Устройство для струйного электролитического травления
327422
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
C0I08 Сееетокиа
Сециелиотичеакие
Реопублие
Завл=,имое от авт. сзидетельсжа №вЂ”
М.Кл. G Olr 31/26
За я!влг!но 20.Ч.1970 (№ 1447270/26-25) с п риооед!те!ен и гз! заявк!! №вЂ” комитет по делам изобретений и открытиЯ ори Совете Миниотрое
СССР
П,р и оуро! тет—
УДК 621.382.2:621.31.7;.799 (088.8) Опубликовано 26.1.1972. Бюллетень ¹ 5
Дата опубликования описания 12.1Ч.1972
Авторы изобретения
С. М. Ашавский и А. Н. Филиппова
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТРУЙНОГО
ЭЛЕКТРОЛ ИТИЧЕСКО ГО ТРАВЛЕНИЯ
Изобретение относится к области полупро водниковой техники, в частности, к оборудованию, применяемому для травления заготовок диодов, и может быть использовано при производстве и разработке туннельных и обращенных диодов.
Известно устройство для струйного травления туннельных и обращенных диодов, содержащее эталонный диод, задающий релаксационный генератор, источник тока, коммутирующее и сигнальное устройства. Время цикла травления и время отмывки заготовки перед контролем задают, вручную, а контроль производит оператор по экрану осциллографа.
Известное устройство не обеспечивает высокой производительности, точности и стабилизации режимов травления вследствие переходных процессов при коммутации и сложности настройки временных интервалов при травлении.
Цель изобретения — повышение производительности и стабильности работы устройства и обеспечение возможности регулирования временных режимов при эксплуатации.
Цель достигается тем, что задающий релаксационный генератор выполнен со стабилизатором тока заряда накопительной емкости, выходной регулируюший транзистор которого одновременно служит в качестве прерывателя тока заряда накопительной емкости и управляется тем же эталонным туннельным диодом., током максимума которого определяется момент прекращения процесса травления заготовки.
На чертеже представлена блок-схема описываемого устройства.
Устройство состоит из задающего релаксационного генератора 1, накопительной емкости 2, эталонного диода 3, которым опреде-!
О ляется величина тока максимума заготовки 4 после травления, сигнального устройства 5,. источника 6 тока травления, электромагнитных клапанов 7 и 8, обеспечивающих требуемое чередование подачи электролита и воды, 15 поступающих через сопла 9 н 10; коммутирующего устройства 11.
Работает устройство следующим образом.
После загр зкн заготовки накопительная емкость 2 задающего релаксационного генера20 тора 1 заряжается стабилизатором тока заряда 12. При этом ток на выходе задающего генератора, проходящий через заготовку, возрастает до величины тока максимума эталонного диода 8, установленного в генераторе 1.
25 Заготовка при этом отмывается водой, так как клапан 7 открыт и вода поступает через сопло 9. Нр» переключении эталонного диода на диффузионную ветвь характеристики выходной транзистор 13 стабилизатора тока генера30 тора 1 запирается, и начинается цикл разряда
327422
Состава Голь 3. Чслноковы
Ко! рокт,с»р Е. Усова «рсл Е. Борисова
Редактор И. Орлова
Закат 937 Иад. М 133 Тираж 44В Поди:iciioe
Ц11ИИПИ Комитета ио делам ивобрстсиий и открытий ири (;овстс Министров (;(.(.Р
Москва, 7К-35, Раушская наб,, д. 4/5
Областная ти иография Кос громского упраолсгиия ио печати
3 емкости 2, так как цепь 14 разряда замыкается эталонным диодом 8. Сигнальное устройство 5 при этом не срабатывает, и начинается цикл травления.
В ходе цикла травления коммутатором 11 включен источник тока травления, обеспечивающий требуемый ток в струе электролита, поступающего через сопло 10, когда клапан 8 открыт. По окончании цикла травления ток на выходе генератора 1 падает до величины тока минимума эталонного диода 8. При этом разряд накопительной емкости 2 прекращается, так как эталонный диод запирает цепь разряда и открывает выходной транзистор 18 стабилизатора тока заряда; прекращается подача электролита через клапан 8; отключается источник тока травления; открывается клапан воды 7 и подключается сигнальное устройство.
После этого повгоряется цикл измерения.
Если ток максимума заготовки больше тока максимума эталонного диода, то после окончания цикла измерения снова повторяется цикл травления. Если ток максимума заготовки равен или несколько меньше тока максимума эталонного диода, то срабатывает сигнальное устройство 5, при помощи коммутато5 ра 11 травление прекращается и включается световой сигнал об окончании процесса.
Предмет изобретения
-Устройство для струйного электролитическоi0 го травления полупроводниковых приборов по эталонному прибору, содержащее задающий релаксационный генератор,. источник тока травления, коммутатор и сигнализатор, отличаюи ееся тем, что, с целью повышения произво15 дительности, обеспечения контроля и регулирования временных режимов, задающий релаксационный генератор содержит стабилизатор тока заряда накопительной емкости, выполненный на транзисторах, выходной транзи20 стор которого используется в качестве прерывателя тока заряда накопительной емкости, управляемого эталонным диодом.
