Плоскошлифовальный станок

 

1. ПЛОСКОШЛИФОВАЛБНЫЙ СТАНОК, содержащий станину, поворотный стол для крепления деталей, шпиндели для черновой, получистовой и чистовой обработки , устройство активного контроля толщины обрабатываемых деталей, отличающи1К;я тем, что, с целью повыщения точности обработки, станок снабжен расположенным на столе держателем для крепления контрольного образца, а шпиндели установлены на разных расстояниях от оси вращения стола с увеличением радиуса, начиная от шпинделя чистовой обработки, при этом датчики устройства активного контроля размещены над держателем для крепления контрольного образца. 2. Станок по п. 1, отличающийся тем, что держатель для крепления контрольного образца установлен с возможностью вертикального перемещения.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

3(50 В 24 В 7/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3580357/25-08 (22) 21:02.83 (46) 23.05.84. Бюл. № 19 (72) В. И. Ситников, А. М. Копытин, В. А. Маковкин и В. Ф. Ушаков (53) 621.923.5 (088.8) (56) 1. Станок серии 650, фирмы Disco, Япония. — «Дэнси дзайреэ 1980, т. 19, № 11, с. 91 — 95. (54) (57) 1. ПЛОСКОШЛИФОВАЛВНЫЙ

СТАНОК, содержащий станину, поворотный стол для крепления деталей, шпиндели для черновой, получистовой и чистовой обработки, устройство активного контроля

ÄÄSUÄÄ 1093492 A толщины обрабатываемых деталей, отличающиЖя тем, что, с целью повышения точности обработки, станок снабжен расположенным на столе держателем для крепления контрольного образца, а шпиндели установлены на разных расстояниях от оси вращения стола с увеличением радиуса, начиная от шпинделя чистовой обработки, при этом датчики устройства активного конт роля размещены над держателем для крепления контрольного образца.

2. Станок по п. I, отличающийся тем, что держатель для крепления контрольного образца установлен с возможностью вертикального перемещения.

109;1 !92

Изобрстсп н относится к абразиьч.ой обработке:! ii(l FACT GhITb HCr!OJI63OB3HO ripH шлифовке плоских поверхностей деталей, в частности полупроводниковых пластин или стекол фотошаблонов.

Известен плоскошлифовальный станок, который содержит три вертикально расположенные шпиндельные головки с алмазными кругами чашечного типа, имеющими возможность вертикального перемещения с помощью привода, управляемых от устройств !и замера толщины пластин, поворотный стол с вакуумными присосками для удержания пластины, три устройства для замера толщины пластины после шлифования каждым шпинделем, устройство отмывки пластин, устройство „загрузки и выгрузки пластин с !5 поворотного стола (1).

Недостатками известного станка являются недостаточная точность обработки изза низкой точности замера толщины обрабатываемых пластин, а также сложность в его обслуживании.

Низкая точность замера толщины пластин обусловлена тем, что датчики замера толщины находятся непосредственно около шпинделей, т. е. в зоне шлифования пластин, вследствие чего замер производится на за- д грязненной поверхности пластин, покрытой водокремниевой смесью.

Сложность обслуживания станка обусловлена тем, что для его настройки необходима настроечная пластина (годная пластина), которая последовательно вводится под 30 каждый из трех шпинделей, начиная со шпинделя грубой шлифовки и кончая чистовым шпинделем. Данная операция приводит к порче одной или нескольких годных пластин, а также требует большой затраты времени, так как каждый последующий шпин- 3g дель возможно настроить только после настройки предыдущего.

Целью изобретения является повышение точности обработки.

Поставленная цель достигается reM, что плоскошлифовальный станок, содержащий 4О станину, поворотный стол для крепления деталей, ц пиндели черновой, получистовой и чистовой обработки, устройство активного контроля толщины обрабатываемых деталей снабжен расположенным на столе держателем для крепления контрольного образца, а шпиндели установлены на разных расстояниях от оси вращения стола с увеличением радиуса, начиная от шпинделя чистовой оораоотки, при этом датчики устройства активного контроля размещены над держателем для крепления контрольного образца.

Держатель для урепления контрольного образца установлен с возможностью вертикального перемещения и снабжен приводом всртик льного перемещения. 55

На cb«i. 1 схематично изображен плоскошлифовальный станок, разрез; на фиг. 2-то же, вид сверху.

Плоскошлифовальный станок содержит стол 1 с вакуумными присосками — держателями 2 обрабатываемых пластин 3, шпиндель 4 чистовой обработки, шпиндель

5 получистовой обработки, шпиндель 6 черновой обработки с алмазными кругами 7 — 9 держатель 10 контрольного образца, контрольный образец 11, датчики 12 — 14 устройств активного контроля толщины обрабатываемых пластин привод держателя контрольного образца, вклк ающий пневмоцилиндр 15, винт 16 и ганку 17 с фрикционной наружной поверхностью. Расстояние от центра стола 1 до оси шпинделя 5 больше, чем от центра стола до оси шпинделя 4, а расстояние от центра стола 1 до оси шпинделя 6 больше, чем расстояние от центра стола до оси шпинделя 5. При этом разница в расстояниях шпинделей от центра стола выбрана из условия обеспечения взаимодействия каждого шпинделя с контрольным образцом 11, т. е. так, чтобы алмазные круги 7 — 9 шпинделей 4 — 6 оставляли соответствующие им следы обработки I, II, III на контрольном образце 11 (фиг. 2).

Плоскошлифовальный станок работает следующим образом.

Перед началом работы путем шлифования контрольного образца 11 и замера высоты ступеней I, II, 111 на контрольном образце (фиг. 2) шпиндели 4 — 6 настраиваются на снятие заданных припусков. Непосредственно перед шлифовкой пластин контрольный образец 11 с помощью винта

16 и гайки 17, приводимой во вращение пневмоцилиндром 15, поднимается на высоту 0,05 — 0,1 мм от уровня, на котором была закончена настройка шпинделей станка.

Пластины 3, подлежащие обработке, закрепляются на столе посредством вакуума.

При вращении стола 1 пластины 3 последовательно проходят под вращающимися алмазными крутами 7 — 9 шпинделей 4 — 6.

При этом одновременно шлифуется и контрольный образец 11. После того как контрольный образец пройдет под всеми шпинделями, а также минует зону отмывки (не показано), он проходит под датчиками 12—

14 устройств активного контроля. По результатам замера высоты ступеней 1, I I, 111 контрольного образца 11 датчики 12 — 14 подают команду на корректировку высоты расположения алмазных инструментов 7 — 9 шпинделей 4 — 6 над уровнем вакуумных держателей 2.

Перед началом каждого последующего оборота стола 1 контрольный образец ll с помощью винта 16 и гайки 17, приводимой во вращение пневмоцилиндром 15, поднимается вверх на 0,05--0,1 мм.

Таким образом, в предлагаемой конструкции станка высота ступеней 1, Il, 111 пид уровнем вакуумных держателей 2 рав-!

„! толщине оорабатываемых пластин после

1093492

Составитель А. Козлова

Редактор Т. Парфенова Техред И. Верес Корректор А. Тяско

Заказ 3351/12 Тираж 737 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам Изобретений и открытий

113035, Москва, % — 35, Раушская на 6., д.,4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 снятия с них соответству1ощих припусков.

При этом aaMeð величины снимаемых припусков производится не путем замера толщины обрабатываемых пластин непосредственно в зоне обработки, как это имеет место в известном станке, а путем замера соответствующих ступеней контрольного образца, прошедшего зону отмывки. Благодаря этому повышается точность замера, а следовательно, и точность обработки, так как перед замером с поверхности контрольного образца полностью удаляется водно-кремниевая смесь и продукты износа абразивных инструментов: Кроме того, значительно упрощается настройка станка и исключается необходимость в использовании настроечных пластин, что ведет к повышению удобства обслуживания станка в целом. 3а, счет по1 вышения точности обработки выход годных пластин увеличивается в среднем на 5%.