Пневмо-электростатический манипулятор

 

Сеюз Соаетскик

Сециавнстическик

Рвспубинк

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОУСКОМУ СВИ ЕТИЛЬСТВУ (u}856790 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 050279 (21) 2721632/25-08 с присоединением заявки Но(23) ПриоритетОпубликовано 230881.Бюллетень 89 31

Дата опубликования описания 2308.81 рцм. к,.з

В 25 J 15/00

Государственный коинтет

СССР но яелаи нзобретений н открытий (53) УДК 62-229..72(088.8) В.H.Àáðàðoâ, A.Ï.Ëó÷íèêoâ, Ю.A.Åìåëüÿíîâ и М.В.Соболевский ь

) с. (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ПНЕВМО-ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ

МАНИПУЛЯТОР

Изобретение относится к электростатическим крепежным устройствам и может быть применено в технологических процессах микроэлектроники и других областях техники.

Известен манипулятор, содержащий корпус, источник высокого напряжения, узел управления и рабочую головку, снабженную двумя электродами, один из которых выполнен из полупроводящего материала 1 .

Недостатком известного манипулятора является обязательная коммутация высоковольтной цепи при закреплении и откреплении деталей. В про цессе коммутации возможно возникновение искры между контактами коммутатора, что исключает воэможность эксплуатации такого манипулятора в помещениях с парами взрывоопасных газов.

Цель изобретения — обеспечение безопасности при работе во взрывоопасных средах и быстродействия.

Цель достигается тем, что в корпусе выполнена емкость переменного объема, заполненная рабочей средой, а электрод из полупроводящего материала изготовлен ь виде гибкой элас. тичной мембраны, причем узел управления и мембрана смонтированы в корпусе и связаны с емкостью переменного объема.

На фиг. 1 изображен манипулятор, общий вид; на фиг. 2 .- узел I на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез A-A на фиг. 1; на фиг. 4 — рабочая головка на фиг. 5 - то же, вид сбоку.

Манипулятор имеет корпус 1 с переменной емкостью, кнопку 2 управления, регулировочный поршень 3, рабочую сменную головку 4 с электродами 5 и 6, выводы которых закреплены в контактных пазах 7 и 8. Контактные

15 пазы 7 и 8 при креплении головкй 4 в корпусе 1 входят в соединение с выступами в корпусе, к которым подведены электроды от ксточника 9 постоянного высокого напряжения. Кроме

20 того, внутри воздушной емкости манипулятора расположена диафрагма 10, выполненная, например, из резины.

Электрод 5 рабочей головки 4 (фиг.

4 и 5) имеет кольцеобраэную форму, а

25 полупроводящий электрод 6 выполнен .в виде тонкой гибкой эластичной мембраны, например резины с наполнителем из сажи.

При нажатии кнопки 2 управления.

30,диафрагма 10 позволяет значительно

856790 уменьшить объем воздушной емкости, а следовательно повысить давление внут" ри манипулятора. Регулировочный поршень 3 позволяет подобрать оптимальное начальное давление внутри манипулятора, необходимое для надежного захвата.деталей различных типораэме.-з

5 ров, Рабочая головка 4 и. корпус 1 мани» пулятора изготовлены из диэлектрического материала, например эбонита..

С целью обеспечения беэопасиык 1© условий работы в электрическую схему манипулятора введено ограничительное сопротивление В „„ . для захвата и закрепления детали

11 на электроды 5 н 6 подается посто- 13 янное высокое напряжение от источника 9. Кольцеобраэный электрод 5 головки 4 накладывается на захватываемую деталь 11 с одновременным нажатием кнопки 2 управления. При этом Я© объем воздушной емкости манидулятора сокращается, внутреннее давление aosрастает, в результате чего эластичная мембрана 6 прогибается в сторону захватываемой детали 11. При ирйиосио- 2 венки электрода (эластичной мембра23 ны} 6 к захватываемой детали 11 возникает взаимодействие закрепляемого объекта с неоднородным электростатическим полем, соэдаваеьиам электродами

6 и 5, деталь 11 закрепляется.

После закрепления детали 11 производят необходимые перемещения и операции. При возврате кнопки 2 управления в исходное положение избыточное давление внутри манипулятора исчезает, мембрана 6 выпрямляется.

Таким образом, в предлагаемом манипуляторе осуществляется мягкий, практически безынерционный отрыв электрода 6 от поверхности закрепленной детали 11.

Формгла изобретения

Пневмо-электростатический манипулятор, содержащий корпус, источник высокого напряжения, узел управления и рабочую головку, снабженную двумя электродами, один из которых выполнен из полупроводящего материала отличающийся тем, что, I с целью обеспечения безопасности при работе во взрывоопасных средах н быстродействия, в корпусе выполнена емкость переменного объема, заполненная рабочей средой, а электрод из полупроводящего материала выполнен в виде гибкой эластичной мембраны, причем узел управления и мембрана смонтированы в корпусе и связаны с емкостью переменного объема.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР .

9 518330, кл. В 25 J 15/00, 1975.

I !

l

1

1

I

1 л3

Фиа4

Составитель А.Некрасова

Редактор A.Øèøêèíà Техред Н. Келушак,. Корректор М.Деичик

Заказ 7125/20 тираж 1090 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. ужгород, ул. Проектная, 4