Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ПОДАЧИ НА РАБОЧУЮ ПОЗИЦИЮ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ, включакидее основание , транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей устройства, ведомый и ведущий шкив калодого транспортирующего шнура соединены между собой посредством планки, при этом транспортирующие шнуры имеют мех-анизм раз движения, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек, каждая из которых жестко связана с одной из планок и установлена на основании посредством цилиндрической направляющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположены в горизонтальной плоскости перпенди (Л кулярно планкам. о |

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

3(51) В 65 G 47 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY CBHQETEllbCTBY

1б

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3451657/27-03 (22) 04.06 ° 82 (46) 07;10.83, Бюл. 9 37

{72) H.И.Никулин, В.Н.Комаров и И.И.Поярков (53) 621 ° 867 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 3303717/03„ кл. В 65 6 47/00, 1981.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 2889715/28, кл.G 01 В 5/00, 1979 (прототип). (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ TPAHCfIOPYHРОВАНИЯ И ПОДАЧИ HA РАБОЧУЮ ПОЗИЦИЮ

ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ, включающее основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускания

„„SU„„1046177 А транспортирующих шнуров, о т л и -. ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических воэможностей устройства, ведомый и ведущий шкив каждого транспортирующего шнура соединены между собой посредством планки, при этом транспортирующие шнуры имеют механизм раздвижения, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек, каждая иэ которых жестко связана с одной из планок и установлена на основании посредством цилиндрической направляющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположены Е в горизонтальной плоскости перпендикулярно планкам.

1046177

Устройство для Транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4 ролики, попарно соединенные между собой планками 5 и 6 и сгибаемые транспортирующими шнурами 7 и 8, смонтированные на основании цилиндрические направляющие 9 и 10, механизм раздвижения в виде. цилиндрических зубчатых реек 11 и 12, электропривода 13 и закрепленной на его валу шестерни 14, входящей в зацепление с цилиндрическими зубчатыми рейками, механизм подъема и опускания в виде эксцентрика 15 с приводом

16 и привод транспортирующих шнуров, содержащий электропривод 17, натяжные ролики 18, приводной ремень 19.

Планка 5 посредством кронштейна 20 жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 11. Планка 6 посредством кронштейна 21 жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 12. Эксцентрик 15 установлен с возможностью взаимодействия-с ведомыми роликами 3. Цилиндрические направляющие 9 и 10 расположены в горизонтальной. плоскости перпенди- кулярно планкам 5 и 6.

Устройство для транспортирования и подачи изделий на рабочую позицию работает следующим образом.

В исходном положении эксцентрик 15 обращен своим наибольшим радиусом

65 мым роликам 3, при этом транспортирующие шнуры 7 и 8 располагаются выше плоскости рабочей позиции 2. В исходном положении расстояние между внутренними ветвями транспортирующих шну— ров несколько меньше соответствующего габаритного размера транспортирующего изделия. Изделие, например полупроводниковая пластина или заготбвка фотошаблона из кассеты(не показана) загружается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения с рабочей позицией 2, представляющей собой, например ротор центрифуги. При совмещении иэделия с позицией обработки электропривод 17 отключают и включают привод 16. При этом эксцентрик 15 поо ворачивается вокрг своей оси на 180 вследствие чего планки 5 и 6 поворачиваются вокруг соответствующих осей направляющих 9 и 10, транспортирующие шнуры 7 и 8 опускаются ниже плоскости рабочей позиции 2 и обрабатываемое изделие устанавливается на рабочую позицию. В этом положении включают привод 13. Шестерня 14, по-. ворачиваясь вокруг своей оси, перемещает цилиндрические зубчатые рейки 11 и 12, по направляющим 9 и 10 во взаимно противоположных направлениях. При этом закрепленные на

Изобретение относится к транспортирующим устройствам и может быть использовано, в частности, в полупро водниковом производстве для подачи полупроводниковых пластин и фотошаблонов на позицию обработки. 5

Известно устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей, включающее основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, 10 привод и механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров (1) .

Недостатком данного устройства является передача изделий одних типоразмеров и подача их только на 15 рабочую позицию, расположенную выше транспортирующих шнуров.

Известно устройство для транс.— портирования и подачи на рабочую поз.ицию плоских деталей, включающее .основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров (2).

Недостатком данного устройства является передача изделий одних ти; поразмеров с незначительным их подьемом и опусканием, что снижает тех.— нологические возможности устройства при передаче деталей разных размеров и расположении рабочей позиции над и под транспортирующими шнурами на значительных расстояниях. При этом транспортирующие шнуры препятствуют . процессу обработки полупроводниковых ф(относительно оси вращения) к ведопластин и фотошаблонов, например в центрифугах или в ванных за счет их расположения в этих зонах.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей устройства.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей, включающем основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод и механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров, ведомый и ведущий шкив каждого транспортирующего шнура соединены между собой посредством планки, при этом транспортирующие шнуры имеют механизм раздвижения, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек., каждая из,которых жестко связана с одной из планок и установлена на основании посредством цилиндрической направляющей с воэможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположены в горизонтальной плоскости перпендикулярно планкам.

На фиг.1 изображено устройство, общий вид; на фиг.2 — разрез А-A на фиг.1.

1046177 а/ И

Составитель Б.Толчанов .Редактор И.Касарда Техред III.Кастелевич, Корректор.A.Зимокосов

Заказ 7639/19 Тираж 949 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал DIIII "Патент", r. ужгород, ул. Проектная, 4 рейках 11 и 12 планки 5 и б вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 роликами и транспортирующими шнурами 7 и 8 раздвигаются и транспортирующие шнуры 7 и 8 выходят из эоны обработки. После этого рабочая позиция 2 накрывается специальным колпаком(не показан), под которым производится технологическая операция, например, нанесение слоя фоторезиста на подложку или ее отмывка. По истечении определенного времени колпак снимают и включают привод 13. Шестерня 14, поворачиваясь вокруг своей оси, .перемещает рейки 11 и 12 с закрепленными на них планками 5 и б и транспортирующими шнурами 7 и 8 навстречу друг другу. При этом транспортирующие шнуры 7 и 8, сближаясь, оказываются под обрабатываемым изделием. После .этого включают привод 16 поворота эксцентрика 15. Эксцентрик

15 поворачивается на 180, при этом о транспортирующие шнуры 7 и 8 поднимаются с обрабатываемым изделием с рабочей позиции. Затем включают привод 17, который через приводной ремень 19 приводит в движение транспортирующие шнуры 7 и 8. При этом обрабатываемое изделие подается в

Ф приемную кассету, а очередное иэ целие из подающей кассеты поступает на транспортирующие шнуры (кассеты не показаны). Цикл повторяется. Переналадка устройства на другие типоразмеры изделий при сохранении той же оси транспортирования изделий осуществляется путем установки в исходном положении необходимого расстояния между транспортирующими шнура10 ми, что достигается поворотом шестерни 14 на определенный угол приводом 13.

Ю

Предлагаемая конструкция устройства для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей позволяет осуществлять в автоматичес-. ком режиме загрузку иэделий на. рабо- чую позицию, расположенную как над транспортирующими шнурами, так и под ними, что делает его универсальным, пригодным для использования в различном технологическом оборудовании. Быстрая переналадка устройства на различные типоразмеры транспортируемых изделий позволяет испольэовать оборудование, оснащенное предлагаемым устройством для обработки большой номенклатуры изДелий.