Ио- - .-•'^ т--х;:и':':с1'1я ^'^ \ [;•;!: :шотк!:д

 

ОПИСАНИЕ 2596!2

ИЗОЬЕЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СОюз Соаетокил

Сониал сТ чеокиа

Реопублик

3 ави си мое от авт. свидетельств а ¹

Заявлено ЗО.VI I I.1968 (№ 1266358/25-8) Кл. 49с, 30 02 с присоединением заявки №

Приоритет

МПК В 23Л

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 12.Х11.1969. Бюллетень № 2 за 1970

Дата опубликования описания ЗХ1.1970

УДК 62-229.76-82(088.8) авторы изобретения

Ю. В. Бараш, С С Богданов, В. В. Шесгак, M. И. Белок льскнР, и Г. И. Симдянов!

I „! > 0 Рьс;"

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ МИКРОЭЛЕМЕНТОВ

Известны устройства для совмещения микроэлементов с перемещаемыми в двух взаимно перпендикулярных направлениях предметными столиками, соедгиненными с исполгпттельными элементами объемной гидравлической передачей, выполненной на сильфонах.

Недостатками таких устройств являются сложные кинематические схемы и малая разрешающая способность.

Цель предложенного изобретевия — достижение уверенного совмещения с высокой разрешающей способностью и уменьшение трудоемкости изготовления устройства.

Для этого в предлагаемом устройстве механизм настройки выполнен в виде поворотной вокруг вертикальной оси колонки, находящейся так же, как и предметный столик под воздействием узлов микронастройки, каждый из которых выполнен в виде пластины, изменяющей свои линейные размеры в результате теплового расширения.

На чертеже показан продольный разрез предложенного устройства и схема подводки вакуума, а также крепление чувствительного элемента, производящего угловые перемещения :центрального штока.

Устройство содержит поворотную колонку

f, находящуюся в сепараторе, благодаря чему достигается беззазорное соединение и отсутствует биение оси вращения. Колонка при помощи рычага 2 соединена с чувствительиь.м элементом 8, и к ее верхней части приклеена

2 .ив резиновая прокладка 4. Колонка может регулироваться по высоте с помощью гайки 5.

5 Поворотное основание б свооодно стоит на плите 7 и имеет возможность вращательного и поступательного движения в любом направ.7ении. Соприкасающиеся поверхности притерты и смазаны.

10 В верхней части основания вклеено резиновое кольцо 8, на которое кладется фотошаблон, фиксируемьш рамкой 9, которая имеет возможность двигаться в направляющих IO за счет теплового расширения чувствительного

15 элемента 11. Рамка вместе с нагревательным элементом закреплена на диске 12, который имеет возможность двигаться по направляющим 18, закрепленным на неподвижном диске

14, благодаря тепловому расширению чув;;

20 вительного элемента 15.

В колонке приклеена резиновая прокладка

Iб, позволяющая свободно двигаться основанию б и в то же время герметизирующая no70CT6 B.

2з жесткое соединение чувствительных элементов с движущимися частями не создает люфтов при движении в обратном направчении, ITo очень ценно при микронастройке, и каждый элемент находится в корпусе, благодаря

30 чему влияние внешней среды минимально.

2596)2

Предложенное устройство работает следующим образом, На резинов>ю прокладку 4 кладется .пластина с нанесенным рисунком. Затем на резиновое кольцо 8 кладется фотошаблон, фиксируемый рамкой. Для быстрого совмещения рисунка на фотошаблоне с рисунком на пластине основание б вместе с закрепленным на нем фотошаблоном простым движением руки перемещается относительно неподвижной колонки, на которой зафиксирована пластина.

Благодаря тепловому расширению чувствительных элементов 11 и 15, которое регулируется при помощи реостатов, производится микронастройка в двух взаимно перпендикулярных напр авлениях. Угловое перемещение при микронастройке осуществляется посредством чувствительного элемента 3, линейное расширение которого регулируется реостатом, а,при .помощи рычага 2 преобразуется в угловое,перемещение колонки относительно фотошаблона.

После совмещения рисунков на фотошаблоне и пластине включается кран, и в полости В создается вакуум.

Благодаря деформации резинового кольца

8 фотошаблон под действ нем атмосферного давления прижимается к пластине и тем самым производится фиксация фотошаблона относительно пластины.

Предмет изобретения

Устройство для совмещения микроэлемен10 тов, например микром иниатюрных элементов радиоэлектронных схем, выполненное в виде перемещаемого в двух взаимно перпендикулярных направлениях предметного столика, установленного на поворотном основании, свяlS занном с механизмом удержания и настройки положения одного из совмещаемых элементов, отличающееся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности устройства, в нем механизм настройки выполнен в виде поворот2О ной вокруг вертикальной оси колонки, находящейся, так же как и предметный столик, под воздействием узлов микронастройки, каждый из которых выполнен в виде пластины, изменяющей свои линейные размеры в результате

25 теплового р асширения, 259612

Составитель М. Пуряев

Редактор Г. А. Киселева Техред Т. П. Курилко Корректор А. М. Глазова

Заказ 1306/11 Тираж 500 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., 4,:5

Типография, пр. Сапунова, 2