Вакуумный криогенный насос

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

О П И С А Н И Е >969965

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ8У (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22)Заявлено 04.01.81 (21) 3230143/25-06. (53)М. Кл. с присоелинениеет заявки,%F 04 B 37/08

Государстекниый комитет

СССР (23) Приоритет

Опубликовано 30.10.82. Бюллетень И 40

Дата опубликования описания 30. 10.82 ло делаи иаа4ретеиий и открытий (53) УДК 621..528. .1(088.8) (72) Авторы изобретения

ВСИОНВИАЯ

ТЕХНИЧЕСКАЯ

%МВМИОТЕКА

А.В.Громов и В..А.Лесуков, (71) Заявитель (54 ) ВАКУУМНЫЙ КРИОГЕННЫЙ НАСОС

oL- =2. arcin Сп, то

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных средств получения вакуума.

Известен вакуумный криогенный насос, содержащий корпус с входным патрубком и расположенные в корпусе внутри охлаждаемого теплозащитного экрана с жалюзийной решеткой криопа нели (1 ).

Недостатком известного насоса является невысокая быстрота действия вследствие значительного со;противления жалюзийной решетки потоку откачиваемого газа. йель изобретения — повышение быстроты действия насоса.

Указанная цель достигается тем, что решетка выполнена конической

zo с вершиной конуса, обращенной к криопанелям, жалюзи расположены паралпельно оси входного патрубка, а угол, при вершине конуса определяется по ,формуле где Сп вероятность пролета молекул газа через решетку.

На чертеже показан насос, продольный разрез.

Вакуумный криогенный насос содержит корпус l с входным патрубком

2 и расположенные в корпусе 1 внутри охлаждаемого теплозащитного экрана ,3 с жалюзийной решеткой 4 криопанели

5, причем решетка 4 выполнена кони-. ческой с вершиной конуса, обращенной к криопанелям 5,и жалюзи 6 расположены параллельно оси входного патрубка

2. Экран 3 установлен на фланце 7 криогенератора 8,. охлаждаемом до температуры порядка 80К, а криопанели — на фланце 9 криогенератора 8, охлаждаемом до температуры порядка

20К.

9965

Формула изобретения

cL = 2 а гс i n Сп, 20

ВНИИПИ Заказ 8349/40 1ираж 678 Подписное филиал ППР "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 96

Насос работает следующим образом °

Криогенератор 8 охлаждает установленные соответственно на фланцах

7 и 9 теплозащитный экран 3 с жала-. зийной решеткой 4 до 80К и криопанели 5 до 20К. Экран 3 и решетка 4 защищают криопанели 5 от,прямого теплового излучения, а каналы, образованные жалюзи 6, и параллельные оси входного патрубка 2 обеспечивают беспрепятственный проход откачиваемого газа к криопанелям 5. Газ, достигший криопанелей, конденсируется или адсорбируется на их поверх" ностях и давление в полости насоса понижается.

Выпопнение жалюзийной решетки конической дает возможность расположить. жалюзи параллельно оси входного патрубка и тем самым значительно уменьшить сопротивление потоку откачиваемого газа, а следовательно, повысить быстроту действия .насоса.

Вакуумный криогенный насос, содержащий корпус с входным патрубком и расположенные в корпусе внутри охлаждаемого теплозащитного экрана с жалюзийной решеткой криопанели, отличающийся тем, что, с целью .повышения быстроты действия, 10 решетка выполнена конической с вершиной конуса, обращенной к криопанелям, жалюзи расположены параЛлельно оси входного патрубка, а угол при вершине конуса определяется по форо

15 муле где Сп - вероятность пролета молекул газа через решетку.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент ClJA h 4121430, п. 62-55.5, опублик. 1978.