Способ получения рисунка спиральных элементов на фотошаблонах печатных плат

 

Изобретение относится к электротехнике и технологии изготовления прецизионных индуктивных элементов со сложной конфигурацией. Целью изобретения является повышение точности формирования рисунка спиральных элементов. Получение рисунка осуществляется разбиением зоны формирования спирального элемента на N секторов (N*983) осевыми линиями последовательным перемещением сфокусированного на фотопластинку светового луча из начальной точки спирального элемента по окружности радиуса R<SB POS="POST">O</SB>, где R<SB POS="POST">O</SB> - начальный радиус спирального элемента, в пределах первого сектора, с последующим скачкообразным увеличением радиуса дуги по соотношению R<SB POS="POST">K</SB> = R<SB POS="POST">K-1</SB> + D/N (K = 1,2...2) при переходе из одного сектора в другой. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sl)c Н 05 К 3/00, G 03 F 7/20

ГОСУДАР СТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4715112/10 (22) 28.04:89 (46) 30,08.91. Бюл. Ф 32 (72) B.Ì,Êèñåëåâ (53) 621.3.049 {088.8) (56) Глазков И.М. Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии. M.: Советское радио, 1975, с, 40-60.

Авторское свидетельство СССР

ЬЬ 1534452, кл. G 06 F 3/02, 1988. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУНКА СПИРАЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ФОТОШАБЛОНАХ ПЕЧАТНЫХ ПЛАТ (57) Изобретение относится к электротехни.ке и технологии изготовления прецизионных индуктивных элементов со сложной

Изобретение относится к электротехнике и технологии изготовления прецизионных индуктивных элементов, которые имеют сложную конфигурацию.

Целью изобретения является повышение точности формирования рисунка спиральных элементов.

На фиг.1 показан спиральный элемент; на фиг,2 приведен образец фотошаблона со спиральными элементами, полученными предлагаемым способом.

На фиг.1 изображен спиральный элемент 1 с центром в точке О и шагом витков

D, зона формирования которого ограничена двумя окружностями 2 и 3 с радиусами R<— начальный и йк н — конечный.

Зона формирования спирального элемента 1 разбита на и секторов (п 3) осевыми линия ми+Х, -Х, +Y, - Y, +Z, -Z, проходящими через центр О. В данном частном случае n =

„„5Ц„,, 1674400 Al конфигурацией, Целью изобретения является повышение точности формирования рисунка спиральных элементов. Получение рисунка осуществляется разбиением эоны формирования спирального элемента на и секторов (n > 3) осевыми линиями последовательным перемещением сфокусированного на фотопластинку светового луча из начальной точки спирального элемента по окружности радиуса R<, где Ro — начальный радиус спирального элемента, в пределах первого сектора, с последующим скачкообразным увеличением радиуса дуги по соотношению Як = R,-1+ D/n (к = 1,2...),где D— шаг витков спирального элемента, при переходе из одного сектора в другой. 2 ил, 6. Центры дуг, формируемых в секторах, расположены в.точках пересечения упомянутых осевых линий с окружностью 4 радиуса

r = — {точки а, о, с, d, е, t). Направление

D скачкообразного перемещения центров дуг Ф» по окружности 4 показано стрелкой 5, а на- фь правление развертки спирального элемента () — стрелкой 6, С)

Способ включает следующую последовательность операций.

Задают на фотопластине центр рисунка спирального элемента 1 (точка О, фиг.1); onю Ф ределяют радиусы границ R< и R<» эоны формирования спирального элемента, где

Ro < Ккон (окружности 2 и 3); разбивают зоны формирования спирального элемента

1 на и секторов (и > 3) осевыми линиями+Х, — X, +Y, -Y, +Z, -Z, проходящими через центр

О спирального элемента 1; определяют ра1674400 диус расположения центров дуг спирально,D, го элемента 1 из условия r =-: —; устанавлип вают экспонирующий луч в начальную точку спирального элемента 1, расположенную на пересечении окружности 2 радиуса r и первой оси (в данном случае — оси -Х), проходящей через центр спирального элемента, перемещают экспонирующий луч в каждом из cGKTopoB по круговой дуге, при этом центр дуги, формируемой между i-й и!+1-й осью, располагают на i+2-й оси по направлению развертки спирального элемента (стрелки 5 и б), где i =- 1,2,...п; при каждом переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой: а) дискретно увеличивают радиус R» формируемой дуги из соотношения й» = R»-<+ —, где к = 1,2,...; б) скачкоD образно перемещают центр дуги на следующую ось в направлении развертки спирального элемента (по окружности 4 в направлении стрелки 5); осуществляют перекрытие апертур конца предыдущей и начала последующей дуги спирального элемента при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой.

Формирование дуг спирального элемента 1 осуществляется в следующей последовательности.

Сфокусированный на фотопластине экспонирующий луч помещают на начальную границу радиусом Ro и перемещают по

D круговой дуге радиусом R< = R< + — в и секторе — XO — Y относительно центра дуги, . расположенного на окружности 4 в точке а, Дискретно увеличивают радиус дуги до

0 значения Rg = R> + — в момент пересечеи ния экспонирующим .",„-;;;, . -Y, э центр дуги скачкообразно перемещают в точку Ь по окружности 4 в направлении стрелки 5 и затем перемещают экспонирующий луч по круговой дуге радиусом Рр в пределах сектора -YO+Z, Дискретно увеличивают радиус дуги до

0 значения Кз =- Ry + = в момент пересечеи ния экспонирующим лучом оси +Z, а центр дуги скачкообразно перемещают в точку С по окружности 4 в направлении стрелки 5 и перемещают экспонирующий луч по круговой дуге радиусом Кз в пределах сектора

+Z0+X и Т,р. до достижения экспонирую5

55 щим лучом конечной границы — окружности

3 радиусом R»< зоны формирования спирального элемента 1.

Сопряжение дуг спирального элемента

1 осуществляют при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой путем перекрытия апертур конца предыдущей и начала последующей дуги спирального элемента.

На фиг.2 изображен фотошаблон одного слоя печатной платы со спиральными элементами, изготовленный по предлагаемому способу с использованием кругового интерполятора, встроенного в устройство управления фотокоординатографом.

Формула изобретения

Способ получения рисунка спиральных элементов на фотошаблонах печатных плат, основанный на задании на фотопластине центра рисунка спирального элемента, определении радиусов границ R< и R» <, где R< и R»< соответственно начальный и конечный радиусы границ спирального элемента, причем Ro < R«H,è перемещении экспонирующего луча по заданной траектории, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности формирования рисунка спиральных элементов, разбивают зону формирования спирального элемента на и секторов (и > 3) осевыми линиями, про-. ходящими через центр спирального элемента, определяют радиус расположения дуг

D спирального элемента из условия r = —, п где 0 — шаг витков спирального элемента, устанавливают экспонирующий луч в начальную точку спирального элемента, расположенную на пересечении границы радиуса R< и первой оси, перемещают экспонирующий луч в каждом из секторов по круговой дуге, при этом центр дуги, формируемой между i-й и, i+1-й осью, располагают на i+2-й оси по направлению развертки спирального элемента, rce l = 1,2,.„и, при каждом переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой дискретно увеличивают радиус R» формируемой дуги по усло0 вию R» = R»-1+ —,.где к = 1,2,..., а центр и дуги скачкообразно перемещают на следующую ось в направлении развертки спирального элемента, причем при переходе экспонирующего луча из одного сектора в другой осуществляют перекрытие апертур конца предыдущей и начала последующей дуги спирального элемента.

1674400