Устройство для контроля интегральных схем

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1208555

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHGMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕКИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3770638/24-24 (22) 05.07.84 (4Ъ) 30.01.86. Бюл. ¹ 4 (72) С.А.Гаврилов, N.С.Кушуль и А,А.Школа (53) 621.317,799 (088.8) (56); Авторское свидетельство СССР № 376851, кл. G 06 F 11/00, 1971.

Авторское свидетельство СССР № 1049912, кл. G 06 F 11/00, 1982. (54) (57) 1 УстРОйстВО дЛЯ КОнтРОля

ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащее первый коммутационный блок, соединенный первым и вторым сигнальными входами с первым и вторым выходами блока питающих напряжений, первым выходомс первым выходом устройства, блок опорных напряжений, соединенный первым и вторым выходами с первым и вторым выходами измерительного блока, блок индикации, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства путем обе =печения возможности контроля качества охранных (защитных) диодов, введены блок управления, блок анализа брака, реле, два генератора тока, второй коммутационный блок, а измерительный блок содержит первый и второй компараторы, первый коммутационный блок соединен вторым выходом с вторым выходом устройства, первые входы которого соединены с информационными входами второго коммутационного блока, соединенного управляющими входами с соответствующими выходами блока управления и с первыми входами блока индикации, вторые входы которого (50 4 Л 06 Р 11/00, G 01 R 31/28 соединены соответственно с первым и вторым выходами блока анализа брака, соединенного третьим выходом с первым входом блока управления, четвертым выходом — с третьим выходом устройства, а первым и вторым входами соответственно — с первым и вторым выходами измерительного блока, соединенного третьим входом с выходом второго коммутационного блока и с переключающим контактом реле, размыкающий контакт которого соединен с выходом первого генератора тока, а замыкающий контакт — с выходом второго генератора тока, второй выход блока управления соединен с входом блока опорных напряжений, третий выход — с четвертым выходом устройства четвертые выходы — с уп1 равляющими входами первого коммутационного блока, пятый выход через обмотку реле — с третьим выходом блока питающих напряжений, второй вход — с вторым входом устройства и с третьим входом блока анализа брака, соединенного четвертым входом с шестым выходом блока управления и с четвертым входом измеритель.ного блока, четвертый выход блока питающих напряжений соединен с третьим сигнальным входом первого коммутационного блока, измерительные входы первого и второго компараторов измерительного блока соединены между собой и данная точка соединения является третьим входом измерительного блока, четвертый вход которого соединен со стробирующими входами первого и второго компараторов, входы опорных напряжений кото1208555 рых являются соответственно первым и вторым входами измерительного блока, первый и второй выходы которого соеди. иены соответственно с выходами первого и второго компараторов.

2. Устройство по и. 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что блок управления содержит блок памяти, соединенный первым, вторым, третьим, четвертым и пятым выходами с одноименными выходами блока управления, адресными входами с выходами счетчика адреса, соединенного установочным входом с вторым входом блока управления, счетным входом — с выходом первого элемента И и с входом первого одновибратора, соединенного выходом с шестым выходом блока управления, соединенного первым входом с первым входом первого элемента И, второй вход которого соединен с выходом генератора тактовых импульсов.

3. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что блок анализа брака содержит элемент ИЛИ-HE соединенный выходом с третьим выходом блока анализа брака, соединенного первым и вторым выходами соответственно с первыми выходами первого и второго триггеров, вторые выходы которых соединены соответственно с первым и вторым входами элемента

ИЛИ-НЕ, четвертый выход блока анализа брака соединен с вторым выходом второго триггера, соециненного первым входом с первым входом перво-, го триггера и с третьим входом блока анализа брака, соединенного вторым

1!

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может бить использовано при контроле интегральных схем (ИС).

Цель изобретения - расширение, функциональных возможностей устройст. ва путем обеспечения возможности контроля качества охранных (защитных} диодов.

На чертеже приведена блок-схема 10 устройства. входом с вторым входом первого триггера и с входом элемента НЕ, выход которого соединен с первым входом второго элемента И, соединенного вторым входом с первым входом блока анализа брака, третьим входом через второй одновибратор — с четвер. тым входом блока анализа брака, вьг ходом — с вторым. входом второго триггера. .4. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что второй ком. мутационный блок содержит первые ключевые элементы, соединенные выходами с выходом второго коммутационного блока, соединенного информационными входами с информационными входами соответствующих первых ключевых элементов, управляющие входы которых со. единены с управляющими входами второго коммутационного блока.

5. Устройство по п, 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что первый ком. мутационный блок содержит второй и третий коммутационные элементы, соединенные сигнальными входами с треть. им сигнальным входом первого коммутационного блока, соединенного первым и вторым сигнальными входами соответственно с сигнальными входами четвертого и пятого ключевых элементов, управляющими входами соответственно - с управляющими входами второго, третьего и четвертого ключевых элементов, первым выходом - с выходами третьего и пятого ключевых элементов, вторым выходом — с выходами второго и четвертого ключевых элементов.

У с трой с тв о с оде ржи т блок 1 индикации, блок 2 питающих напряжений, блок 3 опорных напряжений, измерительный блок 4, первый 5 и второй 0 комапараторы, реле 7 с обмоткой 7.1 и контактами 7.2, первый 8 и второй

9 генераторы тока, первый коммутационный блок 10, второй 11, четвертый 12, пятый 13 и третий 14 ключевые элементы, например реле, второй коммутационный блок 15, блок 16

1208 управления, в торой вход 17, сч етчик 18 адреса, первый одновибратор, 19, первый элемент 20 И, генератор

21 тактовых импульсов, блок 22 памяти, блок 23 анализа брака, элемент

24 НЕ, второй элемент 25 И, первый

26 и второй 27 триггеры элемент

28 ИЛИ-НЕ, второй одновибратор 29,. первые ключевые элементы 30.1-30.!1, например, реле, четвертый 31 и тре- 1О тий 32 выходы. На чертеже показана также контролируемая ИС 33, Устройство работает следующим образом.

При поступлении сигнала с входа

17 происходит сброс счетчика 18 адреса триггеров 26 и 27 в блоке 16 управления в исходное состояние. При этом на входы элемента 28 ИЛИ-НЕ поступают логические нули с выходов 20 триггеров 26 и 27. Импульсы с выхода генератора 21 тактовых импульсов через элемент 20 И поступают на входы счетчика 18 адреса и одновибратора

19, поскольку элемент 20 И открыт ло- 25 гической единицей, поступающей с выхода элемента 28 ИЛИ-НЕ при заполнении счетчика 18 адреса, происходит последовательно во времени считывание программ контроля из блока 22 30 памяти, что обеспечивает все необходимые виды проверок ИС 33.

Первоначально устройство осуществляет контроль падения напряжения (U „ ) на охранных диодах. При этом по сигналам с блока 22 памяти

4 нов ибратора 19, осуществляющего согласование во времени включения изме рительных цепей и монтажа измерений, В зависимости от значения выходных сигналов компараторов 5 и 6 блок 23 анализа брака фиксирует результат измерений в триггерах 26 и 27.

Если контактирование выходов устройства с выводами ИС ЗЗ отсутствует, то максимальный сигнал с генератора 8 тока поступает на входы компараторов 5 и 6, которые срабатывают, и на их выходах формируются единичные импульсы в момент строба от одновибратора 19. Триггер 27 не срабатывает, так как элемент 25 И заперт нулевым сигналом с элемента 24 НЕ, Триггер 26 изменяет свое состояние по сигналу с компаратора 6, что приводит к прекращению подачи тактовых импульсов с генератора 21 тактовых импульсов через элемент 20 И на счетчик 18 адреса и останову рабо" ты устройства. При этом на блоке 1 индикации светятся индикаторы, указывающие вид отказа по сигналу с триггера 26 и контролируемый вывод

ИС 33 по сигналам с выходов блока 22 памяти. Для исключения гонки сигналов с выходов компараторов 5 и 6 имеется одновибратор 29, который стробиI рует элемент 25 И в момент наличия на нем уже сформированных сигналов с выходов компараторов 5 и 6. происходит включение ключевого элемента 11 в блоке 10, который передает нулевой потенциал с блока 2 питающих напряжений на подложку ИС 33 ключевые элементы 12, 13 и 14 разомкнуты. В коммутационном блоке 15 по очереди включаются ключевые элементы 30.1 — 30. h (соответствующие выводам, имеющим охранный диод), и через них осуществляется подача тока заданной величины с генератора 8 тока через контакты 7.2 реле 7 на. соответствующий ИС 33.

45

При наличии контакта зондов к под- 50 ложке и выводу ИС 33 в результате протекания тока генератора создается падение напряжения на охранном диоде, которое поступает на входы двух компараторов 5 и 6 в измери- 55 тельном блоке 4. Моменты работы компараторов 5 и 6 определяются стробами, постугающими с выхода одПри наличии контактирования на негодном охранном диоде в ИС 33 на этом диоде выделяется падение напря жения больше нормы, задаваемой по техническим условиям.

B этом случае компаратор 6 срабатывает,на его выходе формирует ся логический ноль, который создает на выходе элемента 24 HE логическую единицу. На выходе сработавшего компаратора 5 в момент строба одновибратором 19 формируется единичHbIH импульс> KQTopbIH по стробу QT одновибратора 29 проходит через элемент 25 И на вход триггера 27. Триггер 27 фиксирует отказ. На блоке индикации индицируется вид отказа по сигналу с триггера 27. С триггера 27 формируется через элемент

28 ИЛИ-НЕ запрещающий сигнал на элемент 20 И, прекращая работу устройства.

120

Окончание контроля контактирова- ния фиксируется по сигналам, поступающим на выходы 31 и 32. На выход

32 поступает сигнал "Брак" с триггера 27, фиксируя брак ИС 33 и окончание контроля ИС 33. На выход 31 поступает сигнал с выхода блока 22 памяти, фиксируя окончание программы контроля с выдачей признака годности, в случае, если все измерения по всем выводам показали годность ИС 33 и компараторы 5 и 6 не сработали. С выхода блока 22 памяти поступают сигналы на блок

3 опорных напряжений, устанавливающие полярность и величину опорных напряжений, задаваемых на блок 4.

В ИС 33 охранные диоды могут иметь различную полярность по отношению к подложке, поэтому в предлагаемом устройстве предусмотрена возможность подачи различных по направлению токов с двух генераторов тока 8 и 9. Выбор генератора тока

8 или 9 осуществляется по сигналу с блока 22 памяти, поступающему на обмотку 7.1 реле 7, что приводит к

8555 Ь тому или иному вклочению его контакта 7,2, В случае проверки контактирования по выводам ИС 33, не имеющим охранных циодов, осуществляется подача напряжения на вывод питания ИС

33 (нулевой потенциал) через ключевой элемент 14, при этом ключевые элементы 11, 12 и 13 закрыты по

10 сигналам с выходов блока 22 памяти. Проверка контактирования. в этом случае аналогична ранее описанной эа исключением иной формы браковки по напряжению, падающему на р-я-пе15 реходах ИС 33 от шины питания до контактной площадки. Изменение нормы браковки осуществляется по сигналам с выхода блока 22 памяти, поступающим на вход блока 3 опорных напря20 жений, который изменяет величину опорного напряжения, поступающего на вход компаратора 5, Ключевые элементы 12 и 13 предусмотрены для того, чтобы задавать -> иную полярность напряжений на выводы ИС 33 (подложка и шина питания) в зависимости от вида проводимости р-канала или h -канала.

ВНИИПИ Заказ 289/58

Тираж 673 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул..Проектная, ч