Вакуумный молекулярный насос
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики молекулярного насоса. Насос дополнительно содержит ультразвуковой генератор (Г) 6, соединенный с пьезоэлектрическими пластинами (П) 7, закрепленными на стороне перегородок 3 статорных дисков 2, обращенной навстречу направлению вращения роторных дисков 5. Г 6 возбуждает механические поперечные колебания П 7, которые, взаимодействуя с молекулами откачиваемого газа, придают им импульс преимущественно в направлении откачки. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 Р 04 D 19/04
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
flQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4647319/25-29 (22) 07.02.89 (46) 15.12.90. Бюл. ¹ 46 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при
Горьковском государственном университете им. Н. И. Лобачевского (72) В. П. Иванов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 1267055, кл. F 04 D 19/04, 1985.
ÄÄSUÄÄ 1613694 A 1
2 (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ
НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики молекулярного насоса. Насос дополнительно содержит ультразвуковой генератор (Г) 6, соединенный с пьезоэлектрическими пластинами (П) 7, закрепленными на стороне перегородок 3 статорных дисков 2 со стороны, обращенной навстречу направлению вращения роторных дисков 5.
Г 6 возбуждает механические поперечные колебания П 7, которые, взаимодействуя с молекулами откачиваемого газа, придают им импульс преимущественно в направлении откачки. 1 з. п. ф-лы, 2 ил.
16?3694
Формула изобретения
Составитель В. Кряковкин
Редактор М. Келемеш Техред А. Кравчук Корректор Н. Король
Заказ 3877 Тираж 497 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР ! 3035, Москв а, Ж вЂ” 35, P ауьиска я наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина. !О!
Изобретение относится к вакуумной технике, а и енно к конструкциям молекулярных насосов.
Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.
На фиг. 1 представлена схема насоса; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.
Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статорные диски 2 с перегородками 3, образующими спиральные пазы 4, и роторные дискИ 5. Насос дополнительно содержит ультразвуковой генератор 6 переменного напряжен?!я, а перегородки 3 статорных дисков со стороны, обращенной навстречу направленяю вращения роторных дисков 5, снабжены пьезоэлектрическими пластинап4и 7, элект ически соединенными с генератором 6. оверхности пластин 7 снабжены серебряНЬ!м покрь1тием.
Насос работает следующим образом.
Откачиваемый газ, попадающий в полость корпуса 1, поступает к спиральным пазам 4 статорного диска 2 первой ступени насоса.
Поверхность роторного диска 5 при взаимодействии с молекулами откачиваемого газа сообщает им импульс в направлении откачки, после чего молекулы соударяются с перегородками 3 статорных дисков 2 со стороны, на которой расположены пластины 7.
Переменное напряжение ультразвукового генератора 6 возбуждает в пьезоэлектрических пластинах 7 поперечные механические
5 колебания. Взаимодействие молекул откачиваемого газа с поверхностями колеблющихся пластин 7 приводит к преимущественному отражению молекул в сторону откачки, что повышает степень сжатия ступени, а следовательно, улучшает откачные харак10 теристики насоса.
1. Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и расположенные в нем статорные диски с перегородками, образующими спиральные пазы, и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, насос дополнительно содержит ультразвуковой генератор
2О переменного напряжения, а перегородки статорных дисков со стороны, обращенной навстречу направлению вращения роторных дисков, снабжены пьезоэлектрическими пластинами, электрически соедин.иными с гене25 ратором.
2. Насос по п. 1, Отличающийся тем, что поверхность пластин снабжена серебряным покрытием.
