Вакуумный транспортный канал

 

1.ВАКУУМНЫЙ ТРАНСПОРТНЫЙ KA ,НАЛ, преимущественно в установках для изготовления тонкопленочных многослойных структур, содержащий установленные на основании герметично соединенные между собой секции и размещенные внутри них на опорах направляющих для каретки, отличающийся тем. что. с целью повышения надежности в работе, каждая секция транспортного канала снабжена цилиндрическими патрубками с фланцами и кронштейнами , которые коаксиально размещены на торцах секций транспортного канала и снабжены регулировочными элементами фланцы цилиндрических патрубков соединены между собой посредством сильфонов. а крайние сркции транспортного канала жестко закреплены на основании. 2.Канал по п.1. о т л и ч а ю щ и и с я тем. что регулировочные элементы выполнены в, виде болтов и гаек и размещены в кронштейнах цилиндрических патрубков в два ряда на образующей наружного цилиндрического патрубка с возможностью взаимодействия с внешней поверхностью внутреннего цилиндрического патрубка. 3.Канал по п.1. отличающийся тем. ел что направляющие каретки установлены на опорах с возможностью продольного переС мещения, причем один из концов направляющих выполнен в виде Г-образного выступа, а в другом имеется прорезь.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5ц5 Н 05 К 13/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3605831/21 (22) 30.03.83 (46) 15.11;91. Бюл. N 42 . (72) Н.M.Âàëüêîâ, Н,А.Кузнецов и В.М.Ляпин (53) 621.793.14.002,51 (088;8) (56) Данилин Б.С, Вакуумное нанесение тонких пленок. M., "Энергия", 1967, с. 293-302.

Автоматизированная установка непрерывного действия для изготовления тонкопленочных. резисторов. . Устройство для непрерывной металлизации тонкопленочных структур. Jornal

Vacuum Science and Technology. (54)(57) 1.ВАКУУМНЫЙТРАНСПОРТНЫЙ КА.НАЛ, преимущественно в установках для изготовления тонкопленочных мноГослойных структур, содержащий установленные на основании герметично соединенные между собой секции и размещенные внутри них на опорах направляющих для каретки, о т л и ча ю шийся тем, что, с целью повышения надежности в работе, каждая секция транспортного канала снабжена цилиндрически-.

Изобретение относится к области электронного машиностроения, в частности для производства тонкопленочных многослойных структур изделий микроэлектронной техники.

Цель изобретения — повышение надежности в работе.

На фиг. 1 изображен вакуумный транспортный канал; общий вид; на фиг. 2 — вакуумный транспортный канал, вид сверху; на фиг. 3 — коаксиальное соединение цилиндрических патрубков смежных секций, разрез; на фиг. 4 — разрез А — А на фиг. 3.

„„ЯЦ„„1181514 А1 ми патрубками с фланцами и кронштейнами, которые коаксиально размещены на торцах секций транспортного канала и снабжены регулировочными элементами фланцы цилиндрических патрубков соединены между собой посредством сильфонов, а крайние секции транспортного канала жестко закреплены на основании.

2. Канал поп.1,отличающийся тем, что регулировочные элементы выполнены в, виде болтов и гаек и размещены в кронштейнах цилиндрических патрубков в два ряда на образующей наружного цилиндрического патрубка с возможностью взаимодействия с внешней поверхностью внутреннего цилиндрического патрубка.

Ф

Ое

3. Канал по п.1, отличающийся тем, что направляющие каретки установлены на опорах с возможностью продольного перемещения, причем один из концов направля-. ющих выполнен в виде Г-образного выступа, а в другом имеется прорезь.

Вакуумный транспортный канал содержит секции 1 с направляющими 2 и вводами движения 3, компенсаторные звенья 4, каретку 5, основание 6, систему получения высокого вакуума 7, устройства загрузки 8 и разгрузки 9, систему предварительной откачки 10 и 11.

Секция 1 транспортного канала представляет собой трубопровод с фланцами для присоединения к ней устройств и технологических камер. Соединяясь между собой через компенсаторные звенья 4, секции образуют общий транспортный канал. Каждая

1181514

4, секция. содержит направляющие 2, представляющие собой двухколейный путь из прямоугольных профилей, которые опираются на опоры 12 и 13, прикрепляемые к корпусу секции с помощью болтов 14. Направляющие 2 к опоре 13 крепятся болтами

15, а в опоре 12 имеют возможность продольного перемещения при тепловом расширении в процессе обезгаживания.

Направляющие соседних секций соединяются. между собой посредством Г-образных выступов и прорезей, обеспечивающих взаимное продольное перемещение при нагреве.

B каждой секции имеется сильфанный ввод движения 3, через который передается вращение на зубчатое колесо, входящее в зацепление с зубчатой рейкой каретки 5.

Передача вращения на зубчатое колесо осуществляется через редуктор от шагового электродвигателя или ручного маховика.

К крайним секциям транспортного канала подсоединяются устройства загрузки 8 и разгрузки 9, Компенсаторное звено 4 состоит из двух коаксиально расположенных цилиндрических патрубков 16 и 17 с фланцами 18 и

19 и кронштейнами 20, Фланцы 18 и 19 соединены между собой посредством сильфонов 21, а цилиндрические патрубки 16 и

17 снабжены регулировочными элементами в виде размещенных в кронштейнах 20 болтов 22 с гайками 23, а также болтов 24, размещенных на поверхности наружного цилиндрического патрубка 16 в два ряда с возможностью взаимодействия с внешней поверхностью внутреннего цилиндрического патрубка 17. Фланцами 18 и 19 компенсаторное звено 4 соединяется с смежными секциями 1, образуя герметичный канал. С помощью болтов 22 и гаек 23 производится регулировка секций 1 в продольном направлении. При перемещении гаек 23 до упора влево обеспечивается возможность взаимного продольного перемещения цилиндрических патрубков 16 и 17 при тепловом расширении секций 1 за счет сжатия сильфона 21., С помощью болтов 24 производится регулировка секций в радиальном направлении. Болты 24 расположены в два ряда по три болта в ррАУ.

Каретка 5 служит для транспортирования образца внутри вакуумного транспортного канала. Каретка представляет собой тележку на четырех вакуумных подшипниках, имеющую в своем составе корпус, зубчатую рейку и площадку с рычажными механизмами для закрепления образца.

Основание 6 представляет собой опорную сварную конструкцию, состящую также из одинаковых секций, позволяющих собирать основание необходимой длины. Внутри основания образуется канал для размещения всех энергетических коммуникаций.

Система получения высокого вакуума 7 состоит из магниторазрядных диодных насосов, серийно выпускаемых промышленHOCTblO.

Устройства загрузки 8 и разгрузки 9 имеют одинаковую конструкцию и служат для загрузки исходных образцов в вакуумный транспортный канал и выгрузки обработанных образцов из вакуумного транспортного канала в атмосферу. Устройства загрузки 8 и разгрузки 9 состоят из передающих манипуляторов 25, вакуумных шиберов 26 и накопителей 27 образцов.

Системы предварительной откачки 10 и

11 служат для создания в вакуумном транспортере и накопителях предварительного вакуума.

Вакуумный транспортный канал работает следующим образом.

Исходные образцы закладываются в накопитель 27 устройства загрузки 8. Производится предварительная откачка иэ накопителей 27 и получение высокого вакуума. Открывается шибер 26 устройства загрузки. Если каретка 5 находится в секции устройства загрузки, то ее необходимо переместить в соседнюю секцию. После этого передающим манипулятором 25 образец забирается из накопителя 27 и переносится в крайнее заднее положение. Затем каретку 5 перемещают в секцию устройства загрузки

8, закрыв предварительно шибер 26. Далее манипулятором 25 образец устанавливают в зажимное рычажное устройство на каретке 5 и захваты манипулятора 25 отводятся назад. После этого образец с помощью каретки 5 передается к соответствующей рабочей камере. С каретки 5 образец с помощью манипулятора, установленного на рабочей камере, передается на обработку внутрь камеры. После обработки образец этим манипулятором возвращается на каретку 5 и транспортируется к другой рабочей камере для выполнения последующей операции или к устройству разгрузки 9. Выгрузка образца осуществляется таким образом. Каретка 5 с образцом подходит в секцию устройства разгрузки 9. Передающим манипулятором 25 образец снимается с каретки 5 и перемещается в заднее положение. Каретка 5 перемещается в соседнюю секцию или в устройство загрузки эа новым образцом.

1181514

Далее открывается шибер 26 устройства загрузки 9, соединяя объем вакуумного транспортного канала с накопителем 27, находящимся также под высоким вакуумом.

Образец перемещается передающим манипулятором 25. в накопитель 27 и укладывается в него. Захваты передающего манипулятора

25 отводятся в крайнее заднее- положение.

Ш ибер 26 закрывается. После этого накопитель 27 может отстыковываться от вакуумного транспортного какала для извлечения обработанного образца.

Применение вакуумного транспортного канала с цилиндрическими патрубками, обеспечивающими возможность регулирования расположения секций в продольном и радиальном направлениях, позволяет значительно снизить точностные требования, а

5 следовательно, и затраты на изготовление и монтаж вакуумного транспортного канала.

Выход из строя вакуумного транспортного канала приводит к простою всех рабочих камер оборудования, поэтому

10 повышение надежности вакуумного транспортного канала существенно сказывается на увеличении коэффициента технического использования и производительности.оборудования в целом.

1181514

Техред М.Моргентал

Редактор М.Ленина

Корректор Т.Палий

Производственно-издательский комбинат "Патент". г. Ужгород. ул. Гагарина. 101

Заказ 4639 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по иэобретенилм и открытием при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушскаю наб., 4/5