Электростатический схват манипулятора

 

СОЮЗ СОВЕ ТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (п В 25 J 15/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3815! 42/25-08 (22) 20. I l ° 84 (46) 07,05,88.Бюл. М 17 (71) Институт тепло-и массообмена им. А,В,Лыкова (72) З,П.Шульман, P. Г. Городкин, М.M.Ðàãoòíåð, Г.Т.Завидонова и Т.А.Демиденко (53) 62-229.72 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР !! 856790, кл.В 25 J 5/00, 1980. (54) (57) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ СХВАТ

МАНИПУЛЯТОРА, содержащий источник высокого напряжения и корпус, на которов установлена рабочая головка с двумя электродами, один из которых выполнен в виде кольца, установлен„„SU„„1393626 А 1 ного на торце рабочей головки, а другой — в виде мембраны из полупроводяще го материала, установленной в рабочей головке соосно с кольцом, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности,он снабжен эластичной прокладкой из электроизоляционного материала и.двумя дополнительными электродами, один из которых выполнен из эластичного материала и установлен через прокладку на поверхности мембраны, обращенной к корпусу, а другой расположен в рабочей головке параллельно мембране и образует герметичную полость между корпусом.и первым дополнительным электродом, заполненную электрореологической жидкостью.

I ЗЧ 1б?6

Составитель Ф. Майоров

Редактор И,Николайчук Техред И,Ходанич Корректор N.11oæo

Заказ 1920/16

Тираж 908 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам и .«с бретен11й и открытий.

113035, Иосква, Ж-35, Раушскля наб., д. 4/5

Про11 3 po ." I rip HHo по 1и гpilôloir суп» Ir> F rllpHR1 Hp г . Уж 1 0porr > 371 11рде T l< r1 rI

И:IO(lppт е lllll о I Ii(> a II I O Ч K )п РКИБ 1IO статнчес ки 1 3ажимт ым ус тройстRам и может быть применено в технологических проне с с ах микро 3?I pктроники и чругих .областях техники.

Пелью изобретения является обеспечение надежности работь1 схвата за счет упрощения конструкции привода мембраны. 1О

На чертеже изображен предлагаемый схват, общий вид.

Схват содержит корпус 1, на котором установлена рабочая головка 2 с ! электродом 3 выполненным в виде

15 кольца, установленного на торце рабочей головки 2, электродом 4, выполненным в виде мембр,аны из полупроводящего материала, и двумя дополнительными электродами 5 и 6, один из 2О которых (электрод 5) выполнен из эластичного материала и через электроизоляционную эластичную прокладку 7 установлен на поверхности электрода 4. Между дополнительными элек- 25 тродами 5 и 6 в рабочей головке 2 образована полость 8, заполненная ( электрореологической жидкостью. Все электроды установлеlHbI в головке 2 соосно и связаны с источником 9 высо- 30 кого напряжения. ф

Схват работает следующим образом, Для захвата и закрепления детали 10 на электроды 3 и 4 подается постоян- 5 ное высокое напряжение от источника

9. Электрод 3 головки 2 накладывается на захватываемую деталь 10 с одновременной подачей напряжения на дополнительные электроды 5 и 6.

При этом полость 8, заполненная электрореологической жидкостью, под воздействием электрического поля увеличивается, в результате чего электрод 4, выполненный в виде мембраны, прогибается в сторону захватываемой детали !О.

Степень прогиба мембраны в сторону захватываемой детали зависит от состава суспенэии, а также величины воздействующего на нее электрического поля, что дает возможность плавного и точного регулирования прижатия эластичной мембраны к детали.

При прикосновении электрода 4 к захватываемой детали 10 возникает взаимодействие закрепляемого объекта с неоднородным электростатическим полем, создаваемым электродами 3 и

4, и деталь закрепляется.

После закрепления детали производят необходимые перемещения и операции. После снятия напряжения.с электродов мембрана выпрямляется, отделяясь от детали, тем самым освобождая последнюю от схвата.

Путем коммутации, осуществляемой известными методами, можно при необхецимости варьировать одновременную, rr .еременную подачу напряжения на электроды и его отключение.