Устройство для присоединения кристаллов
Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, в частности к технологическому оборудованию для присоединения кристаллов к корпусам. Цель - повышение точности присоединения и надежности работы устройства. Устройство содержит инструмент для захвата кристалла, механизм перемещения инструмента с позиции снятия на позицию присоединения, механизм притирки кристаллов и привод. Механизм перемещения выполнен в виде подпружиненных к кулачкам рычагов горизонтального и вертикального перемещения. Механизм содержит упоры, предназначенные для отсоединения рычагов от кулачков на участках с наименьшим радиусом профиля. Опорные поверхности упоров выполнены сферическими для более точной фиксации рычагов и инструмента во время присоединения кристалла. Механизм притирки кристаллов к корпусу содержит электровибратор, вилку, смонтированную на сердечнике электровибратора, и стержень. Один конец стержня размещен с зазором в вилке, а второй жестко закреплен на инструменте перпендикулярно его оси. Притирка осуществляется за счет колебания инструмента в горизонтальной плоскости вокруг его оси. 1 ил.
Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, в частности к технологическому оборудованию для присоединения кристаллов к корпусам. Цель изобретения повышение точности присоединения и надежности работы устройства. На чертеже представлена кинематическая схема устройства. Устройство содержит проектор 1, инструмент 2 для захвата кристалла (например, вакуумная присоска), механизм перемещения инструмента с позиции снятия на позицию присоединения, механизм притирки кристаллов и привод. Механизм перемещения состоит из рычагов 3 и 4, пружины 5 и кулачка 6 (для горизонтального перемещения инструмента 2), рычага 7, пружин 8 и кулачка 9 (для вертикального перемещения инструмента 2). Механизм содержит упоры 10 и 11, предназначенные для отсоединения рычагов 3 и 7 от кулачков 6 и 9 на участках с наименьшим радиусом профиля. Опорные поверхности упоров 10 и 11 выполнены сферическими для более точной фиксации рычагов 4, 7 и инструмента 2 во время присоединения кристалла. Позиция снятия кристаллов состоит из кассеты 12 с липким носителем, на которой расположены кристаллы, подкола 13, пружины 14 и кулачка 15. Механизм притирки кристаллов к корпусу выполнен в виде стержня 16, один конец которого жестко закреплен на инструменте перпендикулярно его оси, а второй размещен с зазором в вилке 17, смонтированной на сердечнике электровибратора 18, для включения которого установлены бесконтактный выключатель 19 и кулачок 20. Позиция присоединения кристаллов состоит из нагревателя 21, куда помещаются корпуса приборов. Привод устройства состоит из электродвигателя 22, редуктора 23 и муфт 24. Устройство работает следующим образом. С помощью проектора 1 кристалл на кассете 12 с липким носителем совмещается с подколом 13. Запускается электродвигатель 22, под действием кулачков 6 и 9, рычагов 3, 4, 7 и пружин 5, 8 инструмент 2 совмещается с кристаллом на кассете 12. Подколом 13 посредством кулачка 15 и пружины 14 кристалл перемещается с липкого носителя кассеты 12, забирается инструментом 2 и затем переносится к корпусу прибора, размещенному на нагревателе 21. Перемещение инструмента 2 в горизонтальной плоскости осуществляется от кулачка 6 посредством рычагов 3 и 4, пружины 5, а в вертикальной плоскости - от кулачка 9 рычагом 7 и пружиной 8. Поскольку упоры 10 и 11 установлены с возможностью отсоединения рычагов 3 и 7 от взаимодействия с вращающимися кулачками 6 и 9 на участках с наименьшим радиусом профиля, то после завершения вертикально-горизонтального передвижения инструмента 2, т.е. при нахождении его на позиции присоединения, рычаг 4 будет поджиматься к сферическому упору 10, а рычаг 7 к сферическому упору 11. В результате инструмент 2 во время присоединения кристаллов будет точно зафиксирован и отключен от общего привода, и вибрация рычажно-кулачкового механизма на него не будет передаваться. Для притирки кристалла к корпусу на позиции присоединения включается электровибратор бесконтактным выключателем 19 от кулачка 20, и притирка кристалла осуществляется за счет колебания инструмента 2 в горизонтальной плоскости (поворота вокруг оси инструмента в разных направлениях) посредством передачи на него вибрации от электровибратора 18 через вилку 17 и стержень 16.
Формула изобретения
Устройство для присоединения кристаллов, содержащее инструмент захвата кристаллов, механизм перемещения инструмента с позиции снятия на позицию присоединения, выполненный в виде подпружиненных к кулачкам рычагов горизонтального и вертикального перемещения, привод механизма перемещения и механизм притирки кристаллов к корпусу, содержащий электровибратор с сердечником, отличающееся тем, что, с целью повышения точности присоединения и надежности работы устройства, механизм перемещения инструмента снабжен упорами со сферическими опорными поверхностями, причем упоры установлены с возможностью отсоединения рычагов от соответствующих кулачков на участках с наименьшим радиусом профиля, а механизм притирки кристаллов к корпусу содержит вилку, смонтированную на сердечнике электровибратора, и стержень, один конец которого размещен с зазором в вилке, а другой жестко закреплен на инструменте перпендикулярно его оси.РИСУНКИ
Рисунок 1MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000
Извещение опубликовано: 27.12.2000
