Способ отбраковки кмоп интегральных схем по уровням надежности

 

Изобретение относится к технической диагностике. Может быть использовано для повышения надежности электронной аппаратуры, построенной на КМОП микросхемах. Цель изобретения - повышение отбраковки потенциально надежных КМОП микросхем. На интегральную схему (ИС) подают номинальное напряжение питания и входные сигналы. Измеряют у всех ИС, входящих в контролируемую партию, величину активного сопротивления, включенного в цепь питания ИС, при которой прекращается функционирование (критическое сопротивление ). Затем определяют значение RKP/IT м соответствующее максимуму распределения критических сопротивлений в партии ШС, и отбраковывают ИС по ОТЛИЧИЯ) индивидуальных значений с ,j от значения К,рит.м. на величину, превьшающую среднеквадратическое от (Л клонение & . Новым в способе является измерение величины ,,. для всех ИС, входящих в партию, иотбраковка /&,.. ИС по критерию .PVn КРИТ.М 1 3.п. ф-лы. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

О11 4 G 01 R 31/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA (21) 3919252/24-21 (22) 26 ° 06.85 (46) 07.11.86. Бюл. 9 41 (71) Московский лесотехнический институт (72) А.А. Дмитриев, Я.В. Малков и С.П. Петров (53) 621.317.799 (088.8) .(56) Финкельштейн Е.Я. Обеспечение надежности элементов методами параметрического контроля. — Рига, Зинатке, 1979.

Electronic Letters. 1978, Ф 14, р. 454. (54) СПОСОБ ОТБРАКОВКИ КМОП ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ПО УРОВНЯМ НАДЕЖНОСТИ (57) Изобретение относится к технической диагностике. Может быть использовано для повьппения надежности электронной аппаратуры, построен- ной на КМОП микросхемах. Цель изоб„„SU„„1269061 А 1 ретения — повьпление отбраковки потенциально надежных КМОП микросхем.

На интегральную схему (ИС) подают номинальное напряжение питания и входные сигналы. Измеряют у всех

ИС, входящих в контролируемую партию, величину активного сопротивления, включенного в цепь питания ИС, при которой прекращается функционирование (критическое сопротивление Repute) .

Затем определяют значение R ð T,„, соответствующее максимуму распределения критических сопротивлений в партии ИМС, и отбраковывают ИС по отличию индивидуальных значений

R „, от значения R„,ä,,„ на величину Ж превьппающую среднеквадратическое отклонение б . Новым в способе является измерение величины К„рц„ для всех С

ИС, входящих в партию, и отбраковка

ИС по критерию Rgpg - И Ритм / >к

1 э. п. ф-лы. l ил.

1 12690

Изобретение относится к области технической диагностики и может быть использовано для повышения надежности электронной аппаратуры, построенной на КМОП интегральных микросхем.

Целью изобретения является повышение достоверности отбраковки потенциально ненадежных КМОП микросхем.

Отбраковка микросхем производится в соответствии с результатами 10 статистической обработки величин критических сопротивлений в цепи питания микросхем в заданных условиях работы, что позволяет отбраковать . потенциально ненадежные микросхемы, не входящие в область "технологического центра" параметров микросхем в рамках одной технологической партии.

На чертеже изображена схема устройства, реализующего способ.

Устройство содержит клемму 1 для подключения питания испытуемой микросхемы, соединенную с первым выводом резистора 2, второй вывод которого подключен к вводу питания испытуемой микросхемы 3, логические входы и выходы которой подключены к блоку 4 функционально-параметрического контроля работоспособности.

Способ осуществляют следующим образом.

На блоке 4 функционально-параметрического контроля функционирования микросхем устанавливают номинальную (в соответствии с техническими усло- . виями) частоту функционирования, последовательно с контролируемой микросхемой 3 в цепь питания включают переменное активное сопротивление 2 ° Затем, начиная со значения

R=0, проводят проверку функционирования микросхем, увеличивая величину R после каждой проверки на 200300 Ом до момента, пока в результате очередной проверки будет получен сигнал, свидетельствующий о прекращении функционирования микросхемы.

Функционирование микросхем контролируют методом функционально-параметрического контроля, при этом контроль заданного значения параметра производится путем измерения значения напряжения выходного сигнала через время задержки контроля после подачи очередного входного сигнала.

Параметр считается соответствующим норме, если выходное напряжение

61 микросхемы через время t соответствует заданному в технических усло-, виях логическому уровню. Таким образом, контролируемым параметром является уровень выходного сигнала через время tq. Микросхема считается правильно функционирующей, если выполняются условия где Б„,,„; — выходной уровень на

i-ом выходе микросхемы, Б„,, — заданный в ТУ логический уровень °

Если хотя бы на одном из выходов микросхемы хотя бы одно .из указанных условий не выполняется, формируется сигнал, свидетельствующий о нарушении правильности функционирования.

В качестве блока функционально° параметрического контроля, реализующего описанный алгоритм проверки функционирования микросхем, может быть использовано серийное устройство "Стенд контроля интегральных мик11 росхем "Повод

В результате проверок для каждой микросхемы, входящей в контролируе- мую партию, получают определенное значение критического сопротивления, .т.е. того сопротивпения, при котором происходит нарушение правильного функционирования микросхемы. По результатам измерений строят гистограмму распределения значений К„„ „, дпя контролируемой партии. По гистограмме находят значение R111 »» соответствующее максимуму распределения, после чего отбраковывают микросхемы по степени отклонения значения R Kð„, для i-ой микросхемы от значения RKð„„,„. При этом считают, что, чем больше степень отклонения, тем менее надежной является микросхема.

Формула, изобретения

1. Способ отбраковки КМОП интегральных схем по уровням надежности, включающий подачу на каждую интегральную схему из контролируемой технологической партии напряжения питания и входных испытательных сигналов, сравнение реакции интегральной схемы с эталонными значениями, отбраковку потенциально ненадежных

3 1269061 микросхем, отличающийся где тем, что, с целью повышения достоверности отбраковки, включают в цепь питания интегральной схемы активное сопротивление, значение которого увеличивают от нуля, фиксируют для каждой интегральной схемы величину критического активного сопротивления в цепи питания, при которой прекращается функционирование интеграль" ip ной схемы, определяют значение критического сопротивления, соответст-. вующее максимуму кривой распределения критических сопротивлений в контролируемой технологической партии интегральных схем, и отбраковывают потенциально ненадежные интегральные схемы в соответствии с критерием

1 В.„рщ - к ит. 1 — индивидуальное критическое сопротивление интегральной схемы;

R р„ — критическое сопротивление

ИРМА. интегральной схемы,соответствующее максимуму кривой распределения критических сопротивлений; и†численная величина, определяемая. заданным уровнем надежности.

2. Способ по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что, в качестве количественного показателя .с(в критерии выбора ненадежных интегральных схем используют сверднеквадратическое отклонение распределения критических сопротивлений в партии интегральных схем.

Составитель В. Степанкин

Редактор Н. Егорова Техред Л.Олейник Корректор С, Иекмар

Заказ 6031/48 . Тираж 728 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5. Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4