Способ измерения теплового сопротивления /) —/г-переходов полупроводниковых приборов
О П И С А Н И Е ОБИ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 01 V1.1966 (№ 1081128/26-10) Е.1. 21о, 11/02
421, 12 05 с присоединением заявки № 1081266/26-10
МПК Н 01/
G 0114
УДК 621.382:536.6 (088.8) Приоритет
Опубликовано 02.Х||.1967. Бюллетень . и 24
Номитет по делам мзооретеммй и открытий (IpH 0HeIH NJHHMCTp0B
СССР
Дата опуоликован((я описания 31.1.1968
> (ВТО!">Ы изобретения
Э. Н, Улановский, А. Л. Тарасенко и С. Г. Забродский
Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕПЛОВОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
p — n-ПЕРЕХОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЬ|Х ПРИБОРОВ
Известны спосооы измерения тсплового сопротивле;(ия p- — n-псрехода полупроводниковых приборов при помощи разогрева их импульсами прямого тока нагрева с последующим измерением порогового напряжения, являющсгося тсмпературо-зависимым параметром, путем пропускания прямого измерительного тока.
Этим методам свойственна погрешность измерения, обусловленная конечным временем рассасывания заряда неравновесных носителей, накопленного в базе за время протекания тока нагрева. Во время рассасывания поРОГОВОС Н((ПРЯЖСНИС НС ДОСТИГаlСТ МИ (k(3(>> Ма, соответствующего максимальной температурс нагрева. Задержка измерения этого минимума вносит в результат измерения погрешность вследствис остывания кристалла после снятия греющего импульса.
В способе, осуществленном согласно изобретению, указанный недостаток устранен тем, что задний фронт тока нагрева растягивают на время, равное 70 — 80((/, времени рассасыВ((НИЯ. (30 ВР с)1 и 3 С другой стороны, время рассасывания уменьшается с увеличением измерительного 0;III;I lI0, чтооы II3ihlcPIITc,1bHI>IÉ Tol>. Hc вызыва1 дополнительного, нсучить(ваемого на5 ГРОВ IIp сдм ст изобретения 1. Способ измерения теплового сопротивлеи!(я р — -гг-переходов полупроводниковых приборов при помощи разогрева их импульсами 15 прямого тока нагрева с последующим измерением порогового напряжения, являющегося температуро-зависимым параметром, путем пропускания прямого измерительного тока, отл((чпгощгшся тем, ITo, с целью уменьшения 20 погрешности измерения, обусловленной конечным временем рассасывания заряда нсравновссны носителей, задний фронт тока нагрева ра(с(ягив(!ют на время, равное 70- — 80(),/0 времl СН и р (1 с С а C I>l B k) k(I I H. 25 2. Способ по и. 1, ог,га (пго(г(((((ся тем, что измерительный ток подают в виде короткого, порядка Врсмсни жизни I(coc((QBH(>(x. носитслсй 3;IPBДа, I()(ï111ücB > мощность IIQTOPI> кот01)ОГО нс превышает 3% средней мощности режима Зо разогрева.
