Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ПОПАМИ НА РАБОЧУЮ ПОЗИЦИЮ 18 S П 6 1 11 ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ по авт. св. № 1046177, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства в работе путем исключения залипания плоских деталей между планками, соединяющими ведущие и ведомые шкивы транспортирующих шнуров, оно снабжено двухступенчатыми роликами, установленными на планках в месте размещения рабочей позиции с возможностью взаимодействия большей ступенью с транспортирующими шнурами, а меньшейс плоскими деталями. 1 22

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН ае (и) з 51) В 65 G,47/00

22 2

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

Й OTHf (61) 1046177 (21) 3498002/27-03 (22) 11.10.82 (46) 23.06.84. Бюл. В 23 (72) Н.И. Никулин, В.Н. Комаров и И.И. Поярков (53) 621.867(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

В 1046177, кл. В 65 С 47/00, 04.06.82 (прототип). (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ПОЛАЧИ НА РАБОЧУ10 ПОЗИЦИ10

ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ по авт. св. Ф 1046177, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности устройства н- работе путем исключения залипания плоских деталей между планками, соединяющими ведущие и ведомые шкивы транспортирующих шнуров, оно снабжено двухступенчатыми роликами, установленными на планках в месте размещения рабочей позиции с возможностью взаимодействия большей ступенью с транспортирующими шнурами, а меньшей— с плоскими деталями.

1098876

Изобретение относится к транспортирующим устройствам, используемым, в частности, в полупроводниковом производстве для подачи заготовок фотошаблонов прямоугольной формы на рабочую позицию.

По основному авт. св. N- 1046177 известно устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей, включающее основание

10 транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод, механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров, соединение ведомого и ведущего шкивов каждого транспортирующего шнура между собой планкой, механизм раздвижения транспортирующих шнуров, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек, каждая из которых жестко связана с одной из планок и установлена на основании посредством. цилиндрической направляющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположены перпен. дикулярно планкам в горизонтальной плоскости (1), Известное устройство позволяет осуществлять в автоматическом режиме загрузку изделий на рабочую позицию, расположенную как над конвейером, так и под ним, что делает его универ,сальным, пригодным для использования в различном технологическом оборудо- 35 вании. Однако в процессе выполнения

I таких операций, как нанесение фоторезиста защитного покрытия, наносимый материал попадает на боковые поверхности обрабатываемых пластин, что 40 приводит к залипанию их между планками, соединяющими ведущие и ведомые шкивы транспортирующих шнуров.

Это существенно снижает надежность устройства в работе, ведет к непроиз- 4з водительным затратам рабочего времени и повреждению обрабатываемых йластин.

Целью изобретения является повышение надежности в работе устройства путем исключения залипания плоских 50 деталей между планками, соединяющими ведущие и ведомые шкивы транспортирующих шнуров.

Эта цель достигается тем, что уст= ройство для транспортирования и подаЫ чи на рабочую позицию плоских дета.лей снабжено двухступенчатыми роликами, установленными на планках в месте размещения рабочей позиции с возможностью взаимодействия большей ступенью с транспортирующими шнурами, а меньшей - с плоскими деталями.

На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей; на фиг. 2 — сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 — сечение Б-Б на фиг. 1.

Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4 ролики, попарно соединенные между собой планками 5 и б, транспортирующие шнуры 7 и 8, расположенные в горизонтальной плоскости перпендику-. лярно планкам, цилиндрические напран— ляющие 9 и 10, механизм раздвижения транспортирующих шнуров в виде цилиндрических зубчатых реек 11 и 12 (фиг. 2) и закрепленной на валу электродвигателя 13 шестерни 14, входящей в зацепление с цилиндрическими зубчатыми рейками, механизмом подъема и опускания транспортны> шнуров в виде эксцентрика 15 с приводом 16, и привод транспортирующих шнуров, содержащий злектропривод 17, натяжные ролики 18 (фиг. 1), приводной ремень 19. Планка 5 посредством кронштейна 20 (фиг. 2) жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 11. Планка 6 посредством кронштейна 21 жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 12. Эксцентрик 15 установлен с возможностью взаимодействия с ведомыми .роликами 3, На планках 5 и 6 симметрично рабочей позиции 2 установлены двухступенчатые ролики 22, взаимодействующие большей ступенью с транспортирующими шнурами

7 и 8 (фиг. 3), а меньшей - с транспортируемыми деталями 23, причем та поверхность роликов, которой.они соприкасаются с обрабатываемыми деталями, покрыта материалом, который практически не смачивается фоторезистом, лаком:: и другими подобными материалами. Конструктивно это покрытие выполнено в виде кольца 24 из фторопласта.

Устройство для транспортирования и подачи изделий на рабочую позицию работает следующим образом.

В исходном положении эксцентрик 15 обращен своим наибольшим радиусом

1098876, (относительно оси вращения) к ведомым роликам 3, при этом транспортирующие шнуры 7 и 8 располагаются выше плоскости рабочей позиции 2. В исходном положении расстояние между 5 внутренними ветвями транспортирующих шнуров несколько меньше соответствующего габаритного размера транспортируемого изделия. Иэделие, например полупроводниковая пластина или заго- 10 товка фотошаблона из кассеты (не показана), загружается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения с рабочей позицией 2, представляющей собой, напри- 15 мер, ротор центрифуги. При совмещении изделия с позицией обработки привод 17 отключают и включают привод 16.

При этом эксцентрик 15 поворачивается вокруг своей оси на 180, вслед- 20

O ствие чего рейки 11 и 12 поворачиваются вокруг соответствующих осей направляющих 9 и 10, планки 5 и 6 с транспортирующими шнурами 7 и 8 опускаются ниже плоскости рабочей по- 25 зиции 2 и обрабатываемое изделие устанавливается на рабочую позицию.

В этом положении включают электродвигатель 13. Шестерня 14, поворачиваясь вокруг своей оси, перемещает 30 цилиндрические зубчатые рейки 11 и

12 по направляющим 9 и 10 во взаимно противоположных направлениях, При этом закрепленные на рейках 11 и 12 планки 5 и 6 вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 роликами и транспортирующими шнурами ? и 8 раздвигаются и транспортирующие шнуры 7 и 8 выходят из зоны обработки. После -т-ого рабочая позиция 2 накрывается специальным колпаком (не показан), под которым производится технологическая операция, например нанесение слоя фоторезиста на подложку или ее отмывка. По истечении определенного време- 45 ни колпак снимают и включают привод 13

Шестерня 14, поворачиваясь вокруг своей оси, перемещает рейки 11 и 12 с закрепленными на них планками 5 и 6 и транспортирующими шнурами 7 и 8 на50 встречу друг другу. При этом транспортирующие шнуры 7 и 8, сближаясь, оказываются под обрабатываемым изделием.

Так как один из натяжных роликов

18, кинематически связанный с приво55 дом 17, не вращается (привод 17 отключен), то при сближении планок 5 и 6 вследствие изменения межцентрового расстояния между ведущими роликами 4 и натяжными роликами 18 ведущие ролики 4 начинают вращаться и сообщают вращательное движение посредством шнуров 7 и 8 двухступенчатым роликам

22..В момент максимального сближения планок 5 и 6 включают привод 16 поворота эксцентрика 15, последний поворачивается на !80, при этом транспоро тирующие шнуры 7 и 8 поднимаются вверх и поднимают обрабатываемое изделие с рабочей позиции..Одновременно включают привод 17, который через приводной ремень 19 приводит в движение транспортирующие шнуры 7 и 8. С этого момента времени вращательное движение двухступенчатым роликом 22 сообщается посредством транспортирующих шнуров 7 и 8. Вращающиеся двухступенчатые ролики 22 своими меньшими ступенями контактируют с обрабатываемой деталью 23 (фиг. 3).

При этом обрабатываемое иэделие подается в приемную кассету, а очередное изделие из подающей кассеты поступает на транспортирующие шнуры (кассеты не показаны). Цикл повторяется. Так как в момент снятия с позиции обработки деталь 23 контактирует с вращающимися роликами, рабочие поверхности которых выполнены из фторопласта, то залипания детали не происходит несмотря на наличие на ее боковых поверхностях фоторезиста или лака, обладающих повышенной адгезией к контактирующим с ними предметам. Кроме того, двухступенчатые ролики 22, боковые поверхности которых выступают за пределы планок 5 и 6, дополнительно ориентируют образом, что при дальнейшем перемещении ее края не задевают планки 5 и 6.

Таким образом, предлагаемое изобретение позволяет полностью исключить залипание обрабатываемых деталей между планками, вследствие чего повышается его надежность в работе, а за счет исключения простоев оборудования, возникающих вследствие устранения последствий залипания деталей между планками, возрастает его производительность.

1098876

6 М Я 21/2

Составитель Б. Толчанов

Редактор Л. Гратилло Техред Т.Маточка Корректор В. Синицкая

Заказ 4309/.18 Тираж 843 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рау нская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4