Нагреватель подложек для вакуумных установок

 

г\ ю эмап

ТЯ о, . Щ ", . " ". натан. «»;:"

ОП ИСАНИЕ

Саюз Советских

Социалистических

Республик

373330

И ЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства М—

Заяв.-,сно т 7.Х1.1970 (¹ 1491 i35/22-1) М.Кл. С 23с 13/12 с присоединением заявки %в

Камитет по делам изобретений н открытий ори Совете Министров

СССР

П/ iiоj) iiTi т

Он1 блнковано 12.111.1973. Ьюллстснь Л 14

УДК 621.733.14.002.52. (088.8) Дата опубликования описания 13.VI.1978

Авторы изоi>;>c Те ия

И. В. Васильев, Г. В. Вихров, В. Б. Смолкин и В. K. Фадеев

Заявител ь

НАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ВАКУУМНЫХ YCTAHOBOK

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известен нагреватель подложек для вакуумных установок, представляющий собой металлическую полосу. Однако рабочая поверхность такого нагревателя ограничена.

Целью изобретения является увеличение рабочей поверхности нагревателя. Это достигается тем, что металлическая полоса выполнена в виде прямолинейных площадок с выступами между ними, расположенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.

На чертеже показан предлагаемый нагреватель. Он представляет собой металлическую полосу, выполненную в виде прямолинейных площадок 1 с выступами 2 между ними, располо>кенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.

Для придания нагревателю жесткости и дугообразной формы с определенным радиусом с двух сторон к металлической полосе прикреплены заклепками > два металлических полукольца 4, в отверстия которых помещаются выступы 2. Дугообразная часть нагревателя заключена между прямолинейными участками 5, служащими для получения равномерности температуры нагрева в разных точках рабочей поверхности нагревателя.

Для проведения напыления подложки размещают на прямолинейные площадки, В результате расположения площадок по дуге все подложки находятся от испарителя на расстоянии, обеспечивающем требуемую равно,> мерность покрытий по толщине.

Ниже приведены результаты испытания нагревателя, изготовленного из молибденовой полосы толщиной 0,2 мм, выполненной в виде одиннадцати прямолинейнт,тх площадок шириi0 иой 26 лтм, расположенных по дуге с радиусом 150 мм. Прямолинейные площадки разделены между собой П-образными выступами высотой и шириной, равными 2 мм. Молибденовая полоса скреплена заклепками из

15 нержавеющей стали с двумя полукольцами из молибдена толщиной 0,2 мм с отверстиями

2 ля, в которые помещены концы П-образных выступов.

Количество одновременно загруженных гер20 маниевых пластин 44 штуки.

Неравномерность толщины пленки на пластинах не более 5%.

Температура нагрева до 900 С с разбросом температуры в разных точках рабочей поверх2э ности нагревателя в пределах +2 С.

Время естественного охлаждения нагревателя в вакууме около 1 10 — мм рт. Ст. от 600 до 50 С равно 10 — 12 мин без дополнительных охлаждающих устройств.

:й Рабочая поверхность предлагаемого дуго373330

Составитель И. Резник

Техред T. Курилко

Корректор В. Федулова

Редактор И. Грузова.5аказ 2518 Р1зд. № 1287 Тираж 825 Подписное

ЦНИИПИ Камитета по дес!аи изобретений и открытий прн Совеге Министров СССР

Москва, 5К-З5, Раушская:наб., д. 4/5

Об т. тна!. Кострсз!скОГО т:!,)2 в !ен I! ÿ !! 3 (!! Гс и> Г!3, !!Ол! !!1) !!!!)!! I! к!!н жн,н! Tot/i" >зли образного нагревателя в 10 раз больше известных прямолинейных нагревателей.

Возыожно проводить напыление на подложках разной конфигурации и размеров.

Предмет изобретения

Нагреватель подложек для вакуумных установок, представляющий собой металлическую полосу, отличающийся тем, что, с целью увеличения рабочей поверхности нагревателя, металлическая полоса выполнена в виде прямолинейных площадок с выступами между ними, 5 расположенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.