Устройство для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках

 

370279

0П ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 21.VI I 1.1969 (№ 1357997126-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15.11.1973. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 17.IV..1973

М. Кл. С 23с 13/08

Н 05k 13!00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете йтинистров

СССР

УДК 539.23(088.8) Автор изобретения

Ф. А. Коледа

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ И СМЕНЫ

ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ

Изобретение касается микроэлектронной техники и может быть использовано при применении вакуумной технологии для изготовления тонкопленочных блоков микроэлектроники.

Известны устройства для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках, содержащие выполненный в виде диска держатель подложек, размещенных в кассетах, стапельный магазин с кассетами, механизм съема и укладки кассет и механический привод.

Целью изобретения является упрощение конструкции устройства и повышение его надежности.

Для этого предложенное устройство снабжено механизмом захвата кассет из магазина, выполненным в виде упруго закрепленных на нижней плоскости держателя П-образных рамок, снабженных скосами для захвата кассеты и роликом, взаимодействующим с кулачком, связанным с механическим приводом.

Механизм съема кассет выполнен в виде подпружиненного рычага, одно .плечо которого снабжено скосами для съема кассеты, а другое взаимодействует с кулачком. Механизм укладки хассет выполнен в виде стержня, расположенного под держателем перпендикулярно под держателем перпендикулярно к его плоскости и служащего для нанизывания готовых кассет.

На фиг. 1 показана кассета с закрепленной на ней подложкой; на фиг. 2 — карусельный держатель кассет с подложками, вид снизу; на фиг, 3 — держатель и сопряженные с ним подающий магазин и приемник кассет, разрез.

Подлежащие обработке подложки 1 закреплены в рамочных кассетах 2, снабженных пазами 3 и вырезами 4. Кассеты 2 уложены в виде вертикальной стопки 5 в неподвижный корпус

10 магазина б, снабженного передвижной в вертикальном направлении палкой-подавателем

7, которая при помощи груза 8 прижимает стопку 5 кассет к неподвижному козырькуограничителю 9. Для предохранения от случайного или преждевременного смещения верхней кассеты в стопке 5 имеется удерживающая ее тормозная пружина 10. Над магазином б расположен поворотный диск-держатель 11, в рабочих позициях которого имеются

2о окна 12 и захваты 18, подвешенные на пружинах 14, выполняющих роль шарниров. Захваты 18 прижаты к нижней поверхности дискадержателя П прижимными пружинами 15 и снабжены кронштейнами с роликами lб. Пе25 редине кромки захватов 18 имеют заходные фаски 17. Между магазином б и осью поворота диска-держателя 11 расположен в направляющих 18 передвижной кулачок 19, связанный с механическим вакуумным вводом 20.

30 Кулачок 19 кинематически связан с поворотным упором 21, снабженным возвратной пру370279 жиной 22. Для ограничения крайних положений имеются два неподвижных упора 28 и 24.

На неподвижной стойке 25 закреплен стержень 26, заостренный конец которого направлен вертикально вверх и принимает обработанные кассеты.

Для загрузки кассет 2 из магазина 6 в дискдержатель 11 кулачок 19 поднимают при помощи механического вакуумного ввода 20 до упора 24 и поворачивают диск-держатель 11 в направлении стрелки А. При этом ролики 16, обкатывая снизу кулачок 19, отклоняют захваты 18 вниз. Перемещаясь в направлении стрелки, передние кромки захвата 18 заходят в боковые пазы 3 верхней в стопке 5 кассеты, и преодолевая сопротивление пружины 10, выводят кассету из стопки. По окончании воздействия кулачка 19 на ролик 16 захват 13 под воздействием пружины 15 поднимается и прижимает кассету 2 к нижней поверхности диска держателя 11, придавая ей положение Б.

При дальнейшем повороте держателя аналогично заполняют все рабочие позиции дискадержателя 11, после чего кулачок 19 переводят в нейтральное положение В. При этом держатель может свободно вращаться, не взаимодействуя ни с магазином б, ни с упором 11. Для выгрузки обработанных подложек 1 из диска-держателя 11 кулачок 19 опускают в нижнее положение Г, в результате чего упор 21 поворачивается в положение Д, а диск-держатель 11 проворачивают в направлении стрелки E. Кассеты 2 наталкиваются на поднятый упор 21 и при дальнейшем проворачивании диска-держателя 11 сходят с захватов 18 и подаются вниз, нанизываясь вырезами 4 на приемный стержень 26. Для предохранения кассет 2 от излишне резких ударов о стойку 25 или одна о другую. стержень 26 имеет, плавный изгиб. После операции выгрузки диск-держатель 11 может быть вновь заполнен кассетами из магазина б.

Предмет изобретения

1. Устройство для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках, содержащее выполненный в виде диска держатель подложек, размещенных в кассетах, стапельный магазин с кассетами, механизм съема и укладки кассет и механический привод, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности устройства, оно снабжено механизмом захвата кассет из магазина, выполненным в виде упруго закрепленных на нижней плоскости держателя П-образных рамок, снабженных скосами для захвата кассеты и роликом, взаимодей25 ствующим с кулачком, связанным с механическим приводом, а механизм съема кассет выполнен в виде подпружиненного рычага, одно .плечо которого снабжено скосами для съема кассеты, а другое взаимодействует с кулачЗ0 ком.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что механизм укладки кассет выполнен в виде стержня, расположенного под держателем перпендикулярно к его плоскости и служаще35 го для нанизывания готовых кассет.

370279

Составитель А. Туляков

Техред Г. Дворина

Редактор Е. Кравцова

Корректор Е. Миронова

Заказ 1014/12 Изд, Хо 257 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2