Плоскошлифовальный станок
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
151}М Кд з (22) Заявлено 010877 (21) 2513341/25-08 с присоединением заявки ¹ В 24 В 7/04 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет Опубликовано 1Ы1В2. Бюллетень № 42 Дата опубликования описания 1Ы182 1533 УДК 621. 924 . .3(068.S) В.T.Êoìèññàðoâ, В.К.Кучеров, В.А.Маковкин, П.Н.Масленников и В.И. Селютин (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ПЛОСКОШЛИФОВАЛЬНЫЯ СТАНОК Изобретение относится к станко-! строению и может быть использовано, в частности, для шлифования поверхности полупроводниковых пластин в процессе изготовления.полупроводниковых приборов и интегральных схем. Известны плоскошлифовальные станки, содержащие станину, поворотный стол, три шпиндельные головки с инструментами и устройство (пневмоприбор) для контроля толщины обрабатываемых полупроводниковых пластин. Подлежащие шлифованию пластины укладываются на поворотный стол, удержи-. ваются с помощью вакуумных присосок. Все три шпиндельные головки вручную настраиваются на снятие заданных припусков механизмами грубой и тонкой регулировки. Цикл обработки пластины заканчивается по мере того, как она пройдет под всеми шпиндельными головкамй, (1 3. Однако у станков такой конструкции низкая производительность и недостаточно вйсокан точность обработки пластин. Низкая производительность станка обусловлена тем, что по мере износа инструмента приходится периодически производить перенастройку каждого шпинделя в отдельности, что связано со значительными эатратамн времени. Недостаточно высокая точность. обработки связана с" тем, что конструкция станка не обеспечивает строгой параллельности рабочей по-. верхности стола и инструмента, в результате чего обработанные пластины имеют в сечении клиновидную форму ° Известен плоскошлифовальный станок, содержащий станину, шпиндельную головку и подъемно-поворотный стол с клиновым приводом вертйкального ;перемещения и приводом его вращения, выполненный в виде планшайбы, установленной на подъемном невращающемся кольце (2 1. Однако известный станок характеризуется недостаточно высокой точностью обработки, которая объясняется тем, что конструкция станка не обеспечивает строгой параллельности рабочей поверхности стола и инструмента, в результате чего обработанные детали имеют клиновидяую форму. 25 цель изобретения — повышение точности обрабатываемых деталей. Поставленная цель достигается тем,,что станок снабжен промежуточной плитой, установленной между невращающимЗ0 ся кольцом и станиной с возможностью 973312 10 но-поворотный стол, состоящий иэ. планшайбы 2 с вакуумными присосками 3 для крепления обрабатываемых пластин 4 и подъемного невращающегося кольца 5 с распределительным вакуумным золотником 6, шпиндели 7 с чашеч ными алмазными кругами 8, механизм загрузки обрабатываемых пластин 9, механизм съема обработанных пластин 10 и устройство для отмывки пластин 11. Между планшайбой 2 и невращающимся кольцом 5 расположен сепаратор с шариками 12. Невращающееся кольцо 5 снабжено шарнирно закрепленными в . нем колонками 13, установленными в шариковых направляющих 24, расположенных в промежуточной плите 15, которая установлена на четырех шаровых регулируемых па высоте опорах 16, зак-i репленных в резьбовых отверстиях станины 1. Станок снабжен приводом вертикального перемещения подъемноповоротного стола, выполненным в виде неподвижного 17 и подвижного 18 35 5 и промежуточной плитой 15. Поступательное перемещение подвижного клина 18, обеспечивающее вертикальное перемещение поворотного стола, осу- 40 ществляется при помощи ходового винта 19, червячной пары 20 и электродвигателя 21. Для оучного вертикального перемещения поворотного стола служит ручка 22. Вращательное движение поворотного стола осуществляется от электродвигателя (на чертеже не показан) через червячную пару 23. Станок снабжен устройством 24 для активного контроля толщИны обрабатываемых деталей 4, связанным через блок 25 преобразования и.усиления сигна55 Формула изобретения 1. Плоскошлифовальный станок, содержащйй станину, шпиндельные головки и подъемно-поворотный стол с кли-,. 65 новым приводом вертикального перемерегулирования относительно горизонтальной плоскости и вертикальными напранляющими...смонтированными в промежуточной плите и шарнирно связанными с невращающимся кольцом. При этом промежуточная плита установлена на станине посредством регулируемых по высоте шаровых опор, На чертеже схематически изображен плоскошлифовальный станок, разрез. Станок содержит станину 1, подъемклиньев, расположенных между кольцом лов с электроприводом 21,вертикального перемещения поворотного стола. Станок работает следующим образом. При вращении планшайбы 2 поворотного стола обрабатываемая пластина 4 захватывается вакуумной присоской 3 и последовательно проходит под тремя шпиндельными головками 7, предварительно выставленными на снятие каждым закрепленным на них алмазным кругом 8 своего припуска. При этом первым bio ходу обрабатываембй пластины алмазным кругом обеспечивается грубое шлифование, а вторым и третьим — получистовое и чистовое шлифование соответственно. При дальнейшем вращении планшайбы 2 прошлифованная пластина промывается при помощи устройства 11, затем устройством активного контроля 24 производится измерение толщины oeipaботанной пластины. В случае, если толщина пластины вышла из поля допуска, устройство 24 через блок 25 подает сигнал на электродвигатель 21 вертикального перемещения поворотного стола, при помощи которого через червячную пару 20 и ходовой винт 19 производится перемещение клина 18 в горизонтальной плоскости и перемещение поворотного стола вверх, если толщина пластины больше допустимой, или вниз, если толщина пластины меньше допустимой. При дальнейшем вращении планшайбы 2 вакуумная присоска 3 при помощи золотника 6 соединяется c àòìîñôåðîé, и обработанная пЛастина механизмом 10 перегружается в кассету 26. В процессе работы станка планшайба 2 совершает непрерывное вращательное движение, и шлйфование пластин ведется в непрерывном автоматическом режиме. Периодически вертикальный подъем стола на величину размерного износа алмазных кругов 8 также производится автоматически без остановки станка. В случае необходимости снятия припуска большего, чем можно снять тремя алмазными кругами за один проход, подается сигнал на перекрытие трубопровода 27, соединяющего вакуумную присоску 3 с атмосферой, механизмы загрузки 9 и выгрузки 10 пластины блокируются, и цикл шлифования пластин повторяется. Конструкция станка позволяет производить компенсацию размерного износа инструмента без перенастройки кажцой головки и отдельности, что значительно увеличивает производительность труда, наличие регулируемых по высоте опор 16, взаимодействующих с промежуточной плитой 15, на ко-. торой смонтирован поворотный стол, позволяет с большой степенью точности выставить перпендикулярность оси шпинделя, производящего чистовую обработку пластины к рабочей поверхности поворотного стола. Это практически исключает клнновидность обрабатываемых пластин. 973312 Составитель С.ухорский Редактор Л.Авраменко Техред М.Коштура Корректор .i . .Ференц Заказ 8587/14 Тираж 886 Подписное BHHH lH Pосударственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж- 35, Раушская наб.. д. 4/5 Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 щения и приводом вращения, выполненный Ь виде планшайбы, установленной на подъемном невращающемся кольце, отличающийся тем, что, с.целью повышения качества обрабатываемых деталей, он снабжен промежуточной плитой, установленной между невращающимся кольцом и станиной с возможностью регулирования относи тельно горизонтальной плоскости, и вертикальными направляющими,смонтиро.ванными в промежуточной плите и шарнирно связанными.с невращающимся кольцом. 2. Плоскошлифовальный станок по и. 1, отличающийся тем, что промежуточная плита установлена на станине посредством введенных в устройство регулируемых по высоте шаровых опор. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе! О 1. Авторское свидетельство СССР Р 294436, кл. В 24 В 7/04, 1967. 2. Авторское свидетельство СССР 9 536941, кл. В 24 В 7/04, 1973.
