Устройство для закрепления полупроводниковых пластин

Авторы патента:

H01L21/68 - аппаратура для крепления или установки компонентов во время изготовления, например зажимные приспособления, шаблоны, калибры

Устройство для закрепления полупроводниковых пластин, содержащее основание с токоподводами и с элементами фиксации полупроводниковой пластины и хвостовик, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено элементами разъемного соединения хвостовика и основания в виде выполненных в основании фигурных пазов и фигурных штифтов, установленных на хвостовике с возможностью сочленения с фигурными пазами основания и с токоподводами, причем фигурные штифты электрически изолированы один от другого.

Похожие патенты:

Захват // 1381620

Изобретение относится к робототехнике и может быть использовано в качестве захвата при производстве полупроводниковых микроприборов и интегральных схем для манипулирования деталями типа пластины, имеющими невысокую механическую прочность и небольшую массу

Спутник-носитель для интегральных микросхем // 1380547

Способ сборки многозондовой головки // 1272378

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники

Тара-спутник // 1264782

Устройство для ориентации цилиндрических деталей // 1259525

Устройство для сборки полупроводниковых приборов // 1222142

Устройство для сборки полупроводниковых приборов // 1220030

Изобретение относится к области производства электрорадиоизделий

Устройство для переноса изделий // 1211228

Кассета для обработки и транспортировки полупроводниковых подложек // 1190871

Устройство для загрузки деталей,преимущественно в виде стержней,в кассеты // 1162001

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Устройство для ориентации пластин // 2131155

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов // 2280916

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Электростатический держатель для использования в вакуумной камере высокотемпературной обработки, способ обработки подложки и расширительный узел электростатического держателя // 2295799

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Приспособление для закрепления пластины // 2380786

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Способ формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, и система манипулирования для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин // 2411608

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Устройство и способ для управления температурой поверхности подложки в технологической камере // 2435873

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Способ съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя и устройство для съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя // 2071144

Изобретение относится к микроэлектронике

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме