Устройство для обработки плоских поверхностей деталей

 

О П И С А Н И Е 1н1 5I7474

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) 01!0:iiiiiTC ii iiO K 313T. i3ii. i,-ву (22) Заявлено 12.07.74 (21) 2042774/08 с нрнсосдннением заявки №! (51) М, К В 24В 37/04

В 24В 31/10

В 24В 7/04

Совета Министров СССР ло лолам изобретений и открытий

Опуоликовапо 15.06.76. Б1оллетснь № 22

Дата опубликования описания 21.07.76 (53) УДК 621.923.7(088.8) (72) Авторы изобретения

В. Г. Бибаев, А, Т. Мягков, Л. А. Гончаров и А. В. Ханцевич (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ оосударствеииый комитет (23) Приоритет

Устройство предназначено для абразивной обработки плоских поверхностей деталей и может быть использовано в электронной промышленБости для полировки, например, полупроводниковых пластин.

Известны устройства для обработки плоских позерхностей деталей, размещенных в кассете и взаимодействующих под действием механизма прижима с притирочной плитой, связанной через упругую торсионную подвеску с электр ом агни пньгм в ибр ационны м приводом.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что его плита снабжена круговыми направляющими, взаимодействующими с образованным на торце кассеты кольцевым коническим пазом, при этом механизм прижима выполнен в виде стержней с фланцами, проходящих через кассету. Кроме того, устройство снабжено регулировочными прокладками, размещенными между фланцами и кассетой. Это позволяет упростить конструкцию устройства и обеспечить размерную обработку изделий.

На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство. Оно содержит притирочную плиту 1, снабженную круговыми направляющими 2, необходимыми для создания равномерного тягового усилия и устранен ия перекоса в процессе обработки, кассету 3 с кольцевым коническим пазом а на торце и механизм прижима, на котором закреплена обрабатываемая деталь 4.

Притирочная плита жестко связана с виброприводом 5, выполненным в зиде электромагнитного вибратора, состоящего из электромагнита б для создания вертикальных колебаний и трех электромагнитов 7 для создания крутильных колебаний. Механизм при10 жима выполнен. в виде стержней 8 с фланцами 9, цроходящих через ка|ссету. Для обеспечения размерной обработки устройство снабжено ретулировочными прокладками 10, размещенными между фланцами и кассетой.

15 Обрабатываемую деталь закрепляют на стержне 8 при помощи воско-канифольной смеси. Зазор Лх между кассетой 3 и фланцами 9 механизма прижима должен быть равен толщине снимаемого материала прн об20 работке и выставляется при помощи регулировочных прокладок 10. Под действием направленных гармонических колебаний, создаваемых виброприводом, лритирочная плита

1 может совершать зозвратно-поступательные

25 движения, например, по эллиптической траектории с амплитудой 3 — 5 мм, которые воздействуя на,кассету, приводят ее к вращательному движению по круговым кольцевым направляющим 2 нритирочной плиты вокруг

30 гвоей оси. В результате вибрационного вра517474

Составитель А. Козлова

Техред Е. Подурушина

Корректор Е. Рошкова

Редактор T. Юрчикова

Заказ 1564/12 Изд. № 1435 Тираж 1068 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раушская наб., д. 4(5

Типография, пр. Сапунова, 2 щения кассеты с прижимами вокруг своей оси и возвратно-поступательного движения . притирочной плиты происходит обработка

; поверхности .детали абразивом, находящимся на дне колеблющейся притирочной плиты.

После того, как поверхность детали достаточно уменьшится по толщине, стержень прижима опускается и его фланец соприкасает. ся с поверхностью кассеты, в результате обработка детали прекращается.

Формула изобретения

1. Устройство для обработки плоских по верхностей деталей, размещенных в кассете и взаимодействующих под действием механизма прижима с притирочной плитой, связанной через упругую торсионную подвеску с электромагнитным вибрационным приводом, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, плита снабжена круговыми направляющими, взаимодействующими с образованным на торце кассеты кольцевым коническим пазом, при этом механизм прижима выполнен в виде стержней с фланцами, 10 проходящих через,кассету.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения размерной обработки, оно снабжено регулировочными прокладками, размещенными между фланца15 ми и кассетой.