Способ получения р-п переходов

 

№ 152033.

Класс Н Ql1; 21д, 11о2

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа J8 97

Г. А. Зеликман, И. П. Лукашова и И. Л. Цитовский

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ р-и-ПЕРЕХОДОВ

Заявлено 8 января 1962 г. за № 759176/26-9 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 23 за 1962 г.

Предмет изобретения

Способ получения р-и-переходов на кремнии и-типа путем диффузии бора, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени процесса диффузии примеси до 10 — 16 час и упрощения технологии получения р-п-переходов, в исходную пластину кремния перед нанесением бора вжигают предварительно нанесенный слой алюминия.

Известны способы получения р-п-.ïåðåõîäîâ на кремний и-типа путем диффузии бора, нанесенного на пластину кремния в виде 2 /О-ного раствора борной кислоты, и последующего нагрева пластины при температуре 1300 в течение 30 — 40 час.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что позволяет сократить время процесса диффузии примеси до 10 — 16 час и упростить технологию получения p-n-переходов Это достигается тем, что в исходную пластину кремния перед нанесением бора вжигают предварительно нанесенный слой алюминия.

При осуществлении способа в пластину кремния при температуре

700 — 800 вжигают предварительно нанесенный слой алюминия, затем с птомощью пульверизатора наносят 2 /о-ный раствор борной кислоты, после чего проводят диффузионный отжиг пластины .в течение 10—

16 час в атмосфере воздуха при температуре 1200 — 1300 . Слой сплава кремния с алюминием удаляют шлифовкой.

Предлагаемый способ позволяет получить слой кремния и-типа на глубине порядка 50 — 70p,, что дает возможность увеличить допуски на шлифовку при удалении слоя сплава кремния с алюминием и исключает необходимость контроля ловерхностной проводимости после шлифовки. Время процесса диффузии примеси сокращается с 30 — 40 час до

10 — 16 час.