Станок для шлифования торцов деталей

 

О П И С А Н И Е ()942952

ИЗЬБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 16.12.80 (21) 3220252/25-08 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.з

В 24 В 7/16

Гвеударетееннмй кемнтет

СССР (53) УДК 621.924 (088.8) Опубликовано 15.07.82. Бюллетень №26

Дата опубликования описания 25.07.82 ню венам нзобретеннй н етнрмтнй

1т Го д1 ь :

В. П. Дудка, И. В. Курбангалеев, С. П. Нырко и В. И. ШумйЛо

fq т, ч ., . . 1

I

1;

Ордена Трудового Красного Знамени завод чистых металлов "" им. 50-летия СССР (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СТАНОК Д,ЛЯ Ш,ЛИФОВАНИЯ ТОРЦОВ ДЕТА,ЛЕЙ

Изобретение относится к машиностроению и предназначено для механической обработки деталей, в том числе деталей неправильной формы, например слитков полупроводниковых материалов.

Известен станок для шлифования торцов деталей алмазным кругом, содержащий механизм закрепления деталей, выполненный в виде установочных и прижимных захватов (1).

Однако известное устройство не позволяет с достаточной точностью шлифовать детали типа слитков полупроводниковых материалов.

Целью изобретения является повышение точности обработки деталей типа слитков полупроводниковых материалов.

Указанная цель достигается тем, что механизм закрепления деталей выполнен секционным, а его установочные и прижимные захваты снабжены эластичными вставками и соединены упруго с элементами корпуса, причем механизм закрепления деталей установлен с возможностью вертикального перемещения.

На фиг. 1 схематично изображена схема предлагаемого станка; на фиг. 2 — то же, вид сверху;

Станок состоит из шлифовальной бабки с алмазным кругом 1, электропривода 2, механизма закрепления деталей, выполненного в виде установочных 3 и прижимных 4 секционных захватов с прикрепленными на них эластичными вставками 5, упругих элементов 6, механизма зажатия 7, подъемноприжимного механизма 8. Слиток 9 закреплен в эластичных вставках 5 установочных

3 и прижимных 4 захватов.

Каждая пара секций установочных и прижимныХ захватов находится в направляющих пазах, упирается в индивидуальные

15 упругие элементы и перемещается в параллельных плоскостях. Установочные захваты делаются вогнутой формы, а прижимные захваты выпуклой формы для лучшего зажатия слитка.

Устройство работает следующим образом.

Алмазный круг 1 приводится во вращение с помощью электропривода 2. Монокристаллический слиток устанавливается так, что своей боковой поверхностью каса942952 формула изобретения

uz.1 ется эластичных вставок 5 с одной или нескольких секций установочных захватов 3.

Включением механизма зажатия 7 слитка производится перемещение упругих элементов 6, прижимных 4 захватов с прикрепленными к ним эластичными вставками 5 к монокристаллическому слитку 9. Первоначальный контакт секций захватов происходит в области большего диаметра слитка 9, затем в контакт с ним входят последующие секции захватов в точках последовательно 1р уменьшающихся диаметров до того момента, пока все секции захватов не войдут в контакт с поверхностью слитка 9, после чего все упругие элементы 6 сжимаются до значения, при котором сила упругой деформации уравновешивает прижимное усилие.

Вследствие этого ось слитка 9 становится перпендикулярно плоскости алмазного круга 1. Зафиксированный таким образом монокристаллический слиток 9 подъемно-прижимным механизмом 8 прижимается нижним тор- п цом к вращающемуся алмазному кругу 1, который сошлифовывает область торца, контактирующую с ним в данный момент.

Шлифовка ведется до тех пор, по не произведет контакт всей плоскости торца слитка

9 с алмазным кругом 1. Затем слиток 9 подъемно-прижимным механизмом 8 поднимается над алмазным кругом 1, с помощью механизма зажатия 7 слитка отводятся секции прижимных захватов 4 с эластичными вставками 5 и упругие элементы 6, придерживая при этом слиток 9. В дальнейшем цикл повторяется.

Предлагаемое устройство позволяет с достаточной точностью шлифовать детали типа слитков полупроводниковых материалов.

Станок для шлифования торцов деталей алмазным кругом, содержащий механизм закрепления деталей, выполненный в виде установочных и прижимных захватов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности обработки деталей типа слитков полупроводниковых материалов, механизм закрепления деталей выполнен секционным, а его установочные и прижимные захваты снабжены эластичными вставками и соединены упруго с элементами корпуса, причем механизм закрепления деталей установлен с возможностью вертикального перемещения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Карточка ТЕХСО. Серия 20. Шлифовальные, полировальные и доводочные работы. Многоместное приспособление для шлифования торца толкателей на плоскошлифовальном станке с вращающимся столом. № 465/2, 1947.

942952

Редактор Т. Веселова

Заказ 4964/18

Составитель М. Водяницкая

Техред А. Бойкас Корректор Г. Orap

Тираж 886 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4