Раствор для фотоактивации поверхности диэлектриков перед их химической металлизацией
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (5<)s С 23 С 18/30
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ пРи Гкнт сссР
Ol1КСДНИЕ ЙЗГЗБ = I- IÅã1Êß
К АВ ОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬГ."ГВУ (21) 4740624/02 (22) 3 1,07,89 (46) 23 2 о1 Вгал г;ь 47 (71) Институг химли и химической технологии АН ЛитССР (72) Х.П,М(елис, В.R,Панумис, E.À.Øëåãåpàне, Л,Н.Борисова и Л.Г.Александрова (53) 66,097.4;621,793,324 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР
М 1179936, кл, С 23 С 18/30, 1985.
Патент США M 4304849, кл. В 05 О 3/06, опублик..1981. (54) РАСТВОР ДЛЯ ФОТОАКТИВАЦИИ 10ВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ ПЕРЕД ИХ
ХИМИЧЕСКОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИЕЙ (57) ИзабаеTGHMF, oTI осится K подгoTGBKG oQ верхности диэлектриков перед химическал
Изобретение относится к области падготовкл поверхности диэлектриков перед химической металлизацией, в частности к избирательнбй фотоактивации поверхности, для изготовления печатных плат, и может быть использовано в электронной промышленности.
Цель изобретения — повышение стабильности раствора и прочности сцепления металлического покрытия с диэлектриком.
Раствор для фотаактивации поверхности перед их хлмическол металлизацией со держит, г:
Соль меди (!1) в пересчете на металл 1,3 — 6,4
Тартрат калий-натрий 25 — 125
Водорастворимое
„„SU„„17ÎÎÎ98 А1 металлизацией, в частности к фотоактивации поверхности для изготовления печатнь х il/lBT, Цель изобретения — повышение стабильности раствора и прочности сцепления металлического покрытия с диэлектриком. Раствор для фатоактивации поверхности содержит соль меди (II) в перес-.ете на медь 1,3 — 6,4; тартрат калия-натрия 25 — 125; водорас.-воримое соединение церия (III) в пересчете на церий 0,6 — 2,9; вада — да 1 л, Использование в качестве света-.увствительного B-ва соединения церия;1 (). а в качестве лиганда — калия-натрия тартрата позволяет получить адгезию покоытия 1,5 — 1,6 кгс/см и получить раствор
cT= бильным практически неограниченное время. 1 табл. с-единение церия (lli) в пересчете на металл 0,6-2.9
Вода До 1 л
В качестве солей меди (II) и церия (III) можно использовать лг"бые B ваде растворимые их сабдинен я, например, сульфат, хлорид, нитрат., ацетат меди (li) и сульфат, а;..маний сульфат Р На(504).) церия (III).
Использование в качестве светочувствительного вещества =аединений церия (III) позволяет получить после облучения УФ плотный рисунок, на катаром в дальнейшем харсшо осаждается химическая медь. Это связана с тем, чта на облученных участках церий (III) восстанавливает ионы меди до металла или смеси меди и оксида меди (I), которые являются катализаторами процесса осаждения покрытий в ра ТВор8 хик(и;еСКОГО 1ИЕДНЕНИЯ, После обработки В пре,цлагае! !<>м раствора г еличиня г:, ра1ь!г!<.Ти с!!(!Пленил о;,жPBHHOÃО МЯДНОГО П.::1:РЫТИЛ : 1;IB!IGÊ 1!>,1К:. 1;;! составляет в сред!-;1, <Гс/::!!!), Об,.:,сг.:чиВЯЕЬ108 ИЗВРСТНЫ11 PBCTBOPO!r!, PЕДЛЯ! а .1!В!И i 31."Т Р O . ЛИ" f :8 Г< г бол ьщОЙ с Taf3!är!bt!Qc" Io (,- к " o!3 Tiи,,l" ной (p<- Е!-0,5) среде 8 о 81ок .: Г1РЯКтис!ЕСК .! Нао;-РЯ!11)члi4:! 1-;;. Г, Рё;,:Л / 5i. И, BBCTI,О! ; fP !< «c O Е I tlJ 1,; I-P,! f-: 1; -!, Образ ется осадv:<, Царил (<1!! В f!6П! " ... ;.: !3 I -!:: i .. - .- . r 0,6 Г/л, !И>ке атом .Он::161! iрдц!ги !6 О! Вс! l!iчивается спло!111-,ОС п: !!1,::С,Л <я,,!! Ости;:.",Bние верхнего и ое вала ко>!13 ан . Ог!!1!: < зл11 i Bfi!! q (1I!) лиfiiитиp/ется 88 ря! тliс,>иi",1>,1L -. МИНИ1ИЯ!!ЬНОЙ КО11Ц!! .ГГРЯЦИ81! СОЛ>1 Ме ДИ (В П8РЕС -IЕТ8 НЯ 1 :Е I iilr! r! I, а ц8 ООЕСГ! ачИВ а 1о ще Й с и л о ц! н О c.l 1, u;.(cd I:,:; Я, я В л я е-г с- я 1! г/л, Вор><ниь< поеде;of, (o!-Оантряц:ги соли 1иеди 1В пересч та Iя !!етял i! сл 2д, :,- г счи ать 1! c/л Пои 81Ц1"- бел!,!Оц; О1Ц1ьнтраЦиях посла Обл 1ег!ив . О> Об! 83".ет1, О Л !Я пЛ ! !Р 1д !! !! Pi 1! л(! 1!,. р 1; по,, г!О ftppiг* ы!,.ъ, с,-, ".,! -„.;, .ч!, л НИИ 48CTii>Н-:О Отрь!ВаетСя ОТ дИЯГ!Е;<ТрИКВ, Коыцентряцй>! ли! ячдя-" артрятя В расТ8ор8 зависит от испольЗО 38!.!11!! концеьп.раЦИИ СОЛИ F!IBP 1, 0ПТИ! 1. !ЛЬНЬ!!И СООТг!О!ВВН!18fi! 1 с!РТПЯТЯ КЯЛИЯ (18 УП! in ! "!!.! в!Ю nN !, . П Р " < !8T8 р!Я ti!еталлl я в(!!!ется; 0;, :(по ве! .: ! i! i и "H Ь1! 8wf соотно111РН! !и часть loi((>В GC!!Л и "1 1 ся "l В и ле -!8!>881 ОХ!..,!1О! и ",,Р,, иПЕКСЯ С ЯР jPñ!TOÓ:, с! Г! Ои О< -:Л b-C Ði. l— "..:!8 . I!b::-! 11Яетсл актив!!!>у.аща способ!!О". .:= раствора, Таким образом, аг!т1!!х.-lrtbFIbt1! След!/e-, i ! "б-!Итять оя<.теор со,ар>!(яц!Н<1 г; л,-. ль<,>ят „ i? DA ". 0 -0 г>>отоа3 56 — 1 п0 сi г! ь" :, >i! .1 i0,и °:Ив а,5 ! лля Г!рИГОТOI>r!BI!I!Л I I Оаст -18(>В f! Q! I -> t 900 !.!л посл "довя:.ал!.-,! О: Вс Вafsл!О; 1; c— -f8Т!!08 I ДО и ео0;,Од1 г:, -ЯГО 11 848 H1!я ll p8 iбавлй !От водой ро 1 Стабиг1ьн<>сть Ð881 Вор Я ФО oi;Bi! ". /!билизац!!и о! радел я lот В1!3 я ч!-.!!o ПО!!ал:;.. -! ые осадка). Обра:-:,.I,.b, . 3 д:t3ле;rp:i.".ë Г!! ê pытol го с.,О! а iè 0«н ь! 11 . л ОВ):i, сг(ца !.!« ;=l цим кя /ч/к, травят В > ро!4ОВОЙ !. !ес,l, прог!ыва!От, Оорабатыв",гот с".(Ясь!о 1>acf BoP tTBrt8 M, и Ромы ВЯ!с! и :to! Ii:„:.I.B;;T ! 5 И<1!!! 9 pBOT!1Qpb! фс: o(:31-!с!!б!!1!1!3 ii . .„ Поcr;B о lp=;ooтк1: в р.::::"1!Ора (!>с.«,!88,-1::, 1бизе:ции о бра зцБ Выс,/ш IBB!toÒ 1-;я;1 >,! !1<;," -;, ЯСГ НВДЕ>КНОСТЬ,!OC !Еднн;< При ЗКСП!1/Я- . o р м, л а и з о б о е г е н и л « ВОТ Вор qrti ) i/, O Г Л l Я !О 1!! И.1! С !1 Те!!, -!ÒO. С ЦВЛЬГО повь!11!81-!и стябильчост! I pBcTBo -B и Гlроч ! !ОС1И СЦег ления Н!81ЯЛЛИ 18СКОГО покрытия с диэлактри;(О1и, c:" I В ка- BOTBB све: очувстви;ельного вещества содер>кит водораствори50 1,!Ое соег1инен1е церия (III), я в качестве лиг-,!.:„.:,а -- тартрат калия-натрия при следу:о1! 8".*! COOT,ЧОО !8НЯ1,I !<0!i; -! !OH BHTOB 1 ель 1ьадк! !1) В пер8848TB НЯ К; С11, ! Яртрат калия-нато!!я I:.iOi ЯРЯС! DOI И! IO СОВДИНЕН !8 Ii 9!ii>i (! II) авода 1,3-6,4 "".5-125 0,6-2,9 До 1 л прикрз!!!!>!!от к ним негативный шаблон и в течен1ие 5 — 10 мин облуча1от ультрафиолетоO bl f C I3 B T O F.1, 3B1ем с! IИЬ1ак>т ф010шаблонь! и Образ .> Ць; пог!>/>Хают в рас.<вор химического меднени1! след„ло1цсго с<:с ава, гl л: С!1ЯО! БН О 15 " Ji ".; fl ЗО iT1 O . р ", Г! 1 90 1;:(! - -: г."! 1Щ 0,00 Д!.:! зтиг! ди гtë oõé ë <5 3! blBT 0,061 ,.Ы Я. 1Ь!!ЯИ!Вае НЯРЯ! ВЯ!; !Е М&ДНОГС ПО! il>! П; ООС! :;Я ; ГЯЛЬВЯНИЧЕ ".КИ В СТЯНДЯ!г .,;";;," iii o i.; 3: " t(T p! !!r и-,;,, г е ц н 8 н и л ! 1! э; Il o:-.ность С18П1!ения 1,:едного пакрыТ1!л с дияг!ектрико1-.! ol-;редглягот f!BTopofvi Отi лЯИВЯ!1 ил полосы ц!ИринОЙ В 1 см От кol -рольного ОбразЦа, облчченного УФ бе:; фотошабло1- Я. ДЯ!!Нbte приведены в .! 0 i с. :3! I l l Ц 8. .Вк Видно из данны габлиць ., прочноСТ!=. СЦ81!Л НИЛ МВД1-!ОГО Г!ОКРЬ1ТИЯ С ДИЗЛBКТри!(Ом, Обоабс Ганны!! В Г! редлагаемок1 11: —: . 1- О; а Г>т<-,=.ehcli!b!1-:, ;:1ии yBBANi!ИВЯРтг-л > б аяза I o срявнени!О с b/I388cTI-Ib,i р:OT:iopoFß, Предлагаемы1А раствор Фото н <илизации Остается стабильнь, vi п рак т. !еск .1 на- ОГряничан,,,oB Вр81ия. Р -„;-вор;!Вляется просты!:! По состав, Б"" и ",.".,Обным при зкспл атации, Вс8 комГ!Оненты раствора фотосенсибилизаЦии не явля "ется,деф1!ц!Итными и Выпуска!ется хи f!! 1-l:-!C П O!,"; 1,!Я! ОГОВЛЕН;л1! П84атнЫ;< Плат;, ВЕЛили1700098 Показатели Со е компонентов в аство е Известный Компоненты раствра,г/л; меди формиат соль меди (в пересчете на металл) динатриевая соль 2,7-антрахинондисульфата сор битол бутанол натрий-калий (I I I) (e пересчете на металл) 26 64 8 52 100 рН Прочность с епления, кгс/см Стабильность аство а, с Составитель Н.Ершов Редактор Н,Бобкова Техред М,Моргентал Корректор С.Черни Заказ 4445 Тираж ° Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул.Гагарина, 101
