Устройство для нанесения покрытия на пластины

 

Изобретение относится к производству изделий микроэлектроники и может быть использовано для получения тонкопленочных покрытий на пластинах, например, при изготовлении фотошаблонов. Цель изобретения - улучшение качества изделий достигается за счет обеспечения подачи пластин на позицию обработки в строго ориентированном положении при минимальном контакте элементов устройства с поверхностью пластин. Из кассеты 1 пластины поштучно извлекаются кареткой 6 и перегружаются в каретку 8. При этом пластины располагаются на скосах наклонных граней 14 упоров 11, образующих гнезда кареток. Из каретки 8 пластина перегружается на кронштейны 15 механизма загрузки пластин на вакуумный держатель 3 центрифуги 2. При этом пластина фиксируется ограничителями 16. На вакуумном держателе 3 пластина фиксируется ограничителями 4. При всех операциях пластина взаимодействует с элементами устройства лишь кромками своих торцов. 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1608757 А 1 (51)5 Н 01 1 21/312, Н 05 К 13/02

ГОСУ

ПО И

ПРИ!

1 I

TOPCHOMY СВИДЕТЕЛВСТВУ (21) 4 (22) 0 (46) 2 (72)

Г, П.

В. В. (53) 6 (56) № 855 (54)

ПОКР (57) ству быть пленоч мер, п изобре

АРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

БРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

НТ СССР

51336/24-21 . 11.87 .11.90. Бюл. № 43 . Г. Грибов, А. Ф. Исаев, оманов, P. А. Родионов, елин и Ю. Е. Шевырев

1.382 (088.8) вторское свидетельство СССР

91, кл. Н 01 1 21/00, 19.03.79.

СТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

1ТИЯ НА ПЛАСТИНЫ зобретение относится к производзделий микроэлектроники и может спользовано для получения тонкоых покрытий на пластинах, наприи изготовлении фотошаблонов. Цель ения — улучшение качества изделий

2 достигается за счет обеспечения подачи пластины на позицию обработки в строго ориентированном положении при минимальном контакте элементов устройства с поверхностью пластин. Из кассеты 1 пластины поштучно извлекаются кареткой 6 и перегружаются в каретку 8. При этом пластины располагаются на скосах наклонных граней

14 упоров 11, образующих гнезда кареток.

Из каретки 8 пластина перегружается на кронштейны 15 механизма загрузки пластин на вакуумный держатель 3 центрифуги 2.

При этом пластина фиксируется ограничителями 16. На вакуумном держателе 3 пластина фиксируется ограничителями 4.

При всех операциях пластина взаимодействует с элементами устройства лишь кромками своих торцов. 5 ил.

1608757

Формула изобретения

50

Изобретение относится к производству изделий микроэлектроники и может быть использовано для получения тонкопленочных покрытий на пластинах, например, при изготовлении фотошаблонов.

Цель изобретения — повышение качества изделий.

На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 и 4 — схема размещения пластин в каретках; на фиг. 5 — схема размещения пластины на держателе центрифуги.

Устройство содержит кассету 1 для,обрабатываемых пластин и центрифугу 2 с вакуумным держателем 3 пластин, на котором размещены ограничители 4 для фиксации обрабатываемой пластины по боковым сторонам. Угол а наклона поверхности ограничителей 4 к плоскости держателя 3 составляет

50 — 80 . Над центрифугой 2 установлен дозатор 5 покрытия, выполненный с возможностью поворота и возвратно-поступательного перемещения в вертикальном направлении. Механизм перемещения пластин от кассеты к центрифуге содержит каретку

6, установленную на направляющих 7, и каретку 8, установленную на направляющих 9.

Каждая каретка 6 и 8 имеет гнезда 10 для обрабатываемых пластин, образованные двумя призматическими упорами 11 и 12.

Каждый из упоров и меет вертикальную грань 13 в верхней части, сопряженную с наклонной гранью 14 в нижней части. Угол наклона нижней грани гнезда не более 60 .

Длина каждого упора 11 и 12 составляет

0,5 — 0,75 ширины обрабатываемой пластины.

Механизм загрузки пластин на держатель центрифуги выполнен в виде двух С-образных кронштейнов 15 с ограничителями 16, аналогичными ограничителям 4 держателя 3.

Кронштейны 15 установлены на направляющих 17 с возможностью вертикального перемещения. Центрифуга снабжена механизмом 18 фиксации держателя 3 относительно механизма загрузки пластин на держатель.

Устройство работает следующим образом.

Обрабатываемые пластины (стеклянные заготовки фотошаблонов) располагают в кассете 1 над позицией загрузки. Каретка

6 перемещается под кассету 1, после чего кассета 1 опускается на один шаг размещения пластин, укладывая нижнюю пластину в гнездо каретки 6 на наклонные грани

14 упоров 11. При обратном ходе каретки

6 пластина извлекается из кассеты 1 вертикальной гранью 13 упора 11 и перемещается на позицию перегрузки в каретку 8.

При этом пластина размещается между упорами 11 каретки 8. Упоры 11 каретки 8 сближаются и пластина скользит по скосам на клонных граней 14 (угол наклона

= 15 ), подни маясь из гнезда ка ретки 6.

Затем каретка 8 с пластиной перемещается к механизму загрузки пластин на держа10

25 тель центрифуги и размещается над его

С-образными кронштеимами 15. Упоры 11 каретки 8 раздвигаются и пластина, скользя по скосам наклонных граней 14, опускается на кронштейны 15, располагаясь между ограничителями 16, которыми пластина центрируется, скользя по их скосам. Затем кронштейны 15 опускаются относительно держателя 3 центрифуги 2 и пластина перегружается на держатель 3, фиксируясь между ограничителями 4. Включается вакуумный прижим держателя 3, дозатором 5 подается покрытие на пластину и включается центрифуга 2. После окончания процесса центрифугирования осуществляется выгрузка пластины, например, такими же каретками, размещенными с другой стороны центрифуги. Механизм 18 фиксации держателя 3 осуществляет ориентацию держателя 3 относительно механизма загрузки пластин в строго определенном угловом положении.

Конструкция устройства обеспечивает подачу пластин на позицию обработки в строго ориентированном положении при минимальном контакте элементов устройства с поверхностью пластин.

Устройство для нанесения покрытия на пластины, содержащее центрифугу с вакуумным держателем пластин, дозатор покрытия, кассету для пластин, меха низм перемещения пластин от кассеты к центрифуге с горизонтальными направляющими и установленной на них кареткой с гнездом для пластины и механизм загрузки пластин на держатель пластин центрифуги, отличающееся тем, что, с целью повышения качества изделий, механизм перемещения пластин от кассеты к центрифуге снабжен дополнительной кареткой с гнездом для пластины, установленной на горизонтальных направляющих между основной кареткой и центрифугой, и механизм загрузки пластин на держатель пластин центрифуги выполнен в виде двух С-образных кронштейнов, установленных с возможностью охвата держателя пластин и перемещения вдоль оси его вращения, причем на полках С-образных кронштейнов установлены ограничители для фиксации пластин, а гнездо каждой каретки механизма перемещения пластин образовано двумя призматическими упорами, на обращенной внутрь гнезда стороне которых выполнена вертикальная грань в верхней части, сопряженная с наклонной гранью в нижней части, причем упоры гнезда основной каретки установлены перпендикулярно направляющим, а упоры гнезда дополнительной каретки установлены параллельно направляющим с возможностью возвратно-поступательного встречного перемещения перпендикулярно направляющим.

1608757

15 5

Сост а в и тел ь Г. П а дчч и н

Редактор Н. Лазаренко Тсехред А. Кравчук Корректор Т. Колб

Заказ 3622 Тираж 474 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101