Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками расположены статорные колеса 4 и вал 5, на котором закреплены роторные колеса 6. Вал 5 имеет хвостовик 7, на котором установлены дополнительные роторные колеса 8. Хвостовик 7 охвачен кожухом 9 с дополнительными входным 10 и выходным 11 патрубками и статорными колесами 12. Статорные колеса 4 совместно с роторными колесами 6 и дополнительные роторные колеса 8 совместно с дополнительными статорными колесами 12 образуют две самостоятельные проточные части насоса, которые могут быть подключены одна к другой и выполнять функции первой и второй ступеней насоса либо одновременно откачивать два объема . 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)л F 04 0 19/04

ГОСУДАРСТВЕ ННЫ Й КОМИТЕТ

llG ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4682312/29 (22) 20.03.89 (46) 23.02.91. Бюл. М 7 (71) МГТУ им. Н.Ç.Баумана (72) К.Е.Демихов, Т,А.Басова и B.À.Måøêîâ (53) 621.527,8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1366711, кл. F 04 D 19/04, 1986. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЬ Й

НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе 1 с входным

2 и выходным 3 патрубками расположены статорные колеса 4 и вал 5, на котором за. Ж«„1О29617 А1 креплены роторные колеса 6. Вал 5 имеет хвостовик 7, на котором установлены дополнительные роторные колеса 8. Хвостовик 7 охвачен кожухом 9 с дополнительными входным 10 и выходным 11 патрубками и статорными колесами 12. Статорные колеса

4 совместно с роторными колесами 6 и дополнительные роторные колеса 8 совместно с дополнительными статорными колесами 12 образуют две самостоятельные проточные части насоса, которые могут быть подключены одна к другой и выполнять функции первой и второй ступеней насоса либо одновременно откачивать два объема, 2 ил.

1629617

У ! 3

Составитель B. Кряковкин

Техред М.Моргентал Корректор М. Максимишинец

В

Редактор Е. Папп

Заказ 425 Тираж 361 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг,1 представлен насос. продольный разрез; на фиг.2 — схема вакуумного агрегата на базе турбомолекулярного насоса.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 и статорными колесами 4 и установленный по оси корпуса 1 вал 5, один конец которого снабжен роторными колесами 6, а другой выполнен в виде хвостовика 7. Насос снабжен дополнительными роторными колесами 8, закрепленными на хвостовике 7 вала 5, и охватывающим хвостовик 7 кожухом 9 с дополнительными входным и выходным патрубками 10 и 11 и статорными колесами 12. В случае использования насоса в составе агрегата он снабжен соединительными магистралями 13 и

14, сообщающими попарно входные 2 и 10 и выходные 11 и 3 патрубки, причем входные патрубки 2 и 10 подключены через запорную арматуру к двум самостоятельным объемам V> и Чг.

Насос работает следующим образом.

Вследствие независимости проточных частей насоса, образованных статорными и роторными колесами 4 и 6, а также 12 и 8, насос может одновременно откачивать два объема через самостоятельные входные патрубки 2 и 10. В составе агрегата насос может использоваться при различном выполнении проточных частей: одна из них обеспечивает высокие значения быстроты действия по различным газам, а другая— высокие значения степени сжатия. Напри5 мер, проточная часть, образованная статорными и роторными колесами 4 и 6, имеет высокую быстроту действия, а проточная часть, образованная колесами 8 и 12, имеет высокую степень сжатия. Тогда для созда10 ния большой быстроты действия и степени сжатия газов с большой молекулярной массой вентиль 15 закрыт, а вентиль 16 открыт и проточная часть с колесами 4 и 6 выполняет роль первой ступени агрегата, подклю15 ченной соединительной магистралью 14 к входному патрубку 10 проточной части с колесами 8 и 12, выполняющей функцию второй ступени.

Таким образом, обеспечивается улуч20 шение откачных характеристик насоса по различным газам и их смесям.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос, 25 содержащий корпус с входным и выходным патрубками и статорными колесами и. установленный по оси корпуса вал, один конец которого снабжен роторными. колесами, а другой выполнен в виде хвосто30 вика, от л и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, насос снабжен дополнительными роторными колесами, закрепленными на хвостовике вала, и охватывающим хвостовик кожухом с до35 полнительными входным и выходным патрубками и статорными колесами.