Вертикальный турбомолекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность турбомолекулярного насоса с магнитной разгрузкой осевой опоры ротора. Зазор 5 между аварийными ограничителями 6 и 7 имеет величину меньше минимальной величины, соответствующей отсутствию давления ротора (Р) 2 на подпятник 3. Это исключает возможность приминания Р 2 к узлу 4 магнитной разгрузки при аварийном прорыве атмосферы со стороны нагнетания. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК.(l9) (ll) (sl)s F 04 0 19/04

ГОСУДАРСТВЕН.(ЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4497357/25-29 (22) 24.02.88 (46) 07,09,90. Бюл. ) л33 (72) Б.К.Бахтерев (53) 621.521.8(088.8) (56) Насос турбомолекулярный 010В-1000014. Формуляр ВЗМ3,317.003 ФО, 1982, с, 48. (54) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность турбомоле кулярного насоса с магнитной разгрузкой осевой опоры ротора. Зазор 5 между ава рийными ограничителями 6 и 7 имеет величину меньше минимальной величины, соответствующей Отсутствию давления ротора (Р) 2 на подпятник 3. Это исключает воэможность приминания P 2 к узлу 4 магнитной разгрузки при аварийном прорыве атмосферы со стороны нагнетания. 2 ил.

1590671

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям .гурбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение надежности насоса.

На фиг. 1 представлена схема предлагаемого насоса; на фиг. 2 — узел I на фиг, 1.

Вертикальный турбомолекулярный на. сос содержит корпус 1, размещенный в нем по оси ротор 2, опирающийся на подпятник

3, расположенный на корпусе 1 узел 4 магнитной разгрузки и закрепленные на последнем и роторе 2 с осевым зазором 5 между собой аварийные ограничители 6 и 7, причем осевой зазор 5 выполнен меньше минималь ной величины, соответствующей. отсутствию давления ротора 2 на подпятник 3, Насос работает следующим образом.

При вращении ротора 2 молекулы газа, попадающие в корпус 1, получают импульс в направлении откачки и переносятся со сторонь всасывания .на сторону нагнетания. На подпятник 3 в рабочем режиме дей.ствует сила, обусловленная разностью между силой веса ротора, направленной вниз, и силой притяжения узла 4 магнитной разгрузки, направленной вверх. При этом сила притяжения, зависит от расстояния между ротором 2 и узлом 4 магнитной разгрузки, причем чем меньше это расстояние, тем больше сила притяжения и соответственно меньше сила давления на подпятник

3. В случае аварийного прорыва атмосферы со стороны нагнетания возможен подъем ротора 2 разностью давлений между нагнетанием и всасыванием, т.е. сила притяжения может превысить силу веса, В этом случае при устранении аварийных условий

5 ротор 2 не может вернуться на подпятник 3, и насос приходит в неработоспособное состояние. Для того, чтобы исключить подобную ситуацию. используются аварийные ограничители 6 и 7, не позволяющие ротору

10 2 при прорыве атмосферы подняться более чем на величину зазора 5, причем эта величина выбирается так, чтобы она была меньше минимальной величины зазора; соответствующей отсутствию давления ро15 тора 2 на подпятник 3, т.е. обеспечивается обязательное превышение силы веса над силой притяжения узла 4. Это условие гарантирует возвращение ротора 2 после аварийной ситуации в рабочее положение.

Формула изобретения

Вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус, размещенный в

25 нем по оси.ротор, опирающийся на подпятник, расположенный на корпусе узел магнитной разгрузки и закрепленные на последнем и роторе с осевым зазором между собой аварийные ограничители, о т л и."10 ч а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности, осевой зазор между аварийными ограничителями выполнен меньше минимальной величины, соответствующей отсутствию давления ротора на подпятник.

1590671

Составитель В.Кряковкин

Техред М.Моргентал Корректор В.Гирняк

Редактор И.Горняк

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2622 Тираж 497 .. Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5