взаимодействия с приводом.

Источники информащии, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Ж 70.1770, кл. В 24 В 5/00, 1977.

933397

Составитель А. Козлова

Реаактор Б. Феаотов Техрец С. Мигунова Корректор А. Ференц

Заказ 4030/2 краж 886 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, -Москва, -Ж-ЗВ, Раушская- наб.; вЂ” д; -4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ynü Проектная, 4

Устройство для изготовления сферического шлифа

Устройство управления процессом элеваторной обработки шариков // 906672

Устройство для обработки шариков // 905007

Устройство для центробежной обработки шариков // 899329

Устройство для притирки шаровых поверхностей // 891358

Способ обработки деталей сферическим притиром // 891357

Способ центробежной обработки шариков // 891356

Станок для обработки сферических поверхностей // 889394

Станок для шлифования и полирования сферических поверхностей // 889393

Станок для шлифования шариков // 889392

Способ доводки замкнутых сферических поверхностей // 2105655

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано в машиностроении, приборостроении и оптической промышленности при совместной либо раздельной обработке внутренней и наружной замкнутых сферических поверхностей

Устройство для обработки шариков // 2119859

Шпиндельная шлифовальная головка // 2120848

Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано для шлифования сферических поверхностей

Способ изготовления сферической пробки крана с шаровым затвором // 2122487

Изобретение относится к энергетическому, химическому и нефтяному машиностроению и направлено на решение задачи повышения точности и снижения трудоемкости изготовления, а также улучшения эксплуатационных качеств сферических пробок кранов с шаровым затвором

Способ непрерывного шлифования сферических торцов конических роликов // 2162401

Изобретение относится к способам шлифования торцевых поверхностей вращения, например сферических торцов конических роликов

Способ непрерывной доводки сферических торцов конических роликов // 2162402

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в подшипниковой промышленности при доводке деталей типа роликов, имеющих сферические торцы

Устройство для обработки шариков // 2177870

Изобретение относится к обработке поверхности изделий сферической формы и может быть использовано при обработке шариков, выполненных из различных материалов, например из металла, стекла, пластмассы, янтаря и т

Способ окончательной доводки шаров подшипников // 2242352

Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано в машиностроительной промышленности для обработки шаров подшипников

Устройство для обработки шариков из полудрагоценных камней // 2294823

Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано в ювелирной промышленности при изготовлении полуфабрикатов сферической формы - шариков из полудрагоценных и поделочных камней, например янтаря

Способ и устройство для доводки сферических поверхностей // 2320468

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для доводки сферических поверхностей тел вращения, в частности шаровых пробок крупногабаритной трубопроводной арматуры с отверстиями и впадинами в сфере