Вакуумный координатный столик

 

Сущность изобретения: в вакуумном координатном столике, содержащем размещенную на фланце платформу, механизмы поступательного и вращательного перемещений , платформы выполнены в виде телескопического , с гибкой связью и зубчатого .механизмов, при этом вакуумные вводы движения выполнены в виде вводов вращения . 4 ил.

С К13 СОР>Е ТСКИХ сО!!иллистических

РЕСПУГЛИК (си Н 05 К 13/02 госудлРственное плтентное

ВЕДОМСТВО СГСР (ГОсплтент сссР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4799417/21 (22) 07.03.90 (46) 28.02.93, Бюл. N 8 (71) Научно-исследовательский технологический институт (72) В,Ф. Варакин, Н,А. Кузнецов, В.И. Никандров и А.И. Шашков (56) Авторское свидетельство ССС»

N 1466024, кл. Н 05 К 13/02, 1985. .Вакуумный координатный столик модели 15 —.600, фирма "РНУ" (США).

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для использования в устройствах для точного перемещения изделий в вакуумных камерах аналитического и технологического оборудования.

Целью изобретения является повышение надежности и точности перемещения координатного вакуумного столика. .Изобретение иллюстрируется графическими материалами.

Конструкция и кинематика вакуумного координатного столика представлены на фиг,1; на фиг.2 — разрез по А — А; на фиг.3— разрез по Б — Б, на фиг.4 — разрез по  —.В.

Вакуумный координатный столик содержит следующие основные части: фланец

1, устройство для перемещения 2, вакуумные вводы движения 3, 4, 5.

Фланец 1 представляет собой цилиндрическую обечайку, имеющую с одной стороны крышку, а с другой — кольцевой диск с зубом для вакуумного уплотнения и отверстиями для подсоединения к вакуумной камере установки, На крышке расположены пэтрубки для установки вакуумных вводов движения 3; 4 и гермовводов 6.

„„SU „„1798949 А1 (54) ВАКУУМНЫЙ КООРДИНАТНЫЙ СТОЛИК (57) Сущность изобретения: в вакуумном координатном столике, содержащем размещенную на фланце платформу, механизмы поступательного и вращательного перемещений; платформы выполнены в виде телескопического, с гибкой связью и зубчатого механизмов, при этом вакуумные вводы движения выполнены в виде вводов вращения, 4 ил.

Нэ цилиндрической обечайке расположен патрубок для подсоединения вакуумного ввода 5 движения.

На фланце жестко закреплен кронштейн 7 для крепления устройства перемещения 2.

Устройство для перемещения 2 состоит из горизонтальной каретки 8, вертикальной каретки 9, платформы поворота 10, ленточной передачи 11 телескопического 12 и шарнирно-телескопического 13 механизмов, гибких лент 14 и 15, соединяющих телескопический механизм 12 с вертикальной кареткой 9, и конической передачи 16, обеспечивающей движение платформы поворота 10.

Горизонтальная каретка 8 представляет собой плиту 17 с направляющ1ми 18 и 19.

Направляющая 18 имеет две боковые дорожки, контактирующие с шариками 20, установленными в сепараторы и обеспечивающими возможность продол ьного перемещения по оси Х. Н апра вля ющая

19 определяет горизонтальное расположение плиты 17 за счет контактирования с шариками, расположенными в направляющей, 1798949

В средней части плиты 17 имеется цилиндрическое отверстие, в котором установлены стойки 21 с вращающимися роликами

22, в которых базируется вертикальная каретка 9, Со стороны продольной направляющей

18 плита соединена с ленточной передачей

11, представляющей ленту 23, огибающую шкивы 24 и 25, причем два конца ленты закреплены на плите 17, а средняя часть закреплена на шкиве 24. Шкив 25 обеспечивает возможность натяжения ленты. Оба шкивы установлены на кронштейне 7, На плите 17 расположена вращающаяся втулка 26 телескопического механизма

12.

Вертикальная каретка 9 состоит из четырехгранной призмы 27 и кронштейна 28, На верхнем основании призмы 27 закреплено цилиндрическое кольцо 29, в котором установлена подшипниковая опора 30 платформы 10. В середине призмы 27 имеется окно, через которое проходит втулка 26 телескопического механизма 12, С помощью лент 14 и 15 призма соединена со шкивами

31 и 32, установленными на втулке 26. Призма 27 по граням базируется в роликах 22, обеспечивающих возможность ее свободного перемещения по вертикали.

Кронштейн 28 жестко соединен с призмой 27 и служит для установки втулки 33 шарнирно-телескопического механизма 13 и коническо-цилиндрической передачи 16, Платформа поворота 10 представляет собой диск 34 с цилиндрическим ободом, Внутри диска расположены подшипники качения 35, с помощью которых платформа установлена на вертикальной каретке 9, а снаружи — зубчатое цилиндрическое колесо

36, находящееся в зацеплении с шестерней

37, жестко соединенной с конической передачей 16.

Ленточная передача 11 обеспечивает кинематическую связь ввода движения 5 с . горизонтальной кареткой, основные элементы передачи описаны выше.

Телескопический и шарнирно-телескопический механизмы 12 и 13 предназначены для передачи движения на подвижные горизонтальную и вертикальную каретки 8 и

Телескопический механизм 12 состоит из вала 38, имеющего треугольное сечение, и втулки 26, установленной в подшипниках

39, закрепленных на горизонтальной каретке 8. Во втулке 26 расположены два ряда подшипников 40 с осью вращения перпендикулярно оси втулки 26. Каждый из подшипников 40 касается наружным кольцом соответствующей грани вала 38. Вал 38 од5

50 ним концом соединен через муфту 41 с выходным валом 42 вакуумного ввода вращения 3.

Шарнирно-телескопический механизм

13 отличается от телескопического механизма 12 тем, что вал 38 соединен с валом вакуумного ввода вращения через вал 43, имеющий шарниры 44 и 45.

Вакуумные вводы движения выполнены по одинаковой схеме и состоят из вакуумного ввода вращения 46, двигателя 47 и датчика 48.

В качестве вакуумного ввода вращения используется вакуумный волновой ввод вращения или сильфонный ввод вращения с редуктором 42, обеспечивающим понижение числа оборотов, расположенным в вакуумном объеме.

Для контроля исходного положения кареток 8 и 9 и платформ 10 имеются датчики (на фиг. не показаны), располо>кенные на устройстве перемещения 2 и соединенные с гермовводами 6, располо>кенными на фланце 1.

Координатный столик работает следующим образом, Исходное положение кареток 8, 9 и платформы 10 определяется датчиками исходного положения (на фиг. не показаны).

При подаче напряжения от блока управления на двигатель 47 ввода движения 5 вращение от двигателя 47 через сильфонный ввод 46, муфту 41, шкив 24 передается на ленту 11, соединенную с кареткой 8, В зависимости от направления вращения двигателя каретка 8 дви>кется вперед или назад. Контроль текущего перемещения осуществляется с помощью датчика 48.

Движение вертикальной каретки 9 вверх и вниз производится от двигателя 47 ввода движения 3 через вакуумный ввод вращения, муфту 41, телескопический механизм 12 и ленты 14 и 15. При этом вращение вала 38 через подшипники 40 передается на втулку 26; на которой установлены шкалы 31 и 32, соединенные с помощью лент 14 и 15 с вертикальной кареткой.

Поворот шкивов 31 и 32 обеспечивает вертикальное перемещение каретки 9. Контроль перемещения осуществляется датчиком 48.

Поворот платформы 10 осуществляется от вакуумного ввода движения 4. При этом вращение от двигателя 47 через шарнирнотелескопический механизм 13 передается на коническую передачу 16, которая приводит в движение цилиндрическую шестерню

37, вращение последней обеспечивает поворот колеса 36, установленного на платформе 10.

Контроль текущего поворота платформы производится датчиком 48.

Повышение точности, надежности и уровня автоматизации позволит повысить производительность и эффективность работы аналитического оборудования, например установок электронной и ионной спектроскопии, за счет повышения точности поиска области анализа и сокращения времени выхода на заданные координаты, особенно на изделиях больших размеров.

Формула изобретения

Вакуумный координатный столик, содержащий фланец с кронштейном, установленный на кронштейне механизм поворота платформы и ее перемещения в направлении, параллельном и перпендикулярном плоскости кронштейна, и установленные на фланце вакуумные вводы движения, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности работы и точности перемещения, в кронштейне выполнено окно, а механизм поворота платформы и ее перемещения выполнен в виде размещенного на кронштейне ползуна с приводом его возвратно-поступательного перемещения, ка5 ретки, установленной на ползуне с возможностью возвратно-поступательного перемещения в направлении, перпендикулярном плоскости кронштейна, привода перемещения каретки и цилиндрического

10 колеса с узлом его поворота, причем каретка размещена в окне кронштейна, а платформа установлена на цилиндрическом колесе, при этом вакуумные вводы движения вйполнены в виде вводов вращения, 15 причем привод. ползуна связан с вводом вращения посредством гибкой связи, каретка связана с вводом вращения посредством телескопического механизма и лент, а цилиндрическое колесо связано с вводом вра20 щения посредством конической зубчатой передачи и шарнирно-телескопического меха ниэма.

1 798949

Составитель Л, Михайлова

Техред M,Ìîðãåíòàë Корректор П. Гереши

Редактор А. Бер

Заказ 781 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, )К-35, Раушская наб,. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101