Турбомолекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность насоса путем бесконсольной установки ротора (Р) 8. Подшипниковый узел (ПУ) 3 расположен над Р 8 и снабжен газодинамическим уплотнением 10, предотвращающим попадание паров смазки на сторону всасывания насоса. В Р 8 выполнены каналы 11, сообщенные с проточной частью, через которые пары смазки отводятся на сторону нагнетания насоса. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 F 04 О 19/04. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4483675/25-29 (22) 06.06.88, (46) 07.09.90, Бюл. М 33 (72) В.П, Menexos, Г.Ф. Митрофанов

С.В. Стариков (53) 621.527.8(088.8) (56) Заявка ФРГ М 3032967, кл. F 04 0 19/04, опублик. 1982.

„,5lJ ÄÄ 1590670 А1 (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность насоса и путем бесконсольной установки ротора (P) 8.

Подшипниковый узел (ПУ) 3 расположен над P

8 и снабжен газодинамическим уплотнением

10, предотвращающим попадание паров смазки на сторону всасывания насоса. В Р 8 выпол- нены каналы 11, сообщенные с проточной частью, через которые пары смазки отводятся на сторону нагнетания насоса. 1 ил.

5 У !

3 1590670 4

Формула изобретения

Составитель В.Кряковкин

Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор В.Гирняк

Редактор И.Горная

Заказ 2622 Тираж 499 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике. а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение надежности.

На чертеже представлен турбомолеку. лярный насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный насос содержит вертикальный корпус 1 со статорными дисками 2 и верхним 3 и нижним 4 подшипниковыми узлами, установленный по оси корпуса 1 на опорах 5 и 6 подшипниковых узлов 3 и 4 вал 7 и закрепленный на нем полый ротор 8 с роторными дисками 9, образующими со статорными дисками 2 проточную часть. Верхний подшипниковый узел 3 расположен над ротором 8 и снабжен .газодинамическим уплотнением 10, отделяющим полость подшипникового узла 3 от проточной части, а в роторе 8 выполнены каналы 11, сообщающие полость верхнего подшипникового узла 3 с проточной частью, Насос работает следующим образом.

При вращении вала 7 и соответственно ротора 8 молекулы откачиваемого газа, взаимодействуя со статорными 2 и роторными 9 дисками проточной части, переносятся со стороны всасывания на сторону нагнетания. Пары смазки из нижнего подшипникового узла 4 попадают непосредственно на сторону нагнетания и удаляются иэ корпуса 1 внешним насосом.

Пары смазки из подшипникового узла 3 через каналы 11 отводятся к промежуточным ступеням проточной части, а оттуда—

5 на сторону нагнетания насоса. Наличие гаэодинамического уплотнения 10 предотвращает попадание паров смазки на сторону всасывания насоса. Повышение надежности обеспечивается бесконсоль10 ным креплением ротора на опорах, уменьшающим его вибрацию и нагрузку на опоры.

Турбомолекулярный насос, содержащий вертикальный корпус со статорными дисками и верхним и нижним подшипниковыми узлами,. установленный по.

20 оси корпуса на опорах подшипниковых узлов вал и закрепленный на валу полый ротор с роторными дисками, образующими со статорными.дисками проточную часть, о тл и ч а ю шийся тем, что. с целью повышения

25 надежности, верхний подшипниковый узел расположен над ротором и снабжен газодинамическим уплотнением, отделяющим полость подшипникового узла от проточной части, а в роторе выполнены

30 каналы, сообщающие полость верхнего подшипникового узла с проточной частью.