Турбомолекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность турбомолекулярного насоса и улучшить его откачные характеристики путем увеличения частоты вращения ротора. Ротор (Р) 3 снабжен магнитной подвеской 7, а турбинное колесо (ТК) 4 привода снабжено магнитной вставкой (МВ) 11 и охватывает участок (У) 6 вала 2. Стабилизация положения ТК 4 осуществляется при помощи радиальной и осевой газовых опор 8, 9 и 10. МВ 11 образует с У 6 магнитный подшипник и магнитную муфту. Избыточное давление воздуха подается в опоры 8, 9 и 10 и на ТК 4, при этом Р 3 вращается при минимальном сопротивлении. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК щ) 5 F 04 0 19/04

11

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗО6РЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ П нт СССР (21) 4453714/25-29 (22) 04 .07.88 (46) 15. 10. 90. Бюл. Р 38 (71 ) Московский институт химического машиностроения (72) В.И. Бойцов, Б.В. Иванов, С.Ф. Тесленко, В.А. Хохлов, В.А. Юрченко и С.В. Гранкин (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 868124, кл. F 04 D 19/04, 1980. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность турбомолекулярного насоса

ÄÄSUÄÄ 1599586 А 1

2 и улучшить его откачные характеристики путем увеличения частоты враще" ния ротора. Ротор (Р) 3 сйабжен магнитной подвеской 7, а турбинное колесо (ТК) 4 привода снабжено магнитной вставкой (МВ) 11 и охватывает участок (У) 6 вала.2. Стабилизация положения ТК 4 осуществляется при помощи радиальной и осевой газовых опор 8,9 и 10. МВ 11 образует с У 6 магнитный подшипник и магнитную муфту. Избыточное давление воздуха подается в опоры 8, 9 и 10 и на ТК 4, при этом P 3 вращается при минимальном сопротивлении. 1 ил.

1599586

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Редактор М. Бандура. Техред М. Ходанич Корректор О Цигле

Тираж 502

Подписное

Заказ 3130

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярйых вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение на5 дежности насоса и улучшение его откачных характеристик путем увеличения частоты вращения ротора.

На чертеже представлен насос, продольный разрез. 10

Турбомолекулярный насос содержит вертикальный корпус 1 и размещенный по оси корпуса 1 на опорах вал 2 ротора 3, связанный с приводом газовой турбины в виде турбинного колеса 4.

Корпус 1 снабжен магнитопроницаемой втулкой 5, охватывающей с зазором участок 6 вала 2 ротора 3 . Ротор 3 снабжен магнитной подвеской 7, а турбннное колесо 4 выполнено охватывающим магнитопроводную втулку 5 и снабжено радиальными и осевыми газовыми опорами 8, 9 и 10 и магнитной вставкой 11, образующей с участком 6 вала 2 ротора 3 радиальный магнитный 25 подшипник и магнитную муфту. Корпус

1 насоса снабжен входным и выходным патрубкамч 12 и 13, Насос работает следующим образом.

В гаэсвые опоры 8, 9 и 10 турбин- ного колеса 4 подается избыточное давление воздуха, что обеспечивает стабилизв.цию положения колеса 4, соо гветственно, магнитной вставки 11., В результате происходит центровка вала 2 рстора 3. Одновременно ротор 3

"подвешивается" благодаря: наличию магнитной подвески 7. Затем на турбинное кслеса 4 подается воздух, приводящий колесо 4 во вращение. Посколь- ку вставка 11 и участок 6 вала 2 ротора 3 образуют магнитную муфту ротор 3 приводится во вращение.

Молекулы откачиваемого газа, попадающие в полость корпуса 1 насоса через входной патрубок 12„ взаимодействуют с рабочими элементами ротора 3 и переносятся со стороны всасывания на сторону нагнетания, откуда удаляются через выходной патруоок 13, Минимальное сопротивление вращающемуся ротору со стороны магнитных опор при наличии турбинного привода позволяют добиться больших скоростей вращения ротора и тем самым ул чшить откачные характеристики насоса. Кроме того, бесконтактные опоры повышают и надежность насоса.

Турбомолекулярный насос, содержащий вертикальный корпус и размещенный по оси корпуса на опорах вал ротора, связанный с приводом газовой турбины в виде турбинного колеса, о т л и ч а и шийся тем, что., с целью повышения надежности и улучшения откачных характеристик путем увEI:H÷åния частоты вращения ротора, корпус снабжен магнитопроницаемой втулкой, охватывающей с зазором участок вала ротора, последний снабжен магнитной подвеской, а турбинное колесо выполнено охватывающим магнитопроводную втулку и снабжено радиальной и осевыми газовыми опорами и магнитной вставкой, образующей с участком вала ротора радиальный магнитный подшипник и магнитную муфту,