Вакуумный молекулярный насос
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе 1 на внутренней поверхности при помощи биметаллических сильфонов (С) 8 закреплены статорные диски (Д) 4 с односторонними рабочими пазами 5. На выпуклой стороне каждого гофра С 8 расположен металл с большим коэффициентом термического расширения , чем на вогнутой стороне С 8. При прогреве насоса увеличивается зазор между Д 4 и ротором 7. Перемещение Д 4 ограничено посредством ограничителей 6. 2 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛ ИСТИЧ Е СК ИХ
РЕСПУБЛИК (51)5 F 04 0 19/04
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4696699/29 (22) 04,04.89 (46) 15,05.91, Бюл. ¹ 18 (71) Н ауч но-исследо ва тел ьский институт прикладной математики и кибернетики при
Горьковском государственном университете им, Н.И.Лобачевского (72) В,П.Иванов и В.Н.Христачев (53) 621.527,8 (088.8) (56) Авторское свдительство СССР
¹ 1265400, кл, F 04 0 19/04, 1985. (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных насосов.
Цель изобретения — улучшение откачных характеристик.
На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 — узел крепления статорного диска на корпусе, Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 с всасывающим и нагнетательным патрубками 2 и 3, закрепленные на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 4 с рабочими пазами 5 и ограничители 6 осевого перемещения статорных дисков 4 и установленный на оси корпуса 1 ротор 7, Каждый статорный диск 4 выполнен с односторонним расположением рабочих пазов 5 закреплен на корпусе 1 при помощи биметаллического сильфона 8, на выпуклой стороне каждого гофра которого расположен металл с большим коэффициентом термического расширения, чем на вогнутой., Ж,„, 1649121 А1 (57) Изобретение относится к вакуумной . технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе 1 на внутренней поверхности при помощи биметаллических сильфонов (С) 8 закреплены статорные диски (Д) 4 с односторонними рабочими пазами 5. На выпуклой стороне каждого гофра С 8 расположен металл с большим коэффициентом термического расширения, чем на вогнутой стороне С 8. При прог 1евЕ насоса увеличивается зазор между Д 4 и ротором 7. Перемещение Д 4 ограничено посредством ограничителей 6. 2 ил, Насос работает следующим образом.
Откачиваемый газ через всасывающий патрубок 2 поступает в корпус 1, где, взаимодействуя с быстровращающимися ротором 7 и рабочими пазами 5 статорных д дисков 4, переносится в сторону нагнетательного патрубка 3. При прогреве насоса и разгоне при этом ротора 7 до скорости мень- ф ше критической сильфоны 8 разжимаются, О раздвигая статорные диски 4 и увеличивая зазор между ними и ротором 7. Величина К) перемещения статорных дисков 4 ограничена при помощи ограничителей 6.
В результате, обеспечивая при сборке насоса минимальные зазоры между статорными дисками 4 и ротором 7, исключается воэможность заклинивания ротора при нагреве насоса. Минимальность зазора является фактором, определяющим улучшение откачных характеристик.
Формула изобретения
Вакуумный молекулярный насос, содержащий- корпус с всасывающим и нэгнета1649121
60Z Z
Составитель В.Кряковкин
Редактор М.Васильева Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор Т.Колб
Заказ 1865 Тираж 373 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 тельным патрубками, закрепленные на внутренней поверхности корпуса статорные диски с рабочими пазами и ограничители осевого перемещения статорных дисков и установленный по оси корпуса ротор, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, каждый статорный диск выполнен с односторонним расположением рабочих пазов и закреплен на корпусе при помощи биметаллического сильфона, у которого вы5 пуклая сторона каждого гофра выполнена из металла с большим коэффициентом термического расширения, чем вогнутая.
