Сополимеры аллиловых эфиров алкенилциклопропанкарбоновых кислот с малеиновым ангидридом в качестве светочувствительной основы фоторезиста

 

Сополимеры аллиловых эфиров алкенилциклопропаикарбоновых кислот с малеиновым ангидридом общей формулы т, гУ -fCH2-C C-CHf-CH-CH-CHi|, . R2 COOCHf-C№ CH2 где R и Rj - Н или СН, (П с мол.мае. 46500-52000 в качестве светочувствительной основы фоторезиста .

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

NQ

РЕСПУБЛИН (!9) (! Ц

„ц, С 08 F 222/06, С 03 С 1/68

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ:.;;

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTMA (21) 3684228/23-05 (22) 02. 01 . 84

;(46) 30. 09. 85. Бюл. У .36 ,(72) А. М. Гулиев, С.С. Гасанова, Г.А. Рамазанов, Э.А. Мусина и А.Т. Апыев (71) Институт хлорорганического синтеза АН АЗССР (53) 678.744.3-13 (088.8} ($6) Белякова А.П. и др. Светочувствительность поливинилциннамата и его нитропроизводных, высокомолекулярные соединения. Т. 7, 1965, с. 1637.

Авторское свидетельство СССР по заявке Р 3505193/23-05, кл. С 08 F 18/04, 1983. (54) СОПОЛИМЕРЫ АЛЛИЛОВЫХ ЭФИРОВ

АЛКЕНИЛЦИКЛОПРОПАНКАРБОНОВЫХ КИСЛОТ

С MAJIEHHOBbIM АНГИДРИДОМ В КАЧЕСТВЕ

СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОЙ ОСНОВЫ ФОТОРЕЭИСТА. (57) Сополимеры аллиловых эфиров алкенилциклопропанкарбоновых кислот с малеиновым ангидридом общей формулы

0 0 О

- сн;с-с — сн — rí-4-сн+ — (.

Rg C00CH CH=CH, где R и Rг или CCHç с мол.мас. 46500-52000 в качестве светочувствительной основы фоторезиста.

1182050

Изобретение относится к химии полимеров, а именно к сополимерам аллиловых эфиров алкенилциклопропанкарбоновых кислот с малеинавым ангидридом в качестве светочувствительной основы фоторезистов, используемых для изготовления интегральных схем с субмикронными размерами элементов методом фотолитографии.

Цель изобретения — повышение 10 светочувствительности и разрешающей способности фоторезистов.

Пример 1. В ампулу помещают 1,52 г (0,0", г/моль) аллилового эфира 2-винил-циклопропанкарбоно- 15 вой-1 кислоты формулы

Р, Р, !

СН =С-С вЂ” СНСООСН -СН=СН

2,,/ Н где R< и R =Н> 1,42 мл абсолютного бензола, 0,98 r. (0,01 г/моль) малеинового ангидрида, 0 05 г динитрила аза-бисизамасляной кислоты

25 (ДИНИЗ) (2% от веса исходных соединений).

Лмпулу продувают азотом запаивао ют. Нагревают 5 ч при 70 С, затем охлаждают да 18-20ОС и содеряямое осаждают в гексан, несколько раз промывают гексаном и сушат в вакуумсушилке при 30 С. Получают 1,82 г (73%) сапалимера.

Пример 2. Полимеризацию 35 проводят аналогично примеру 1, . но в качестве монамера используют аллиловый эфир 2-винил-2-метилциклопропанкарбоновой-1 кислоты формулы (1), где R< — Н1Н вЂ” СН, в кали- 40 честве 1,66 r (0,01 г/моль), 0,98 г (0,0! г/моль) малеинового ангидрида, ДИНИЗа в количестве

0,0528 г (2% от веса исходных саеди †нений). Выход составляет 1,795 г 45 (68%) .

П р и и е р 3. Полимеризацию проводят аналогично примеру 1, но в качестве маномера используют аллиловый эфир 2-изапрапенилциклопропан- 50 карбанавай-1 .кислоты формулы (1), где RI=ÑII,, R =Н, в количестве

1,66 г (0,01 г/моль) » 98 г (0,01 г/моль) малеинового ангидрида, ДИНИЗа в количестве 0,0528 r (2% 55 от веса исходных соединений). Выход составляет 1,848 r (70%).

Пример 4. Полимеризацию проводят аналогично примеру 1, но в качестве мономера используют алли- ловый эфир 2-метил-2-изопропенилциклопропанкарбоновой-1 кислоты формулы (1), где R è R =-СН в количестве 2-28 r (0,,01 г/моль),0,98 r (0,01 r/моль) малеинового ангидрида, ДИНИЗа в количестве 0,0326 r (2X от веса исходных соединений).

Выход составляет 2,314 r (71 %).

В ИК-спектре полученных сополимеров имеются характерные полосы поглощения для карбонильных и

-t аллиловых групп в области 1730 и

1640 см соответственно. Вхождение в цепь сополимера ангидридных

1 звеньев характеризуется появлением полос поглощения в области 1790 и

1850 см, характерных для карбонильнай группы в ангидридных молекулах.

IINP-спектры содержат резонансные сигналы для протонов у двойных связей (а = 5,0-5,50", 5,50-6,0 м.д.)

СН . у карбанильной группы (G — 4,5 м.д., — сн,-сн, — ((l

= 2,12 м.д.) метильные группы у . двойной связи (6 = 1,75 м.д.) соответственна. Сложный мультиплет в области (б = 3,1-3,70 м.д.) относится к протонам метинавых протонов из ангидридных звеньев. Все полученные сополимеры являются белыми порошками, хорошо растворимыми в полярных растворителях, в частности ацетоне, хлороформе, диметилфармамиде.

Некоторые свойства синтезированных сопалимерав приведены в табл. 1.

Литографические характеристики сополимерав приведены в табл.2.

Литографические характеристики сополимеров аллиловых эфиров алкенилциклопрапанкарбоновых кислот с малеиновым ангидридом: толщина пленки 0,3-0 5 мкм, сушка пленки о при 80 С вЂ” 20 мин., состав проявителя 1,4-диаксан-изапропиловый спирт

1:2, время проявления -2 мин.

Разрешающая способность пленок составляет 1 мкм, а микродефектность — 0,3 — 0,8 деф./см . Разрешающая способность пленок из сопалимера-прототипа составляет 2,0 мкм.

1182050

Таблица 1!

Тразм, ю

ОС

Выход,X

Пример, Ф

61,99 5,57 32,44 165 168 48.10з

62,4 5,6 32

63,64 6,06 30,3 63,60 6,04 30,36 165-170 46,5 1О 6S

63,64 6,06 30,3 63,59 6,03 30,38 170-175 52 10

1

64,75 6,47 28,78 64,71 6,42 28,87 158-160 47,5 ° 10

Таблица 2

Фоточувствительность, см /Дж

Состав сополимеров аллиловых эфиров алкенилциклопропанкарбоновых кислот с малеиновым

Композиция, У лимеров, вес.Х

Предла- Прототип гаемый ангидридом

К =К =Н

19,6

31,3

21,4

34,6

30,2

18,3

29,6

18,1 2ЩЗ

37,2

20,7

17,6

28,2

17,5

30,3

К! СН

37,2

20,8

32,3

18,6

25,8

16,8

К,=К =СН

31,4

20,2

26,3

17,6

Составитель Л. Валуев

Техред Л.Микеш Корректор О. Луговая

Редактор В. Ковтун

Тирал 474 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6066/24

Филиал ППП "Патент", г. У кгород, ул. Проектная,4 Вычислено

1н

Найдено

Концентрация сопоМолекулярная масса